對(duì)于低蒸汽壓氣體（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精確控制流量，在氣源端一般會(huì)考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì)，壓力調(diào)節(jié)閥。對(duì)于劇毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w，應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì)，即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn)，要點(diǎn)對(duì)點(diǎn)，中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此，整個(gè)管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配，中間沒(méi)有三通。然后管道還要有良好的接地。特種氣體管道的施工對(duì)環(huán)境的要求比較高，管道施工采用大批量預(yù)制然后現(xiàn)場(chǎng) 安裝的方法。上海不銹鋼特氣管道安裝參考價(jià)
設(shè)備材料進(jìn)場(chǎng)驗(yàn)收、焊接樣品鑒定時(shí)，建設(shè)單位技術(shù)人員應(yīng)在場(chǎng)檢驗(yàn)確認(rèn)。主要設(shè)備、材料進(jìn)場(chǎng)驗(yàn)收，氣瓶柜、氣瓶架、閥門(mén)箱、閥門(mén)盤(pán)進(jìn)場(chǎng)驗(yàn)收應(yīng)符合下列規(guī)定：1 外包裝上應(yīng)具有防止傾倒、輕放、防雨標(biāo)識(shí)、防震標(biāo)識(shí)，并應(yīng)完整無(wú)損；2 表面應(yīng)平整光潔、色澤一致、無(wú)毛刺、無(wú)劃痕、無(wú)銹蝕、不起鼓；柜體頂部應(yīng)設(shè)抽風(fēng)口，柜門(mén)下方應(yīng)設(shè)可調(diào)節(jié)空氣過(guò)濾網(wǎng)進(jìn)風(fēng)口；3 面板上應(yīng)有氣體的名稱、化學(xué)式、濃度、化學(xué)性質(zhì)和危險(xiǎn)標(biāo)志的標(biāo)識(shí)，并應(yīng)有管線、閥體及附件相互連接的系統(tǒng)圖；同時(shí)，應(yīng)配有與其對(duì)應(yīng)的操作手冊(cè)；4 內(nèi)部引出的管路和閥件接口應(yīng)用專門(mén)使用管帽和堵頭封堵；5 在運(yùn)輸過(guò)程中盤(pán)面內(nèi)應(yīng)保有不低于0.1MPa(表壓)壓力的氮?dú)猓? 閥門(mén)、儀表與面板之間應(yīng)有專門(mén)使用閥門(mén)支撐件，支撐件材質(zhì)應(yīng)采用不銹鋼；不得將閥門(mén)、儀表等直接用螺栓固定在面板上。檢驗(yàn)科特氣管道安裝行價(jià)夏季施工預(yù)留：5-10mm;冬季施工預(yù)留：15-20mm 。
特種氣體管道焊接應(yīng)符合下列規(guī)定：1管外徑大于或等于1"時(shí)，焊接前應(yīng)先采用手工氬弧焊機(jī)進(jìn)行不加絲對(duì)稱點(diǎn)焊預(yù)連接，點(diǎn)焊時(shí)管內(nèi)應(yīng)通入高純氬氣進(jìn)行保護(hù)，點(diǎn)焊后應(yīng)對(duì)焊點(diǎn)進(jìn)行潔凈處理，并應(yīng)用潔凈膠帶密封焊接接頭；2焊機(jī)應(yīng)采用專門(mén)使用配電箱，當(dāng)電源電壓不穩(wěn)定時(shí)應(yīng)采用自動(dòng)穩(wěn)壓裝置供電。焊機(jī)本體應(yīng)可靠接地；3焊接時(shí)的保護(hù)氣體流量應(yīng)以做焊接樣品的保護(hù)氣體流量為基準(zhǔn)；施工過(guò)程中應(yīng)連續(xù)充氣保護(hù)。施工中斷時(shí)可降低充氣流量，但應(yīng)確保管內(nèi)呈正壓；4 每一個(gè)系統(tǒng)焊接完成后，均應(yīng)充高純氣或氮?dú)庹龎罕Ｗo(hù)；5外焊縫寬度應(yīng)為管壁厚度的2.5倍~4.0倍，內(nèi)焊縫寬度不應(yīng)小于外焊縫寬度的2/3倍，焊縫不應(yīng)有裂紋、未焊透、未熔合焊接缺陷，不得有氣孔、夾渣、咬邊等缺陷。焊縫錯(cuò)邊量不應(yīng)大于管壁厚度的10%，管內(nèi)、外焊縫凹、凸起高度不應(yīng)大于管道壁厚的10%。
