氣體管道設(shè)計規(guī)范：1、穿過實驗室墻體或樓板的氣體管道應(yīng)敷在預(yù)埋套管內(nèi)，套管內(nèi)的管段不應(yīng)有焊縫。管道與套管之間應(yīng)采用非燃燒材料嚴(yán)密封堵。2、氫氣、氧氣管道的末端和較高點宜設(shè)放空管。放空管應(yīng)高出層頂2m以上，并應(yīng)設(shè)在防雷保護(hù)區(qū)內(nèi)。氫氣管道上還應(yīng)設(shè)取樣口和吹掃口。放空管、取樣口和吹掃口的位置應(yīng)能滿足管道內(nèi)氣體吹掃置換的要求。3、氫氣、氧氣管道應(yīng)有導(dǎo)除靜電的接地裝置。有接地要求的氣體管道其接地和跨接措施應(yīng)按國家現(xiàn)行有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。穿過實驗室墻體或樓板的氣體管道應(yīng)敷在預(yù)埋套管內(nèi)，套管內(nèi)的管段不應(yīng)有焊縫。南京潔凈室氣體管道設(shè)計公司
管道設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)：一、管道直徑的確定，管道直徑的確定取決于氣體的流量和運(yùn)輸?shù)木嚯x。如果管道直徑過小，會導(dǎo)致氣體流量不足，影響氣體的輸送效率;如果管道直徑過大，不只會浪費材料，還會增加建設(shè)成本。二、管道的布局，在氣體管道的布局設(shè)計中，需要考慮管道連接的數(shù)量和位置、管道的支撐方式等因素。合理的管道布局可以保證氣體輸送的平穩(wěn)和安全。三五、管道的安裝，在氣體管道的安裝過程中，需要特別注意管道的密封和固定。如果安裝不當(dāng)，會導(dǎo)致氣體泄漏和管道破裂等安全問題。以上就是芯片凈化車間建設(shè)中工業(yè)氣體管道設(shè)計的必須知道的標(biāo)準(zhǔn)。只有在嚴(yán)格遵守這些標(biāo)準(zhǔn)的前提下，才能保證凈化車間的高效運(yùn)行和安全生產(chǎn)。上海氬氣氣體管道設(shè)計連接圖填料應(yīng)采用經(jīng)除油處理的石墨石棉或聚四氟乙烯。
氣體管道設(shè)計規(guī)范：1.氫氣、氧氣和煤氣管道以及引入實驗室的各種氣體管道支管宜明敷。當(dāng)管道井、管道技術(shù)層內(nèi)敷設(shè)有氫氣、氧氣和煤氣管道時，應(yīng)有換氣1 - 3 次/h 的通風(fēng)措拖。2.按標(biāo)準(zhǔn)單元組合設(shè)計的通用實驗空，各種氣體管道也應(yīng)按標(biāo)準(zhǔn)單元組合設(shè)計。3.穿過實驗室墻體或樓板的氣體管道應(yīng)敷在預(yù)埋套管內(nèi)，套管內(nèi)的管段不應(yīng)有焊縫。管道與套管之間應(yīng)采用非燃燒材料嚴(yán)密封堵。4.氫氣、氧氣管道的末端和較高點宜設(shè)放空管。放空管應(yīng)高出層頂2m以上，并應(yīng)設(shè)在防雷保護(hù)區(qū)內(nèi)。氫氣管道上還應(yīng)設(shè)取樣口和吹掃口。放空管、取樣口和吹掃口的位置應(yīng)能滿足管道內(nèi)氣體吹掃置換的要求。5.氫氣、氧氣管道應(yīng)有導(dǎo)除靜電的接地裝置。有接地要求的氣體管道其接地和跨接措施應(yīng)按國家現(xiàn)行有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。
高純/特種氣體的概念，半導(dǎo)體集成電路制造所需要的高純氣體主要分為兩大類：1.普通氣體：也叫大宗氣體，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。2.特種氣體：主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體等。氣力輸送設(shè)計的計算方法：1、確定各工作參數(shù)。氣力輸送的主要工作參數(shù)包括輸送量、混合比(輸送濃度)和氣流速度等，這些參數(shù)的正確確定，對氣力輸送系統(tǒng)的選擇和運(yùn)行的經(jīng)濟(jì)性有很大的影響。2、確定各主要部件的型式和結(jié)構(gòu)尺寸，如選用吸送式氣力輸送型式，則要注意吸嘴的選型，繪制出系統(tǒng)示意圖。3、計算出系統(tǒng)各部分的壓力損失及管道總壓力損失。4、根據(jù)風(fēng)網(wǎng)總風(fēng)量和總壓力損失選擇合適的風(fēng)機(jī)，并計算風(fēng)機(jī)所需功率配用電機(jī)。根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況嗎，高純氣體的管網(wǎng)大小長短應(yīng)適宜，不宜過大或過長。
進(jìn)行檢測和調(diào)試。在氣體管道施工完成后，需要進(jìn)行管道的檢測和調(diào)試工作。首先，進(jìn)行的氣體泄漏檢測，確保管道的密封性。其次，進(jìn)行的氣體流量的測試，確保氣體輸送的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。通過檢測和調(diào)試，可以發(fā)現(xiàn)并解決潛在的問題，確保管道的正常運(yùn)行。然后，進(jìn)行驗收和維護(hù)。當(dāng)實驗室氣體管道設(shè)計與施工完成后，需要進(jìn)行驗收工作。驗收包括對管道的安全性、可靠性以及使用效果的檢查。只有通過驗收，實驗室能夠正式投入使用。同時，為了保證管道的正常運(yùn)行和使用壽命，還需要進(jìn)行定期的維護(hù)和保養(yǎng)工作，包括清洗、潤滑等。管道與套管之間應(yīng)采用非燃燒材料嚴(yán)密封堵。南京潔凈室氣體管道設(shè)計公司
所有管道應(yīng)清晰標(biāo)識，包括氣體名稱、流向標(biāo)記和安全警示。南京潔凈室氣體管道設(shè)計公司
物料的輸送狀況：輸送量，在設(shè)計氣力輸送系統(tǒng)時，一般是根據(jù)單位時間的輸送量確定系統(tǒng)的容量和規(guī)格。輸送系統(tǒng)往往是作為整套設(shè)備的組成部分進(jìn)行設(shè)計的。如果輸送能力比額定值大，則后部的設(shè)備就沒有能力處理，反之，如果輸送能力過小，則會影響設(shè)備的正常操作。因此，一般宜使瞬時的輸送量控制在額定的范圍內(nèi)。對連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的設(shè)備，當(dāng)輸送裝置萬一發(fā)生故障時，會造成整套設(shè)備的停車，帶來過大的損失。因此輸送系統(tǒng)應(yīng)具有承受連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的結(jié)構(gòu)，并要設(shè)置中間料斗，以便在緊急修理時，允許暫停運(yùn)轉(zhuǎn)。當(dāng)供給量不連續(xù)時，在瞬時內(nèi)會供給大量的物料所以系統(tǒng)的容量應(yīng)加大。南京潔凈室氣體管道設(shè)計公司