上海多功能真空搬運(yùn)機(jī)供應(yīng)

保持部53與線材或者帶狀物等懸掛部件53b連接。保持部53從升降驅(qū)動(dòng)部54懸掛且以能夠擺動(dòng)的狀態(tài)升降。保持部53可以與上述的第1、第二起重機(jī)40a、40b的保持部49是同一結(jié)構(gòu)，也可以是不同結(jié)構(gòu)。升降驅(qū)動(dòng)部54例如是升降機(jī)，通過(guò)抽出懸掛部件53b而使保持部53下降，通過(guò)卷繞懸掛部件53b而使保持部53上升。升降驅(qū)動(dòng)部54被控制裝置60等控制，使保持部53以規(guī)定的速度下降或者上升。另外，升降驅(qū)動(dòng)部54被控制裝置60等控制，將保持部53保持于目標(biāo)高度。橫向伸出機(jī)構(gòu)55例如具有在上下方向重疊配置的可動(dòng)板?？蓜?dòng)板能夠向行駛部51的行駛方向的側(cè)方(與行駛方向正交的方向)移動(dòng)。在可動(dòng)板安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)部和升降驅(qū)動(dòng)部54。主體部52具有引導(dǎo)橫向伸出機(jī)構(gòu)55的未圖示的引導(dǎo)件、和驅(qū)動(dòng)橫向伸出機(jī)構(gòu)55的未圖示的驅(qū)動(dòng)部等。橫向伸出機(jī)構(gòu)55通過(guò)來(lái)自電動(dòng)馬達(dá)等驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)力，使升降驅(qū)動(dòng)部54和保持部53沿著引導(dǎo)件，在突出位置與收納位置之間移動(dòng)。突出位置是從主體部52向側(cè)方突出的位置。收納位置是收納于主體部52內(nèi)的位置。轉(zhuǎn)動(dòng)部具有未圖示的轉(zhuǎn)動(dòng)部件和轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部。轉(zhuǎn)動(dòng)部件被設(shè)置為能夠圍繞上下方向的軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。轉(zhuǎn)動(dòng)部件安裝于升降驅(qū)動(dòng)部54或者保持部53。轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部使用電動(dòng)馬達(dá)等。溧水區(qū)多功能真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！上海多功能真空搬運(yùn)機(jī)供應(yīng)

    本發(fā)明涉及搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn)，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車、和沿著與高架搬運(yùn)車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號(hào)公報(bào)文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車和起重機(jī)均能夠訪問(wèn)裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運(yùn)車和起重機(jī)對(duì)應(yīng)地，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對(duì)軌道的設(shè)置花費(fèi)成本，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個(gè)軌道對(duì)應(yīng)，因此對(duì)處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問(wèn)題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過(guò)將供高架搬運(yùn)車和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車與起重機(jī)的作用，由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。上海多功能真空搬運(yùn)機(jī)供應(yīng)棲霞區(qū)多功能真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    并成為從第1、第二行駛部41a、41b懸掛的狀態(tài)。例如可以使用螺釘和螺母等緊固部件，也可以使用焊接等在上部支承體47安裝第1、第二桅桿42a、42b。此外，第1、第二桅桿42a、42b可以是一根，例如，可以分別設(shè)置于第1、第二行駛部41a、41b的行駛方向的前后。另外，第1、第二起重機(jī)40a、40b使用兩臺(tái)第1、第二行駛部41a、41b(參照?qǐng)D2和圖3)。兩臺(tái)第1、第二行駛部41a、41b沿行駛方向排列配置，被上部支承體47連結(jié)。第1、第二桅桿42a、42b被兩臺(tái)第1、第二行駛部41a、41b支承。這樣，能夠利用兩臺(tái)第1、第二行駛部41a、41b可靠地支承作為重物的第1、第二桅桿42a、42b。此外，第1、第二起重機(jī)40a、40b并不限定于使用兩臺(tái)第1、第二行駛部41a、41b，也可以使用1臺(tái)或者3臺(tái)以上的第1、第二行駛部41a、41b。第1起重機(jī)40a的第1行駛部41a能夠從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11駛?cè)雲(yún)^(qū)段間頂棚軌道地進(jìn)行行駛。即，第1行駛部41a能夠從第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11經(jīng)由第1連接軌道15或者第二連接軌道16駛?cè)氲?區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14地進(jìn)行行駛。第二起重機(jī)40b的第二行駛部41b能夠從第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12駛?cè)雲(yún)^(qū)段間頂棚軌道地進(jìn)行行駛。即。

