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    發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服以上不足，提供一種新型真空搬運(yùn)機(jī)械手，利用真空原理，吸附物體，進(jìn)而平衡物體的重力，使操作人員在基本感覺(jué)不到物體重力的情況下，輕松完成物體的搬運(yùn)、翻轉(zhuǎn)、裝配等工序，操作簡(jiǎn)單、運(yùn)作省力、高效安全。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是含有萬(wàn)向輪、移動(dòng)小車、拉桿、立柱、主升降氣缸、主旋轉(zhuǎn)座、主旋轉(zhuǎn)軸、主關(guān)節(jié)鎖死裝置、大側(cè)板、擺動(dòng)主臂、擺動(dòng)副臂、副關(guān)節(jié)鎖死裝置、連接板、橫臂旋轉(zhuǎn)座、旋轉(zhuǎn)臂主軸、旋轉(zhuǎn)臂、垂臂旋轉(zhuǎn)座、副旋轉(zhuǎn)軸、下垂臂、扶手、真空吸盤，移動(dòng)小車截面呈長(zhǎng)方形，其底部四角各設(shè)有一萬(wàn)向輪，移動(dòng)小車頂端中部設(shè)有立柱，左側(cè)設(shè)有拉桿，立柱頂端設(shè)有主旋轉(zhuǎn)座，可旋轉(zhuǎn)360°，主旋轉(zhuǎn)座通過(guò)主旋轉(zhuǎn)軸與大側(cè)板相連接，大側(cè)板內(nèi)設(shè)有氣壓控制閥，氣壓控制閥與主升降氣缸相連接，大側(cè)板左側(cè)下端設(shè)有主升降氣缸，大側(cè)板上設(shè)有內(nèi)側(cè)板，主旋轉(zhuǎn)座和大側(cè)板之間設(shè)有主關(guān)節(jié)鎖死裝置，擺動(dòng)主臂和擺動(dòng)副臂一端分別與大側(cè)板相連接，另一端分別與連接板相連接，擺動(dòng)主臂位于擺動(dòng)副臂下側(cè)并與擺動(dòng)副臂相平行，橫臂旋轉(zhuǎn)座通過(guò)旋轉(zhuǎn)臂主軸與旋轉(zhuǎn)臂相連接，旋轉(zhuǎn)臂可旋轉(zhuǎn)300°，旋轉(zhuǎn)臂和橫臂旋轉(zhuǎn)座之間設(shè)有副關(guān)節(jié)鎖死裝置。浦口區(qū)包裝袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！秦淮區(qū)象鼻子真空搬運(yùn)機(jī)供應(yīng)

    但本發(fā)明并不限定于上述的說(shuō)明，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種變更。例如，在上述的搬運(yùn)系統(tǒng)100中，也可以在高架搬運(yùn)車50的移動(dòng)路徑中配置儲(chǔ)料機(jī)(自動(dòng)倉(cāng)庫(kù))等。儲(chǔ)料機(jī)例如可以設(shè)置于第1區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14中的任一方或者雙方。高架搬運(yùn)車50可以能夠針對(duì)該儲(chǔ)料機(jī)的交接端口進(jìn)行物品2的交接，例如，能夠在儲(chǔ)料機(jī)與第1、第二交接端口30a、30b之間搬運(yùn)物品2。另外，在法律法規(guī)允許的范圍內(nèi)，引用作為日本申請(qǐng)的日本特愿2017-128570、和在本說(shuō)明書中引用的全部文獻(xiàn)的內(nèi)容作為本文記載的一部分。附圖標(biāo)記說(shuō)明sa1…第1保管區(qū)域；sa2…第二保管區(qū)域；ta1…第1裝置區(qū)域；ta2…第二裝置區(qū)域；lp…裝載端口；tl1…第1處理裝置；tl2…第二處理裝置；2…物品；2a…凸緣部；10…頂棚軌道；11…第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道；12…第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道；13…第1區(qū)段間頂棚軌道；14…第二區(qū)段間頂棚軌道；15…第1連接軌道；16…第二連接軌道；20a…第1保管部；20b…第二保管部；30a…第1交接端口；30b…第二交接端口；40a…第1起重機(jī)；40b…第二起重機(jī)；41a…第1行駛部；41b…第二行駛部；42a…第1桅桿；42b…第二桅桿；43a…第1升降臺(tái)；43b…第二升降臺(tái)。雨花臺(tái)區(qū)糖袋真空搬運(yùn)機(jī)原理溧水區(qū)象鼻子真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    搬運(yùn)系統(tǒng)100也能夠應(yīng)用于除半導(dǎo)體制造領(lǐng)域以外的設(shè)備，物品2可以是由用于設(shè)置搬運(yùn)系統(tǒng)100的設(shè)備處理的各種物品。在本實(shí)施方式中，搬運(yùn)系統(tǒng)100在配置于第1、第二裝置區(qū)域ta1、ta2的第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、以及后述的第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之間搬運(yùn)物品2。第1、第二處理裝置tl1、tl2例如是曝光裝置、涂布顯影裝置、制膜裝置、或者蝕刻裝置等，對(duì)收容于搬運(yùn)系統(tǒng)100所搬運(yùn)的物品2的半導(dǎo)體晶圓實(shí)施各種處理。各第1、第二處理裝置tl1、tl2分別具備兩處裝載端口lp。圖2是表示第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的一個(gè)例子的圖。在圖2中表示從+x側(cè)觀察第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的情況的一個(gè)例子。如圖1和圖2所示，第1處理裝置tl1在設(shè)定于制造工廠等的地板部的第1裝置區(qū)域ta1內(nèi)沿一個(gè)方向(y方向)排列配置。第二處理裝置tl2在第二裝置區(qū)域ta2內(nèi)沿一個(gè)方向(y方向)排列配置。第1、第二裝置區(qū)域ta1、tl2分別沿x方向配置多個(gè)。沿y方向排列的多個(gè)第1、第二處理裝置tl1、tl2沿x方向設(shè)置多列。此外，多個(gè)第1、第二處理裝置tl1、tl2的配置是一個(gè)例子，也可以是其他配置。另外。

