工控機(jī)在半導(dǎo)體產(chǎn)線中如何滿足潔凈室要求？

杭州研圖智能科技有限公司2025-08-16

半導(dǎo)體級工控機(jī)采用無風(fēng)扇設(shè)計(jì)（散熱靠機(jī)箱整體導(dǎo)熱），避免氣流擾動影響潔凈度（符合ISO Class 3標(biāo)準(zhǔn)）。外殼使用抗靜電不銹鋼，表面電阻控制在10^6-10^9Ω之間。所有接縫處采用氟橡膠密封，防止微粒析出。內(nèi)部元件經(jīng)過嚴(yán)格outgassing測試，確保不會釋放有機(jī)污染物。特殊型號還會集成FFU（風(fēng)機(jī)過濾單元），維持設(shè)備周圍局部潔凈環(huán)境。軟件方面需滿足SEMI E10標(biāo)準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)設(shè)備狀態(tài)的全生命周期追蹤。

本回答由 杭州研圖智能科技有限公司 提供