特氣管道安裝流程:1、管道連接時(shí)，不得強(qiáng)力對(duì)口。2、管口對(duì)接應(yīng)檢查平直度，距接口200mm處測(cè)量，允許偏差1mm/m，全長(zhǎng)偏差小于10mm，法蘭間連接要平行。3、采用螺紋接頭應(yīng)用四氟乙烯帶填料，禁止用麻油。4、管道與支架中間應(yīng)采用無(wú)氯離子塑片相隔離;穿墻管道應(yīng)加套管，套管長(zhǎng)度不應(yīng)小于墻厚，中間空隙應(yīng)用不燃材料填塞。5、氮?dú)夤艿缿?yīng)有防雷及導(dǎo)除靜電的接地裝置。6、埋地管道深度不小于0.7m(管頂距地面)，直接埋地應(yīng)作防腐處理。人體工程學(xué):集中管道供應(yīng)系統(tǒng)可以將氣體出口放置在使用點(diǎn)處，這樣的話可以更合理的設(shè)計(jì)工作場(chǎng)所。管道支架制作安裝采用機(jī)械切割，臺(tái)鉆鉆孔，嚴(yán)禁氣割。寧波特氣管道安裝廠家
對(duì)于低蒸汽壓氣體（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精確控制流量，在氣源端一般會(huì)考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì)，壓力調(diào)節(jié)閥。對(duì)于劇毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w，應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì)，即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn)，要點(diǎn)對(duì)點(diǎn)，中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此，整個(gè)管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配，中間沒有三通。然后管道還要有良好的接地。寧波特氣管道安裝廠家彎管加工，常規(guī)雙層管彎頭需定做，定做成品成本高，而且質(zhì)量不易得到保證。
特氣管道系統(tǒng)工程安裝的注意事項(xiàng)，隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)的不斷發(fā)展、科技不斷自主進(jìn)步，半導(dǎo)體等對(duì)特氣有需求的行業(yè)領(lǐng)域也在不斷擴(kuò)大，特氣管道在我們的日常生活中應(yīng)用也越加的普遍起來(lái)。特氣管道一般采用電解研磨方式加工的EP管，充氬氣加熱處理而成?，F(xiàn)在市面上，特氣管道供應(yīng)商非常的多，所以，為了讓大家后期在購(gòu)買特氣管道產(chǎn)品之后能夠自如的安裝，避免安裝過程中老是出錯(cuò)，下面小編會(huì)以半導(dǎo)體生產(chǎn)制程用電子特種氣體供氣系統(tǒng)為例子為大家具體的來(lái)介紹。好啦，特氣管道安裝的介紹就到這了，感謝您的閱讀大多數(shù)的廠商只是提供產(chǎn)品，沒有管道安裝這一方面的服務(wù)。
特種氣體管道配管應(yīng)符合下列規(guī)定：1 管外徑大于1/2”的管道彎頭應(yīng)采用成品彎頭；管外徑小于或等于1/2”的彎頭可在現(xiàn)場(chǎng)使用專門使用彎管器揻制，BA級(jí)管道彎頭彎曲半徑不應(yīng)小于管外徑的3倍，EP級(jí)管道彎頭彎曲半徑不應(yīng)小于管外徑的5倍，公、英制彎管器不應(yīng)混用；2不銹鋼管道密封接頭的密封墊片應(yīng)根據(jù)氣體的性質(zhì)采用不銹鋼墊片或鎳墊片，嚴(yán)禁采用非金屬墊片、有劃傷的墊片以及將使用過的墊片，在同一密封面應(yīng)采用一個(gè)墊片；3特種氣體管道與用氣生產(chǎn)工藝設(shè)備之間的連接應(yīng)采用不銹鋼管道面密封接頭或自動(dòng)軌道氬弧焊機(jī)焊接，不得采用非金屬軟管；管道穿墻部位應(yīng)設(shè)套管，并應(yīng)以難燃材料填充套管與管道之間的間隙：同時(shí)應(yīng)對(duì)穿墻部位加以密封。根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)情況和氣體特性，設(shè)計(jì)合理的管道布局和安裝方案，確保管道的安全和穩(wěn)定運(yùn)行。
特種氣體管道配管應(yīng)符合下列規(guī)定：1 按照管道系統(tǒng)單線圖，應(yīng)將規(guī)定尺寸的管段及預(yù)制好的管道有序放在管架上，用專門使用夾具定位后進(jìn)行預(yù)連接，并應(yīng)通入適量的高純氬氣進(jìn)行保護(hù)；2 支架宜采用碳鋼噴塑、不銹鋼、熱鍍鋅C型鋼或鋁合金的槽式橋架組合；3 支架應(yīng)采用機(jī)械切割，不得氣割，切割后的端頭應(yīng)倒角并涂環(huán)氧漆后加蓋塑料封頭；4 當(dāng)采用有蓋槽式不銹鋼橋架或鋁制橋架時(shí)，應(yīng)采用樹脂薄板將橋架與鋼制綜合支架隔離；5 管外徑小于或等于1/2“管道宜采用a型不銹鋼管卡或鍍鎳電工管卡；大于或等于3/4”管道宜采用U型不銹鋼管卡或帶塑料管束的鍍鋅P型卡。焊工施焊時(shí)，要求氬弧焊機(jī)焊接時(shí)電流穩(wěn)定，焊接速度應(yīng)保持均勻一致。南通氬氣特氣管道安裝
管道連接過程中按圖紙要求設(shè)伸縮節(jié)，設(shè)計(jì)無(wú)要求時(shí)，按照規(guī)范要求設(shè)置，管端伸入伸縮節(jié)應(yīng)預(yù)留伸縮間隙。寧波特氣管道安裝廠家
彎管加工，常規(guī)雙層管彎頭需定做，定做成品成本高，而且質(zhì)量不易得到保證。施工中，可通過設(shè)計(jì)使用彎管裝置，現(xiàn)場(chǎng)制作彎頭，解決此加工問題。在雙層管道彎管時(shí)，于內(nèi)外管間套不銹鋼彈簧圈，作為內(nèi)外管傳力物，確保彎管過程中內(nèi)外管的真圓度，使彎管質(zhì)量達(dá)到要求。直管段外層管亦采用彈簧圈支墊，確保雙層管夾層空間距離，起到雙層管保護(hù)作用。彎管時(shí)不可取開管道兩端的封頭，彎頭成型后角度偏差不大于5°。自動(dòng)焊接施工 半成品和成品的保護(hù)措施應(yīng)及時(shí)有效，加工完成或焊接完成后及時(shí)將管子兩端密封。焊接管子對(duì)口必須為正方并緊密連接，在對(duì)口位置所允許的圓角和倒為壁厚的十分之一，連接口需在鎢極的中心位置。焊接時(shí)，按要求進(jìn)行內(nèi)充氬保護(hù)，控制氬氣流量大小。焊工施焊時(shí)，要求氬弧焊機(jī)焊接時(shí)電流穩(wěn)定，焊接速度應(yīng)保持均勻一致。焊接完成后，鋼絲刷刷去焊接區(qū)外表面的氧化膜。寧波特氣管道安裝廠家