特種氣體系統(tǒng)工程施工應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道工程施工規(guī)范》GB50235、《工業(yè)金屬管道工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》GB 50184、《現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工規(guī)范》GB 50236和《現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》GB50683 的有關(guān)規(guī)定。特種氣體系統(tǒng)使用的不銹鋼管道應(yīng)采用自動(dòng)軌道氬弧焊機(jī)焊接，高純氬氣保護(hù)。10.1.3安裝和試驗(yàn)檢測(cè)用計(jì)量器具應(yīng)經(jīng)檢驗(yàn)合格并在有效期內(nèi)使用。10.1.4特種氣體系統(tǒng)工程施工前應(yīng)編制專項(xiàng)施工方案，并應(yīng)經(jīng)業(yè)主審批后實(shí)施。10.1.5主要設(shè)備材料進(jìn)場(chǎng)應(yīng)提供下列文件：1 產(chǎn)品合格證、質(zhì)量保證書、性能測(cè)試報(bào)告；2 產(chǎn)品安裝、使用、維護(hù)和試驗(yàn)要求等技術(shù)文件；3 產(chǎn)品規(guī)格、型號(hào)、數(shù)量、設(shè)備附件及專門使用工具。特氣管道施工結(jié)束后都需要進(jìn)行壓力檢測(cè)，氦檢漏，顆粒度和水分、氧分測(cè)試。浙江高純特氣管道安裝注意事項(xiàng)
特氣管道安裝：（1）根據(jù)圖紙所示位置放線定位并彈線開孔（注意預(yù)留檢修口）；將管子吊裝至預(yù)定的安裝位置后固定牢靠，并用墊板墊好管件防止滑動(dòng)傷人。（一般采用膨脹螺栓固定）然后連接支吊架使管子與支吊架牢固連接起來；（一般采用焊接固定）。（2）用水平尺測(cè)量管子軸線與地面垂直度誤差≤0.5mm/m2，如有偏差及時(shí)調(diào)整直至合格為止；（一般用鋼卷尺檢測(cè)）如遇特殊環(huán)境可用經(jīng)緯儀或全站儀等測(cè)量?jī)x器檢測(cè)。（一般用全站儀檢測(cè)）。同時(shí)應(yīng)做好記錄以便返工處理。（一般采用經(jīng)緯儀檢測(cè)。）上海化驗(yàn)室特氣管道安裝供應(yīng)商選擇特氣管道工程安裝公司的標(biāo)準(zhǔn)：秉承“安全至上”的觀念。
系統(tǒng)檢測(cè)，特氣管道施工結(jié)束后都需要進(jìn)行壓力檢測(cè)，氦檢漏，顆粒度和水分、氧分測(cè)試。壓力檢測(cè)一般采用比較精密的圓盤式壓力檢測(cè)儀或電子檢測(cè)儀，不用壓力表。這樣較大程度上提高了檢測(cè)的精密度。水、氧測(cè)試采用水氧分析儀；顆粒度測(cè)試目前基本采用激光顆粒測(cè)試儀，精度達(dá)到0.1微米；而對(duì)要求更高的采用核凝結(jié)技術(shù)（CNC）它可達(dá)到0.01微米。其它氣相雜質(zhì)的測(cè)試根據(jù)具體要求確定。特氣管道安裝一般采用充氬氣加熱處理而成，EP管采用電解研磨方式加工而成。其內(nèi)、外表面極其光亮。潔凈管道的焊接除了要達(dá)到常規(guī)工業(yè)管道對(duì)焊縫的要求外，還要求焊接時(shí)管內(nèi)、外表面不受污染，焊縫內(nèi)、外表面必須與母材光亮度基本一致。
特氣管道一般采用小管道輸送，為了降低成本，管道采用直接用彎管器煨彎的方式，彎管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。因此對(duì)管道施工人員要進(jìn)行各種角度下的彎管培訓(xùn)，對(duì)焊工也必須進(jìn)行焊接程序的培訓(xùn)，熟悉各種焊接參數(shù)的調(diào)整，然后管工和焊工都必須經(jīng)過考試，由專門的質(zhì)量管理人員確認(rèn)合格后，發(fā)給作業(yè)許可證后方可施工，這也是QA/QC保證程序的組成部分。也是施工程序中人員培訓(xùn)的重點(diǎn)。一個(gè)工藝技術(shù)先進(jìn)的大規(guī)模集成電路工廠的硅片制造過程中，全部工藝大約要使用50種不同的電子氣體。其中大部分為特種氣體。本文就特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工方面做一個(gè)簡(jiǎn)單描述。在施工過程中，采取必要的安全措施，如佩戴防護(hù)用品、設(shè)置警示標(biāo)志等，確保施工人員的安全和健康。
特氣管道安裝可以家庭設(shè)備的安全使用，正確的管道安裝可以管道系統(tǒng)的流暢運(yùn)作，防止漏水、滲漏等問題，延長(zhǎng)管道系統(tǒng)的使用壽命，避免損失。特氣管道安裝可以改善家庭裝修效果，特氣管道安裝完成后，管道系統(tǒng)不僅看起來整潔規(guī)整，而且可以節(jié)省更多的家庭空間，為家庭的居室?guī)砀黙dd的美觀和舒適感。同時(shí)，特氣管道安裝還能夠有效地減少家庭可能發(fā)生的安全隱患。的特氣管道安裝可以確?；馂?zāi)逃生通道暢通，以及氣體、汽油、酒精等毒性氣體泄漏等安全隱患，實(shí)現(xiàn)家庭生活的安全防護(hù)。當(dāng)然，要想安全、可靠地使用特氣管道， 采用正規(guī)、的安裝方式。這需要的安裝項(xiàng)目，同時(shí)對(duì)安裝人員要求高，深知安裝、熟悉設(shè)備。我們擁有的安裝團(tuán)隊(duì)，連續(xù)的安裝經(jīng)驗(yàn)，可以滿足各種不同的安裝需求，每一項(xiàng)安裝任務(wù)都能高效、安全完成。同時(shí)，我們承諾，每一項(xiàng)安裝任務(wù)都能達(dá)到的標(biāo)準(zhǔn)，憑借豐富的經(jīng)驗(yàn)和良好的售后服務(wù)，為您的安裝效果，提供安全可靠的家庭環(huán)境。夏季施工預(yù)留：5-10mm;冬季施工預(yù)留：15-20mm 。多組分特氣管道安裝設(shè)計(jì)
管道支架制作安裝采用機(jī)械切割，臺(tái)鉆鉆孔，嚴(yán)禁氣割。浙江高純特氣管道安裝注意事項(xiàng)
常規(guī)供氣系統(tǒng)，常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠，50MW以下的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線，發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對(duì)氣體純度控制的要求不苛刻，系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡(jiǎn)單，節(jié)省投資。特種氣體采用普通鋼瓶（<50L）供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動(dòng)PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動(dòng)閥門和壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換，自動(dòng)氮?dú)獯祾?，自?dòng)真空輔助放空；多重安全防護(hù)措施，泄漏偵測(cè)，遠(yuǎn)程緊急切斷；專門使用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊取MB采用支路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾?，真空輔助排空。惰性氣體多采用半自動(dòng)氣瓶架，繼電器控制，自動(dòng)切換，手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空；VMB主管氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾?；支路氣?dòng)閥，氮?dú)獯祾?，真空輔助排空。氣體房和抽風(fēng)系統(tǒng)根據(jù)氣體性質(zhì)進(jìn)行分類。浙江高純特氣管道安裝注意事項(xiàng)