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第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二保管區(qū)域sa2。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的下方且側(cè)方。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的下方且側(cè)方。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于在第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11能夠通過后述的第1起重機(jī)40a和高架搬運(yùn)車50進(jìn)行物品2的交接的范圍。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12能夠通過后述的第二起重機(jī)40b和高架搬運(yùn)車50進(jìn)行物品2的交接的范圍。圖3是表示第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2的第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的一個(gè)例子的圖。在圖3中示出從+x側(cè)觀察第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的情況的一個(gè)例子。如圖3所示，第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b使用能夠載置物品2的架部等。在載置物品2的架部也可以設(shè)置進(jìn)入在物品2的底面設(shè)置的槽部的多個(gè)銷。該銷進(jìn)入物品2的槽部，由此相對(duì)于架部定位物品2。各第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b例如被支承為從建筑物的頂棚等懸掛的狀態(tài)。第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b從頂棚懸掛。江寧區(qū)米袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！棲霞區(qū)米袋真空搬運(yùn)機(jī)哪家有

    5.如權(quán)利要求I所述的輕型真空搬運(yùn)機(jī)，其特征在于所述旋臂的下端面上開設(shè)有導(dǎo)軌，搬運(yùn)管的頂端與導(dǎo)軌滑動(dòng)連接。6.如權(quán)利要求5所述的輕型真空搬運(yùn)機(jī)，其特征在于所述導(dǎo)軌上還滑動(dòng)連接有數(shù)個(gè)掛鉤，靠近搬運(yùn)管端的連接管通過掛鉤安裝在旋臂上。7.如權(quán)利要求I所述的輕型真空搬運(yùn)機(jī)，其特征在于所述真空吸盤裝置包括控制頭、數(shù)個(gè)吸盤、操作手柄，控制頭包括頂端開設(shè)有開口一、底端開設(shè)有開口二的殼體，開口一與搬運(yùn)管底端連通，開口二通過數(shù)根支管與各吸盤一一對(duì)應(yīng)連通，開口二上設(shè)置有位于殼體內(nèi)的閥門，閥門底部的觸頭螺栓位于殼體外部，且觸頭螺栓的底面低于吸盤的吸附接觸面，操作手柄固定在控制頭上。8.如權(quán)利要求7所述的輕型真空搬運(yùn)機(jī)，其特征在于所述閥門包括閥片和數(shù)根外壁上套置有彈簧的光桿螺桿，光桿螺桿均勻分布并固定在開口二的四周，閥片配合將開口二封閉并活動(dòng)套置在各光桿螺桿下端，同時(shí)由彈簧抵住。9.如權(quán)利要求7所述的輕型真空搬運(yùn)機(jī)，其特征在于所述控制頭帶有真空表，操作手柄為帶旋轉(zhuǎn)手把的操作手柄。10.如權(quán)利要求I所述的輕型真空搬運(yùn)機(jī)，其特征在于所述真空泵安裝在箱體內(nèi)，箱體置于地面上；所述搬運(yùn)管為可伸縮式搬運(yùn)管。新北區(qū)象鼻子真空搬運(yùn)機(jī)生產(chǎn)廠家溧水區(qū)粉塵真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    圖2為吸盤主視剖面示意圖；圖3為吸盤仰視圖示意圖；圖4為子吸盤剖面圖示意圖；其中：1-吊架，2-吸盤，3-舵把，4-吊環(huán)，5-控制按鈕，6-密封腔，7-子吸盤，8-夾板，9-氣管，10-氣罩，11-皮套，12-拉桿，13-擋板，14-限位環(huán)，15-氣孔，16-緩沖環(huán)，17-支撐桿。具體實(shí)施方式以下結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行說明。實(shí)施例1如圖1-4所示，一種真空吸吊機(jī)，包括吊架1，吊架1正面安裝有6個(gè)吸盤2，吸盤2截面為圓形，吸盤2包括密封腔6，密封腔6由厚度為3-5mm的不銹鋼材料圍制焊接而成，密封腔6上端連接有氣管9，密封腔6下端呈梅花狀安裝有5個(gè)子吸盤7，各子吸盤7下端面相平，子吸盤7包括氣罩10，氣罩10截面為圓形，氣罩10靠近下端的截面面積大于靠近上端的截面面積，氣罩10上端與密封腔6連通，氣罩10下端密封固定有皮套11，皮套11由乳膠制成，皮套11中間位置夾有夾板8，夾板8為圓形，夾板8夾緊在皮套11兩面，夾板8上端中間圍制固定有向上的拉桿12，氣罩10上端與拉桿12對(duì)應(yīng)位置處開有導(dǎo)向孔，氣罩10上環(huán)繞導(dǎo)向孔還環(huán)繞開有4個(gè)氣孔15，氣孔15下端外側(cè)還固定有緩沖環(huán)16，緩沖環(huán)16由乳膠制成，拉桿12上還固定有擋板13，擋板13截面為向下的錐形。

