硅烷管道要求：1.硅烷特氣管道安裝一般好選擇管道系統(tǒng)是316或316L無(wú)縫EP級(jí)不銹鋼，其內(nèi)、外表面極其光亮，且具有焊接結(jié)構(gòu)，額定壓力為較大運(yùn)轉(zhuǎn)壓力的1.5倍，在三倍的正常傳輸壓力到較大額定壓力之間用氦檢漏，理想的系統(tǒng)應(yīng)該全部是焊接的。2.潔凈管道的焊接除了要達(dá)到常規(guī)工業(yè)管道對(duì)焊縫的要求外，還要求焊接時(shí)管內(nèi)、外表面不受污染，焊縫內(nèi)、外表面必須與母材光亮度基本一致。3.硅烷特氣管道系統(tǒng)上不允許使用襯墊閥。只能使用無(wú)襯墊膈膜閥或波紋管閥。在所有的配送系統(tǒng)上都應(yīng)安裝流量控制閥或流量開(kāi)關(guān)，以便在流線(xiàn)型破裂的情況下切斷氣流。這個(gè)切斷閥應(yīng)該盡可能接近氣源。4.在硅烷設(shè)施中，所有的氣體管道、閥門(mén)和功能性組件都要貼上標(biāo)簽，說(shuō)明它們的用途。管道上的標(biāo)簽應(yīng)當(dāng)說(shuō)明氣流方向和氣體類(lèi)型。特氣管道工程施工注意事項(xiàng)：避免出現(xiàn)管道經(jīng)常出現(xiàn)問(wèn)題，影響研究和工作進(jìn)度。鎮(zhèn)江醫(yī)院特氣管道安裝
施工管理和現(xiàn)場(chǎng)施工的注意點(diǎn)：（1）項(xiàng)目管理人員和施工人員都要進(jìn)行施工安全和施工質(zhì)量的培訓(xùn),了解特種管道的施工作業(yè)要求和規(guī)范,了解特種氣體的基本知識(shí),從而加深對(duì)特種管道施工質(zhì)量重要性的認(rèn)識(shí)。（2）特氣管道一般采用小管道輸送，為了降低成本，管道采用直接用彎管器煨彎的方式，彎管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。因此對(duì)管道施工人員要進(jìn)行各種角度下的彎管培訓(xùn)，對(duì)焊工也必須進(jìn)行焊接程序的培訓(xùn)，熟悉各種焊接參數(shù)的調(diào)整，然后管工和焊工都必須經(jīng)過(guò)考試，由專(zhuān)門(mén)的質(zhì)量管理人員確認(rèn)合格后，發(fā)給作業(yè)許可證后方可施工，這也是QA/QC保證程序的組成部分。也是施工程序中人員培訓(xùn)的重點(diǎn)。舟山特氣管道安裝服務(wù)特氣管道安裝時(shí)，在管子對(duì)口前應(yīng)檢查平直度，在距離接口中心200mm處測(cè)量。
特氣輸送系統(tǒng)是指：將特種氣體從氣源端、根據(jù)工藝設(shè)備的工藝需求、通過(guò)對(duì)流量和壓力等參數(shù)的控制，通過(guò)管道、無(wú)二次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設(shè)備的用氣點(diǎn)。其基本流程是：氣源→控制柜→管道傳輸→VMB→用氣點(diǎn)。分類(lèi)，特種氣體根據(jù)氣體性質(zhì)不同一般分為：惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；根據(jù)供應(yīng)包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。常規(guī)供氣系統(tǒng)，常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠(chǎng)，50MW以下的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(xiàn)，發(fā)光二極管的芯片工序線(xiàn)以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對(duì)氣體純度控制的要求不苛刻，系統(tǒng)配備在滿(mǎn)足安全的前提下盡量簡(jiǎn)單，節(jié)省投資。
特氣管道安裝流程:1、管道連接時(shí)，不得強(qiáng)力對(duì)口。2、管口對(duì)接應(yīng)檢查平直度，距接口200mm處測(cè)量，允許偏差1mm/m，全長(zhǎng)偏差小于10mm，法蘭間連接要平行。3、采用螺紋接頭應(yīng)用四氟乙烯帶填料，禁止用麻油。4、管道與支架中間應(yīng)采用無(wú)氯離子塑片相隔離;穿墻管道應(yīng)加套管，套管長(zhǎng)度不應(yīng)小于墻厚，中間空隙應(yīng)用不燃材料填塞。5、氮?dú)夤艿缿?yīng)有防雷及導(dǎo)除靜電的接地裝置。6、埋地管道深度不小于0.7m(管頂距地面)，直接埋地應(yīng)作防腐處理。人體工程學(xué):集中管道供應(yīng)系統(tǒng)可以將氣體出口放置在使用點(diǎn)處，這樣的話(huà)可以更合理的設(shè)計(jì)工作場(chǎng)所。焊工施焊時(shí)，要求氬弧焊機(jī)焊接時(shí)電流穩(wěn)定，焊接速度應(yīng)保持均勻一致。
特氣管道一般采用小管道輸送，為了降低成本，管道采用直接用彎管器煨彎的方式，彎管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。因此對(duì)管道施工人員要進(jìn)行各種角度下的彎管培訓(xùn)，對(duì)焊工也必須進(jìn)行焊接程序的培訓(xùn)，熟悉各種焊接參數(shù)的調(diào)整，*后管工和焊工都必須經(jīng)過(guò)考試，由專(zhuān)門(mén)的質(zhì)量管理人員確認(rèn)合格后，發(fā)給作業(yè)許可證后方可施工，這也是QA/QC保證程序的組成部分。也是施工程序中人員培訓(xùn)的重點(diǎn)。特氣管道的安裝需要特別小心，以確保安全和可靠的氣體供應(yīng)。夏季施工預(yù)留：5-10mm;冬季施工預(yù)留：15-20mm 。蘇州多組分特氣管道安裝施工規(guī)范
管道安裝時(shí)按不同的管徑和要求設(shè)置管卡或吊架,要求位置準(zhǔn)確，埋設(shè)平整。鎮(zhèn)江醫(yī)院特氣管道安裝
按照標(biāo)準(zhǔn)，預(yù)制作業(yè)需要在潔凈度達(dá)到百級(jí)的凈化間進(jìn)行，作業(yè)人員也按照百級(jí)凈化間的管理著裝。因此對(duì)于大宗特氣項(xiàng)目，一般都建有一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的預(yù)制間。但我們?cè)趯?shí)際的施工中,大宗特氣項(xiàng)目很少,一般都是簡(jiǎn)單系統(tǒng)和常規(guī)系統(tǒng),為了節(jié)約成本和資金,在要求不是很高的情況下、一般采用在施工現(xiàn)場(chǎng)找一塊相對(duì)潔凈的房間采取一定的防塵措施就地施工,除作業(yè)人員和檢察人員外,應(yīng)禁止無(wú)關(guān)人員出入。如果業(yè)主要求比較嚴(yán)格，也采用彩鋼板搭設(shè)一個(gè)簡(jiǎn)單的預(yù)制件，房間內(nèi)鋪上地板革，在屋中用潔凈塑料布封出一塊裝上兩臺(tái)層流罩，做一個(gè)簡(jiǎn)單的凈化空間，進(jìn)行管道的預(yù)制工作。鎮(zhèn)江醫(yī)院特氣管道安裝