輔助系統(tǒng)的設(shè)計(jì)。氣體柜或控制面板在安裝和運(yùn)輸?shù)倪^程中由于搬運(yùn)和震動(dòng)，閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對(duì)其重新進(jìn)行高壓氣密性試驗(yàn)和氦檢，氣體的置換也需要用到高壓氮?dú)饣蚝猓蕴貧夤裥柙O(shè)計(jì)接入高壓惰性氣體氦氣或氮?dú)?。一般選擇在特氣房設(shè)置一臺(tái)或多臺(tái)惰性氣體柜。材料的選擇。特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光(EP)管道，閥門一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、(<0.003微米)、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對(duì)于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經(jīng)過特殊處理的耐腐蝕強(qiáng)的EP管 。各種氣體管道應(yīng)設(shè)置明顯標(biāo)志。衛(wèi)生院氣體管道設(shè)計(jì)廠商
助燃?xì)怏w：窒息性氣體，此類氣體無色、無臭、低毒性，但是大量窒息性氣體的泄漏或排入大氣中會(huì)使空氣中氧的濃度降低，當(dāng)空氣中的氧濃度低于18％時(shí)，人會(huì)感覺到頭暈惡心，甚至?xí)斐芍舷⑺劳觥Ｋ砸欢ㄒ獓?yán)防氣體的泄漏。在使用場(chǎng)所設(shè)置必要的換氣，及時(shí)將窒息性氣體排至室外。有毒氣體，在使用、貯存有毒氣體的場(chǎng)所應(yīng)設(shè)有可靠的通風(fēng)裝置。和毒氣泄漏報(bào)警裝置一旦空氣中有毒氣體達(dá)到規(guī)定值時(shí)，應(yīng)進(jìn)行報(bào)警，同時(shí)自動(dòng)開啟自動(dòng)排氣裝置，有毒氣體在排入大氣前必須經(jīng)過可靠的處理，達(dá)到規(guī)定的無害狀態(tài)后方可排放。此類氣體一遇水就會(huì)顯示強(qiáng)腐蝕性，因此在腐蝕性氣體系統(tǒng)使用前應(yīng)以干燥氮?dú)獾葘?duì)系統(tǒng)設(shè)備、管道進(jìn)行吹掃、干燥，尤其時(shí)高壓儲(chǔ)氣瓶的灌裝口，因環(huán)境空氣中的水分易引起腐蝕必須裝設(shè)氣瓶帽，并在裝氣瓶帽時(shí)使用氮?dú)鈱?duì)灌裝口進(jìn)行充分的干燥。衛(wèi)生院氣體管道設(shè)計(jì)廠商氫氣、氧氣管道的末端和較高點(diǎn)宜設(shè)放空管。
管道敷設(shè)要求：1）輸送干燥氣體的管道宜水平安裝， 輪送潮濕氣體的管道應(yīng)有不小于0.3%的坡度，坡向冷凝液體收集器。2）氧氣管道與其他氣體管道可同架敷設(shè)，其間距不得小于0.25m，氧氣管道應(yīng)處于除氫氣管道外的其他氣體管道之上。3）氫氣管道與其他可燃?xì)怏w管道平行敷設(shè)時(shí)，其間距不應(yīng)小于0.50m ; 交叉敷設(shè)時(shí)，其間距不應(yīng)小于0.25m。分層敷設(shè)時(shí)，氫氣管道應(yīng)位于上方。室內(nèi)氫氣管道不應(yīng)敷設(shè)在地溝內(nèi)或直接埋地，不得穿過不使用氫氣的房間。4）氣體管道不得和電纜、導(dǎo)電線路同架敷設(shè)。
