主要的施工機具，特種氣體管道的主要施工機具有:全自動軌道焊機(D100、MIOO等)管道切割機（GF鋸）、管子割刀、平口機、彎管器、倒角器、管口毛刺修理刮刀、有的需要配置電源穩(wěn)壓器、防止施工現(xiàn)場電流波動對焊接質(zhì)量造成影響、臺虎鉗、配電箱、拖線盤、臺鉆、電鉆、沖擊鉆、切割機、電焊機、手工氬弧焊機、其他輔助工具。施工管理和現(xiàn)場施工的幾個注意點，項目管理人員和施工人員都要進行施工安全和施工質(zhì)量的培訓,了解特種管道的施工作業(yè)要求和規(guī)范,了解特種氣體的基本知識,從而加深對特種管道施工質(zhì)量重要性的認識。管道水平15°橫放固定傾斜擺放姿勢進行切割及端面處理，并順介質(zhì)下的流方向沖放高純氮氣。鎮(zhèn)江特氣管道安裝工程
特種氣體管道安裝施工方案，特種氣體管道安裝施工方案需要考慮以下幾個方面：1. 材料選擇：特種氣體管道需要選用適合的材料，如不銹鋼、玻璃鋼等，以確保管道的密封性和耐腐蝕性。2. 設(shè)計方案：根據(jù)現(xiàn)場情況和氣體特性，設(shè)計合理的管道布局和安裝方案，確保管道的安全和穩(wěn)定運行。3. 施工準備：準備好必要的工具和設(shè)備，如切割機、焊接機等，確保施工現(xiàn)場的安全和清潔。4. 管道安裝：按照設(shè)計方案進行管道的切割、焊接、連接等操作，確保管道的密封性和牢固性。廠房特氣管道安裝流程特氣管道一般采用小管道輸送，為了降低成本，管道采用直接用彎管器煨彎的方式。
這些工廠的特種氣體的供給，除了普通鋼瓶（50L及以下）包裝的特種氣體外，還有多種類的特種氣體都普遍采用大包裝容器，由此它們被稱為大宗特氣，包括Y-鋼瓶（450L），T-鋼瓶（980L），集裝格（940L），ISO罐（22,500L），魚雷車（13,400L）等。大宗特氣供應系統(tǒng)（BSGS）采用全自動PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器，可實現(xiàn)自動切換，自動氮氣吹掃，自動真空輔助放空；多重安全防護措施，泄漏偵測，遠程緊急切斷；專門使用氮氣吹掃起源等等。特種氣體采用單獨氣源，多用點采用VMB或VMP分路供應，VMB或VMP采用支路氣動閥，氮氣吹掃，真空輔助排空等。由于BSGS氣源總量大，多采用單獨的氣體房，單獨的抽風系統(tǒng)
系統(tǒng)檢測，特氣管道施工結(jié)束后都需要進行壓力檢測，氦檢漏，顆粒度和水分、氧分測試。壓力檢測一般采用比較精密的圓盤式壓力檢測儀或電子檢測儀，不用壓力表。這樣較大程度上提高了檢測的精密度。水、氧測試采用水氧分析儀；顆粒度測試目前基本采用激光顆粒測試儀，精度達到0.1微米；而對要求更高的采用核凝結(jié)技術(shù)（CNC）它可達到0.01微米。其它氣相雜質(zhì)的測試根據(jù)具體要求確定。氣體房和氣柜還須有自動噴淋系統(tǒng)，但有的氣體如三氟化氯,硅烷遇水反應，這時就還需要考慮采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。現(xiàn)在市面上的特氣管道供應商非常的多，但是大多數(shù)的氣體管道廠商只是提供產(chǎn)品，并不包括安裝這一方面。
這里主要介紹一下在進行特種氣體管道安裝時的行為要求標準。特種氣體管道安裝要求說明：1、不得強力對中管道，也不能使用加熱管和加偏墊消除接口偏差，錯位和不同心。2、連接法蘭時，應保持法蘭之間的平行度，不超過法蘭外徑的1.5％，且不超過2mm，法蘭連接也應與管道同心，并應保證螺栓自由穿入。法蘭連接應使用相同規(guī)格的螺栓，并且安裝方向應相同。擰緊螺栓時，應對稱且均勻地擰緊螺栓。在滑動法蘭的內(nèi)表面進行角焊時，避免飛濺和刮擦。在以下情況之一中，應在螺栓和螺母上涂上二硫化鉬潤滑脂，石墨油或石墨粉。管道安裝時按不同的管徑和要求設(shè)置管卡或吊架,要求位置準確，埋設(shè)平整。南京不銹鋼特氣管道安裝
管道焊接，自動焊接試樣制作 根據(jù)焊接工藝評定和焊接工藝規(guī)程，嚴格焊接操作。鎮(zhèn)江特氣管道安裝工程
大宗特氣供氣系統(tǒng)，大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線（氣體種類包括NH3），發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產(chǎn)線（氣體種類包括HCL）等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，采用先進的工藝制程設(shè)備，用氣需求量大，對穩(wěn)定和不間斷供應、純度控制和安全生產(chǎn)提出較嚴格的要求。鎮(zhèn)江特氣管道安裝工程