    驅(qū)動(dòng)部45b被控制裝置60等控制，使第1、第二升降臺(tái)43a、43b以規(guī)定的速度下降或者上升。另外，驅(qū)動(dòng)部45b被控制裝置60等控制，將第1、第二升降臺(tái)43a、43b保持于目標(biāo)高度。雖然第1、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a、45b設(shè)置于上部支承體47(第1、第二行駛部41a、41b)，但并不限定于該結(jié)構(gòu)。第1、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a、45b例如也可以設(shè)置于第1、第二升降臺(tái)43a、43b。作為在第1、第二升降臺(tái)43a、43b設(shè)置第1、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a、45b的結(jié)構(gòu)，例如可以利用搭載于第1、第二升降臺(tái)43a、43b的升降機(jī)等對(duì)從上部支承體47懸掛的帶狀物或者線材等進(jìn)行卷起或者抽出而使第1、第二升降臺(tái)43a、43b升降。另外，也可以在第1、第二升降臺(tái)43a、43b搭載用于驅(qū)動(dòng)小齒輪的電動(dòng)馬達(dá)等，在第1、第二桅桿42a、42b形成供該小齒輪嚙合的齒條，驅(qū)動(dòng)電動(dòng)馬達(dá)等而使小齒輪旋轉(zhuǎn)由此使第1、第二升降臺(tái)43a、43b升降。如圖4所示，第1、第二起重機(jī)40a、40b在第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之間搬運(yùn)物品2。另外，第1、第二起重機(jī)40a、40b將物品2從當(dāng)前的第1、第二保管部20a、20b向其他第1、第二保管部20a、20b搬運(yùn)。例如。江寧區(qū)粉塵真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    5.如權(quán)利要求I所述的輕型真空搬運(yùn)機(jī)，其特征在于所述旋臂的下端面上開設(shè)有導(dǎo)軌，搬運(yùn)管的頂端與導(dǎo)軌滑動(dòng)連接。6.如權(quán)利要求5所述的輕型真空搬運(yùn)機(jī)，其特征在于所述導(dǎo)軌上還滑動(dòng)連接有數(shù)個(gè)掛鉤，靠近搬運(yùn)管端的連接管通過(guò)掛鉤安裝在旋臂上。7.如權(quán)利要求I所述的輕型真空搬運(yùn)機(jī)，其特征在于所述真空吸盤裝置包括控制頭、數(shù)個(gè)吸盤、操作手柄，控制頭包括頂端開設(shè)有開口一、底端開設(shè)有開口二的殼體，開口一與搬運(yùn)管底端連通，開口二通過(guò)數(shù)根支管與各吸盤一一對(duì)應(yīng)連通，開口二上設(shè)置有位于殼體內(nèi)的閥門，閥門底部的觸頭螺栓位于殼體外部，且觸頭螺栓的底面低于吸盤的吸附接觸面，操作手柄固定在控制頭上。8.如權(quán)利要求7所述的輕型真空搬運(yùn)機(jī)，其特征在于所述閥門包括閥片和數(shù)根外壁上套置有彈簧的光桿螺桿，光桿螺桿均勻分布并固定在開口二的四周，閥片配合將開口二封閉并活動(dòng)套置在各光桿螺桿下端，同時(shí)由彈簧抵住。9.如權(quán)利要求7所述的輕型真空搬運(yùn)機(jī)，其特征在于所述控制頭帶有真空表，操作手柄為帶旋轉(zhuǎn)手把的操作手柄。10.如權(quán)利要求I所述的輕型真空搬運(yùn)機(jī)，其特征在于所述真空泵安裝在箱體內(nèi)，箱體置于地面上；所述搬運(yùn)管為可伸縮式搬運(yùn)管。江寧區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！秦淮區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)品牌

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    發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服以上不足，提供一種新型真空搬運(yùn)機(jī)械手，利用真空原理，吸附物體，進(jìn)而平衡物體的重力，使操作人員在基本感覺(jué)不到物體重力的情況下，輕松完成物體的搬運(yùn)、翻轉(zhuǎn)、裝配等工序，操作簡(jiǎn)單、運(yùn)作省力、高效安全。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是含有萬(wàn)向輪、移動(dòng)小車、拉桿、立柱、主升降氣缸、主旋轉(zhuǎn)座、主旋轉(zhuǎn)軸、主關(guān)節(jié)鎖死裝置、大側(cè)板、擺動(dòng)主臂、擺動(dòng)副臂、副關(guān)節(jié)鎖死裝置、連接板、橫臂旋轉(zhuǎn)座、旋轉(zhuǎn)臂主軸、旋轉(zhuǎn)臂、垂臂旋轉(zhuǎn)座、副旋轉(zhuǎn)軸、下垂臂、扶手、真空吸盤，移動(dòng)小車截面呈長(zhǎng)方形，其底部四角各設(shè)有一萬(wàn)向輪，移動(dòng)小車頂端中部設(shè)有立柱，左側(cè)設(shè)有拉桿，立柱頂端設(shè)有主旋轉(zhuǎn)座，可旋轉(zhuǎn)360°，主旋轉(zhuǎn)座通過(guò)主旋轉(zhuǎn)軸與大側(cè)板相連接，大側(cè)板內(nèi)設(shè)有氣壓控制閥，氣壓控制閥與主升降氣缸相連接，大側(cè)板左側(cè)下端設(shè)有主升降氣缸，大側(cè)板上設(shè)有內(nèi)側(cè)板，主旋轉(zhuǎn)座和大側(cè)板之間設(shè)有主關(guān)節(jié)鎖死裝置，擺動(dòng)主臂和擺動(dòng)副臂一端分別與大側(cè)板相連接，另一端分別與連接板相連接，擺動(dòng)主臂位于擺動(dòng)副臂下側(cè)并與擺動(dòng)副臂相平行，橫臂旋轉(zhuǎn)座通過(guò)旋轉(zhuǎn)臂主軸與旋轉(zhuǎn)臂相連接，旋轉(zhuǎn)臂可旋轉(zhuǎn)300°，旋轉(zhuǎn)臂和橫臂旋轉(zhuǎn)座之間設(shè)有副關(guān)節(jié)鎖死裝置。上海多功能真空搬運(yùn)機(jī)供應(yīng)