    發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服以上不足，提供一種新型真空搬運(yùn)機(jī)械手，利用真空原理，吸附物體，進(jìn)而平衡物體的重力，使操作人員在基本感覺不到物體重力的情況下，輕松完成物體的搬運(yùn)、翻轉(zhuǎn)、裝配等工序，操作簡(jiǎn)單、運(yùn)作省力、高效安全。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是含有萬向輪、移動(dòng)小車、拉桿、立柱、主升降氣缸、主旋轉(zhuǎn)座、主旋轉(zhuǎn)軸、主關(guān)節(jié)鎖死裝置、大側(cè)板、擺動(dòng)主臂、擺動(dòng)副臂、副關(guān)節(jié)鎖死裝置、連接板、橫臂旋轉(zhuǎn)座、旋轉(zhuǎn)臂主軸、旋轉(zhuǎn)臂、垂臂旋轉(zhuǎn)座、副旋轉(zhuǎn)軸、下垂臂、扶手、真空吸盤，移動(dòng)小車截面呈長(zhǎng)方形，其底部四角各設(shè)有一萬向輪，移動(dòng)小車頂端中部設(shè)有立柱，左側(cè)設(shè)有拉桿，立柱頂端設(shè)有主旋轉(zhuǎn)座，可旋轉(zhuǎn)360°，主旋轉(zhuǎn)座通過主旋轉(zhuǎn)軸與大側(cè)板相連接，大側(cè)板內(nèi)設(shè)有氣壓控制閥，氣壓控制閥與主升降氣缸相連接，大側(cè)板左側(cè)下端設(shè)有主升降氣缸，大側(cè)板上設(shè)有內(nèi)側(cè)板，主旋轉(zhuǎn)座和大側(cè)板之間設(shè)有主關(guān)節(jié)鎖死裝置，擺動(dòng)主臂和擺動(dòng)副臂一端分別與大側(cè)板相連接，另一端分別與連接板相連接，擺動(dòng)主臂位于擺動(dòng)副臂下側(cè)并與擺動(dòng)副臂相平行，橫臂旋轉(zhuǎn)座通過旋轉(zhuǎn)臂主軸與旋轉(zhuǎn)臂相連接，旋轉(zhuǎn)臂可旋轉(zhuǎn)300°，旋轉(zhuǎn)臂和橫臂旋轉(zhuǎn)座之間設(shè)有副關(guān)節(jié)鎖死裝置。六合區(qū)多功能真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    控制頭19包括頂端開設(shè)有開口一22、底端開設(shè)有開口二23的殼體24，開口一22與搬運(yùn)管15底端連通，開口二23通過數(shù)根支管29與各吸盤20——對(duì)應(yīng)連通(即一根支管29連通一個(gè)吸盤20)，開口二23上設(shè)置有位于殼體24內(nèi)的閥門，閥門底部的觸頭螺栓26位于殼體24外部，且觸頭螺栓26的底面低于吸盤20的吸附接觸面(本實(shí)施例的各吸盤20位于同一水平面上)，操作手柄21固定在控制頭19上。其中，控制頭19帶有真空表27，以便于隨時(shí)了解控制頭19內(nèi)的真空度情況；操作手柄21為帶旋轉(zhuǎn)手把的操作手柄，可隨意控制搬運(yùn)管15的上升、下降，以方便搬運(yùn)。其中，閥門包括閥片25和數(shù)根外壁上套置有彈簧28的光桿螺桿29，光桿螺桿29均勻分布并固定在開口二23的四周，閥片25配合將開口二23封閉并活動(dòng)套置在各光桿螺桿29下端，同時(shí)由彈簧28抵住。本實(shí)用新型對(duì)被搬運(yùn)物體的搬運(yùn)動(dòng)作過程如下開啟真空泵13，在真空吸盤裝置對(duì)著被搬運(yùn)物體下壓的過程中，其觸頭螺栓26會(huì)先觸碰到被搬運(yùn)物體，在觸頭螺栓26的向上推力作用下，閥片25被頂開，真空作用力依次通過開口二23、支管29進(jìn)入吸盤20，終實(shí)現(xiàn)對(duì)被搬運(yùn)物體的吸附、搬運(yùn)。搬運(yùn)到位后，關(guān)閉真空泵13，閥片25在彈簧28的彈性恢復(fù)作用力下被頂回原位，將開口二23密封。六合區(qū)粉塵真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！新北區(qū)象鼻子真空搬運(yùn)機(jī)生產(chǎn)廠家

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    本發(fā)明涉及搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn)，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車、和沿著與高架搬運(yùn)車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號(hào)公報(bào)文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車和起重機(jī)均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運(yùn)車和起重機(jī)對(duì)應(yīng)地，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對(duì)軌道的設(shè)置花費(fèi)成本，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個(gè)軌道對(duì)應(yīng)，因此對(duì)處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運(yùn)車和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車與起重機(jī)的作用，由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。棲霞區(qū)米袋真空搬運(yùn)機(jī)哪家有

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