高純氣體管路的設(shè)計(jì)要點(diǎn)：1.對(duì)高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備，宜采用分等級(jí)高純氣體輸送系統(tǒng)；也可采用同等級(jí)輸送系統(tǒng)，但是在純度要求高的用氣設(shè)備鄰近處設(shè)末端氣體提純裝置。2.為了檢測(cè)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量，輸送系統(tǒng)除了設(shè)置必要的連續(xù)檢測(cè)儀器，如衡量水含量或者氧雜質(zhì)含量等分析儀外，還應(yīng)設(shè)置定期取樣用的檢測(cè)采樣口，以便按規(guī)定時(shí)間進(jìn)行采樣，分析高純氣體中各種雜質(zhì)的含量。3.在亞微米級(jí)的集成電路生產(chǎn)中，要求供應(yīng)10－9級(jí)的高純氣體，為了確保末端用氣工藝設(shè)備處的氣體純度，使氣體中的雜質(zhì)含量（包括塵粒）控制在規(guī)定的數(shù)值內(nèi)，一般在設(shè)備前設(shè)置末端純化裝置，或末端高精度氣體過濾器。壓力管道拐彎應(yīng)力集中區(qū)應(yīng)有安全加固，設(shè)計(jì)合適的拐彎半徑，彎曲部位不能有皺折及扭曲。
氣體管道設(shè)計(jì)規(guī)范?：1、本章規(guī)定適用于壓力不大于0.8MPa的氫氣、氧氣、氮?dú)?、煤氣、壓縮空氣和真空等實(shí)驗(yàn)室內(nèi)氣體管道設(shè)計(jì)。2、氣體管道設(shè)計(jì)除應(yīng)按現(xiàn)行的《城鎮(zhèn)燃?xì)庠O(shè)計(jì)規(guī)范》、《工業(yè)企業(yè)煤氣安全規(guī)程》、《氧氣站設(shè)計(jì)規(guī)范》、《氫氣使用安全技術(shù)規(guī)程》等的規(guī)定執(zhí)行外，尚應(yīng)符合本規(guī)范的規(guī)定。3、氫氣、氧氣和煤氣管道以及引入實(shí)驗(yàn)室的各種氣體管道支管宜明敷。當(dāng)管道井、管道技術(shù)層內(nèi)敷設(shè)有氫氣、氧氣和煤氣管道時(shí)，應(yīng)有換氣次數(shù)為每小時(shí)1～3次的通風(fēng)措施。4、按標(biāo)準(zhǔn)單元組合設(shè)計(jì)的通用實(shí)驗(yàn)室，各種氣體管道也應(yīng)按標(biāo)準(zhǔn)單元組合設(shè)計(jì)。實(shí)驗(yàn)室氣體管道功能性要求，管道設(shè)計(jì)應(yīng)滿足氣體使用的流量和壓力要求，保證實(shí)驗(yàn)過程中供氣的穩(wěn)定性。衛(wèi)生院氣體管道設(shè)計(jì)廠商
氣瓶應(yīng)放在主體建筑物之外的氣瓶存放間。衛(wèi)生院氣體管道設(shè)計(jì)廠商
氣體管道連接規(guī)范：1、氣體管道的連接應(yīng)采用焊接或法蘭連接等形式。氫氣管道不得用螺紋連接。高純氣體管道應(yīng)采用承插焊接。2、氣體管道與設(shè)備、閥門及其他附件的連接應(yīng)采用法蘭或螺紋連接。螺紋接頭的絲扣填料應(yīng)采用聚四氟乙烯薄膜或一氧化鉛、甘油調(diào)合填料。氣體管道設(shè)計(jì)安全技術(shù)：1、氣體管道設(shè)計(jì)的安全技術(shù)應(yīng)符合下列規(guī)定：2、每臺(tái)(組)用氫設(shè)備的支管和氫氣放空管上應(yīng)設(shè)置阻火器。3、各種氣體管道應(yīng)設(shè)置明顯標(biāo)志。4、使用氫氣及可燃?xì)怏w的實(shí)驗(yàn)室應(yīng)設(shè)置報(bào)警裝置。5、氣瓶應(yīng)放在主體建筑物之外的氣瓶存放間。對(duì)曰用氣量不超過一瓶的氣體，實(shí)驗(yàn)室內(nèi)可放置一個(gè)該種氣體的氣瓶，但氣瓶應(yīng)有安全防護(hù)設(shè)施。6、氫氣和氮?dú)獾臍馄看娣砰g應(yīng)有每小時(shí)不小于三次換氣的通風(fēng)措施。衛(wèi)生院氣體管道設(shè)計(jì)廠商