特種氣體管道安裝：1 管外徑大于1/2"的管道切割應(yīng)采用不銹鋼管潔凈專門(mén)使用切割機(jī)，切割時(shí)不得使用潤(rùn)滑油：切口端面應(yīng)垂直、無(wú)毛刺、不變形；滿足不加絲自動(dòng)軌道氬弧焊要求；不得使用手工鋸、砂輪切割機(jī)切割；2管道切管作業(yè)時(shí)，應(yīng)分別從兩端管口將高純氮?dú)饣驓鍤馔ㄈ牍軆?nèi)，并不得損傷管道外壁；3管口倒角作業(yè)時(shí)，不得損傷管道內(nèi)壁，并不得采用什錦銼對(duì)管口進(jìn)行倒角；4管道吹掃完畢，應(yīng)使用不產(chǎn)塵的潔凈布沾上異丙醇或無(wú)水乙醇將切割管口清洗干凈，應(yīng)迅速用潔凈防塵帽或潔凈膠帶將管口封堵；5切割結(jié)束后，剩余管材應(yīng)以潔凈防塵帽封或潔凈膠帶堵后裝入包裝袋中；6管道預(yù)制焊接總長(zhǎng)度不應(yīng)超過(guò)12m，預(yù)制時(shí)應(yīng)放置在專門(mén)使用支座上，支點(diǎn)數(shù)量不得少于4個(gè)；管道運(yùn)輸時(shí)每3m長(zhǎng)度應(yīng)設(shè)一個(gè)支點(diǎn)?，F(xiàn)在市面上的特氣管道供應(yīng)商非常的多，但是大多數(shù)的氣體管道廠商只是提供產(chǎn)品，并不包括安裝這一方面。
施工前應(yīng)將管道內(nèi)的特種氣體用高純氮?dú)馔耆脫Q，被置換出的氣體應(yīng)經(jīng)過(guò)尾氣處理裝置處理，達(dá)標(biāo)后排放。施工完畢、測(cè)試合格后，應(yīng)將管道系統(tǒng)內(nèi)充入0.1MPa(表壓)的高純氮?dú)?。說(shuō)明：本標(biāo)準(zhǔn)用詞說(shuō)明1 為便于在執(zhí)行本標(biāo)準(zhǔn)條文時(shí)區(qū)別對(duì)待，對(duì)要求嚴(yán)格程度不同的用詞說(shuō)明如下：1) 表示很嚴(yán)格，非這樣做不可的：正面詞采用“必須”，反面詞采用“嚴(yán)禁”；2) 表示嚴(yán)格，在正常情況下均應(yīng)這樣做的：正面詞采用“應(yīng)”，反面詞采用“不應(yīng)”或“不得”；3) 表示允許稍有選擇，在條件許可時(shí)首先應(yīng)這樣做的：正面詞采用“宜”，反面詞采用“不宜”；4) 表示有選擇，在一定條件下可以這樣做的，采用“可”。2 條文中指明應(yīng)按其他有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行的寫(xiě)法為：“應(yīng)符合….的規(guī)定”或“應(yīng)按……執(zhí)行”。特種氣體管道的主要施工機(jī)具有:全自動(dòng)軌道焊機(jī)(D100、MIOO等)管道切割機(jī)。浙江廠房特氣管道安裝服務(wù)
選擇特氣管道工程安裝公司的標(biāo)準(zhǔn)：對(duì)特氣管道工程設(shè)計(jì)考慮的比較全方面。上海不銹鋼特氣管道安裝參考價(jià)
尾氣處理裝置進(jìn)場(chǎng)驗(yàn)收應(yīng)符合下列規(guī)定：1 尾氣處理裝置進(jìn)場(chǎng)應(yīng)對(duì)外觀、外形尺寸、構(gòu)成、接口、銘牌、氣密試驗(yàn)、閥門(mén)動(dòng)作、信號(hào)傳輸?shù)刃阅苓M(jìn)行檢查和核對(duì)；2 尾氣處理裝置的主要組成件、附件應(yīng)符合設(shè)計(jì)與合同的要求，隨機(jī)資料和專門(mén)使用工具應(yīng)齊全；3 酸堿中和裝置的洗滌塔、風(fēng)機(jī)、泵、控制盤(pán)、酸(堿)儲(chǔ)罐以及連接管路等應(yīng)進(jìn)行外觀檢查，隨機(jī)資料應(yīng)齊全；4 尾氣處理裝置、風(fēng)機(jī)、泵的出廠合格證、性能測(cè)試報(bào)告，銘牌、標(biāo)識(shí)應(yīng)齊全；5 系統(tǒng)流程圖、控制原理圖、設(shè)備使用說(shuō)明書(shū)應(yīng)齊全。上海不銹鋼特氣管道安裝參考價(jià)