硅烷特氣柜設(shè)計要求：1、因為硅烷（SiH4）的危險性，所以整套系統(tǒng)應(yīng)該配備惰性吹掃裝置，而且應(yīng)該設(shè)置單獨的惰性氣體鋼瓶（比如高壓N2）進行吹掃，不得采用管道氮氣吹掃。2、硅烷（SiH4）與空氣會自燃，柜內(nèi)應(yīng)配備氣體泄露偵測器、火焰探測器等，當(dāng)發(fā)生泄漏時，能及時報警處理，避免更大事故的發(fā)生。3、硅烷系統(tǒng)的排氣管不得接入排風(fēng)系統(tǒng)，硅烷和硅烷混合物排氣系統(tǒng)應(yīng)該單獨于其它氣體排氣系統(tǒng)。4、如果排氣的硅烷（SiH4）濃度較高時，應(yīng)采用燃燒式尾氣處理裝置處理后排入大氣。5、由于存在通過系統(tǒng)的固定慣性氣流，要設(shè)有防止回流裝置。6、排氣管應(yīng)采用惰性氣體連續(xù)吹掃，吹掃氣體流速不得小于0.3m/s。焊工施焊時，要求氬弧焊機焊接時電流穩(wěn)定，焊接速度應(yīng)保持均勻一致。蘇州氨氣特氣管道安裝連接圖
管道、管件和閥門應(yīng)在潔凈室內(nèi)進行內(nèi)包裝開封檢查，并應(yīng)符合下列規(guī)定：1 管道、管件、閥門應(yīng)有單獨的內(nèi)包裝，端口均應(yīng)裝有防塵帽；2 管道、管件、閥門檢查后應(yīng)恢復(fù)內(nèi)包裝及防塵帽；3 管道外觀檢查應(yīng)按全數(shù)的5%以上抽查，規(guī)格尺寸、壁厚，圓度、端面平整度等應(yīng)符合產(chǎn)品的技術(shù)要求；4 材質(zhì)檢查宜采用便攜式金屬光譜分析儀檢查，每批每種規(guī)格應(yīng)隨機抽查5%以上，且不得少于1件，其化學(xué)成分應(yīng)符合材質(zhì)質(zhì)量保證書及相關(guān)要求；5 管道、管件內(nèi)表面粗糙度應(yīng)采用樣品比較法在管道兩端檢查，每批每種規(guī)格應(yīng)隨機抽查5％以上，且不得少于1件，有不合格時應(yīng)加倍抽查；6 管道內(nèi)壁平均表面粗糙度Ra及較大表面糙度Rmax應(yīng)滿足設(shè)計文件的要求。上?；炇姨貧夤艿腊惭b注意事項管道安裝時按不同的管徑和要求設(shè)置管卡或吊架,要求位置準(zhǔn)確，埋設(shè)平整。
特種氣體管道安裝施工方案需要考慮以下幾個方面：1. 材料選擇：特種氣體管道需要選用適合的材料，如不銹鋼、玻璃鋼等，以確保管道的密封性和耐腐蝕性。2. 設(shè)計方案：根據(jù)現(xiàn)場情況和氣體特性，設(shè)計合理的管道布局和安裝方案，確保管道的安全和穩(wěn)定運行。3. 施工準(zhǔn)備：準(zhǔn)備好必要的工具和設(shè)備，如切割機、焊接機等，確保施工現(xiàn)場的安全和清潔。4. 管道安裝：按照設(shè)計方案進行管道的切割、焊接、連接等操作，確保管道的密封性和牢固性。5. 壓力測試：在管道安裝完成后，進行壓力測試，以確保管道的密封性和耐壓性。6. 吹掃和清洗：對管道進行吹掃和清洗，以去除殘留的雜質(zhì)和污染物，確保管道的干凈和衛(wèi)生。7. 安全措施：在施工過程中，采取必要的安全措施，如佩戴防護用品、設(shè)置警示標(biāo)志等，確保施工人員的安全和健康。8. 質(zhì)量控制：對施工過程進行質(zhì)量控制，確保管道的安裝質(zhì)量符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和要求。
常規(guī)供氣系統(tǒng)，常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠，50MW以下的太陽能電池生產(chǎn)線，發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對氣體純度控制的要求不苛刻，系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡單，節(jié)省投資。特種氣體采用普通鋼瓶（<50L）供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器，可實現(xiàn)自動切換，自動氮氣吹掃，自動真空輔助放空；多重安全防護措施，泄漏偵測，遠(yuǎn)程緊急切斷；專門使用氮氣吹掃起源等等。VMB采用支路氣動閥，氮氣吹掃，真空輔助排空。惰性氣體多采用半自動氣瓶架，繼電器控制，自動切換，手動吹掃，手動放空；VMB主管氣動閥，氮氣吹掃；支路氣動閥，氮氣吹掃，真空輔助排空。氣體房和抽風(fēng)系統(tǒng)根據(jù)氣體性質(zhì)進行分類。選擇特氣管道工程安裝公司的標(biāo)準(zhǔn)：十幾年行業(yè)經(jīng)驗，技術(shù)的積累。
GP特種氣體管道的“施工”，特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接，同時制定和實施嚴(yán)格的超高純施工和QA/QC保證程序，對施工的質(zhì)量和程序進行嚴(yán)格的監(jiān)控和管理。然后整個系統(tǒng)還要進行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測試。現(xiàn)場基本的施工程序為：01施工圖紙會審 02施工組織編寫 03預(yù)制間的搭設(shè) 04施工機具的準(zhǔn)備 05施工人員的培訓(xùn) 06預(yù)制圖紙的編寫07管道的預(yù)制 08管道的現(xiàn)場安裝 09系統(tǒng)檢測 10系統(tǒng)驗收。特氣系統(tǒng)檢測：a設(shè)備安裝完成后，按照系統(tǒng)要求的基本功能逐一測試。b系統(tǒng)運行正常，聯(lián)機測試通過。針對以上情況及實際工作壓力，參考《國家工業(yè)管道安裝及驗收規(guī)范》(GB50235-2010)、《現(xiàn)場設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工及驗收規(guī)范》(GB50236-2010)等部分有關(guān)規(guī)定，對本項目氣體管道壓力試驗及凈化制定具體方案。直管段外層管亦采用彈簧圈支墊，確保雙層管夾層空間距離，起到雙層管保護作用。寧波特氣管道安裝市場價格
整個系統(tǒng)還要進行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測試。蘇州氨氣特氣管道安裝連接圖
特氣管道工程安裝注意事項有哪些？1、管道支架制作安裝采用機械切割，臺鉆鉆孔，嚴(yán)禁氣割。支吊架要滿焊，安裝采用預(yù)埋板或滿足荷載要求的膨脹螺栓固定，確保牢固可靠。所有支吊架安裝前必須做除銹、涂刷兩遍防銹漆的防腐處理。2、管道連接過程中按圖紙要求設(shè)伸縮節(jié)，設(shè)計無要求時，按照規(guī)范要求設(shè)置，管端伸入伸縮節(jié)應(yīng)預(yù)留伸縮間隙：夏季施工預(yù)留：5-10mm;冬季施工預(yù)留：15-20mm 。管材或管件在粘合前應(yīng)將承口和插口的粘結(jié)面擦拭干凈，確保無異物。當(dāng)表面粘有油污時，應(yīng)采用清潔劑擦凈。蘇州氨氣特氣管道安裝連接圖