    并不限定于第1、第二處理裝置tl1、tl2具備兩處裝載端口lp，也可以具備一處或者三處以上。另外，在制造工廠等中配置用于暫時(shí)保管物品2的第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2。第1保管區(qū)域sa1與第1處理裝置tl1對(duì)應(yīng)設(shè)置，第1保管區(qū)域sa1配置于兩列第1處理裝置tl1之間。第二保管區(qū)域sa2與第二處理裝置tl2對(duì)應(yīng)設(shè)置，第二保管區(qū)域sa2配置于兩列第二處理裝置tl2之間。在各列第1、第二處理裝置tl1、tl2中，裝載端口lp配置于與各個(gè)第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2對(duì)置的一側(cè)。如圖1所示，搬運(yùn)系統(tǒng)100具備：頂棚軌道10、第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b、第1、第二起重機(jī)40a、40b以及高架搬運(yùn)車50。頂棚軌道10具有第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11、第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12、第1區(qū)段間頂棚軌道13、第二區(qū)段間頂棚軌道14、第1連接軌道15、以及第二連接軌道16。第1區(qū)段間頂棚軌道13、第二區(qū)段間頂棚軌道14、第1連接軌道15、以及第二連接軌道16是將第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12連結(jié)的區(qū)段間頂棚軌道。第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11從第1處理裝置tl1的裝載端口lp的正上方錯(cuò)開(kāi)配置，并且沿著裝載端口lp設(shè)置。第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12從第二處理裝置tl2的裝載端口lp的正上方錯(cuò)開(kāi)配置。江寧區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    圖7是表示通過(guò)高架搬運(yùn)車搬運(yùn)物品時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。圖8是接著圖7，通過(guò)高架搬運(yùn)車搬運(yùn)物品時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。圖9是接著圖8，通過(guò)高架搬運(yùn)車搬運(yùn)物品時(shí)的移動(dòng)路徑的一個(gè)例子的圖。圖10是表示保管部和交接端口的其他例子的圖。具體實(shí)施方式以下，參照附圖對(duì)實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。在以下的各圖中，使用xyz坐標(biāo)系對(duì)圖中的方向進(jìn)行說(shuō)明。在該xyz坐標(biāo)系中，將鉛直方向設(shè)為z方向，將水平方向設(shè)為x方向、y方向。x方向是水平方向內(nèi)的一個(gè)方向，是沿著后述的第1區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14的方向。y方向是與x方向正交的方向，是沿著第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a、和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a的方向。另外，關(guān)于x、y、z方向的各方向，適當(dāng)?shù)貙⑴c箭頭相同一側(cè)稱為+側(cè)(例如，+x側(cè))，將其相反側(cè)稱為-x側(cè)(例如，-x側(cè))。圖1是表示本實(shí)施方式所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)100的一個(gè)例子的俯視圖。圖1所示的搬運(yùn)系統(tǒng)100例如設(shè)置于半導(dǎo)體設(shè)備的制造工廠等，對(duì)收容有在半導(dǎo)體設(shè)備的制造中使用的半導(dǎo)體晶圓的foup、或者收容有中間掩模等的中間掩模盒等物品2進(jìn)行搬運(yùn)。在本實(shí)施方式中，使用物品2是foup的例子來(lái)進(jìn)行說(shuō)明，但物品2也可以是除foup以外的物品。另外。棲霞區(qū)常見(jiàn)真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！長(zhǎng)寧區(qū)工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)品牌

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本發(fā)明涉及搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn)，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車、和沿著與高架搬運(yùn)車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號(hào)公報(bào)文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車和起重機(jī)均能夠訪問(wèn)裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運(yùn)車和起重機(jī)對(duì)應(yīng)地，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對(duì)軌道的設(shè)置花費(fèi)成本，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個(gè)軌道對(duì)應(yīng)，因此對(duì)處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問(wèn)題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過(guò)將供高架搬運(yùn)車和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車與起重機(jī)的作用，由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開(kāi)并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。秦淮區(qū)象鼻子真空搬運(yùn)機(jī)供應(yīng)

上海勁容自動(dòng)化設(shè)備有限公司專注技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā)，發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊(duì)不斷壯大。公司目前擁有較多的高技術(shù)人才，以不斷增強(qiáng)企業(yè)重點(diǎn)競(jìng)爭(zhēng)力，加快企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)健生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)。誠(chéng)實(shí)、守信是對(duì)企業(yè)的經(jīng)營(yíng)要求，也是我們做人的基本準(zhǔn)則。公司致力于打造***的氣管吸吊機(jī)，助力機(jī)械手，真空吊具，軌道交通。公司力求給客戶提供全數(shù)良好服務(wù)，我們相信誠(chéng)實(shí)正直、開(kāi)拓進(jìn)取地為公司發(fā)展做正確的事情，將為公司和個(gè)人帶來(lái)共同的利益和進(jìn)步。經(jīng)過(guò)幾年的發(fā)展，已成為氣管吸吊機(jī)，助力機(jī)械手，真空吊具，軌道交通行業(yè)出名企業(yè)。