大宗特氣供氣系統(tǒng)，大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對(duì)大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線（氣體種類包括NH3），發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產(chǎn)線（氣體種類包括HCL）等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，采用先進(jìn)的工藝制程設(shè)備，用氣需求量大，對(duì)穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出較嚴(yán)格的要求。管材或管件在粘合前應(yīng)將承口和插口的粘結(jié)面擦拭干凈，確保無(wú)異物。湖州多組分特氣管道安裝廠商
系統(tǒng)檢測(cè)，特氣管道施工結(jié)束后都需要進(jìn)行壓力檢測(cè)，氦檢漏，顆粒度和水分、氧分測(cè)試。壓力檢測(cè)一般采用比較精密的圓盤式壓力檢測(cè)儀或電子檢測(cè)儀，不用壓力表。這樣較大程度上提高了檢測(cè)的精密度。水、氧測(cè)試采用水氧分析儀；顆粒度測(cè)試目前基本采用激光顆粒測(cè)試儀，精度達(dá)到0.1微米；而對(duì)要求更高的采用核凝結(jié)技術(shù)（CNC）它可達(dá)到0.01微米。其它氣相雜質(zhì)的測(cè)試根據(jù)具體要求確定。氣體房和氣柜還須有自動(dòng)噴淋系統(tǒng)，但有的氣體如三氟化氯,硅烷遇水反應(yīng)，這時(shí)就還需要考慮采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。常州實(shí)驗(yàn)室特氣管道安裝公司在施工過程中，采取必要的安全措施，如佩戴防護(hù)用品、設(shè)置警示標(biāo)志等，確保施工人員的安全和健康。
輔助系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，氣體柜或控制面板在安裝和運(yùn)輸?shù)倪^程中由于搬運(yùn)和震動(dòng)，閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對(duì)其重新進(jìn)行高壓氣密性試驗(yàn)和氦檢，氣體的置換也需要用到高壓氮?dú)饣蚝猓蕴貧夤裥柙O(shè)計(jì)接入高壓惰性氣體氦氣或氮?dú)?。一般選擇在特氣房設(shè)置一臺(tái)或多臺(tái)惰性氣體柜。其連接形式為，特氣柜中裝有各種氣體驅(qū)動(dòng)閥，主管路在送氣前必須進(jìn)行管道的吹掃和空氣的置換，所以還需輔助有高純氮?dú)夂蜐崈魤嚎s空氣系統(tǒng)。氮?dú)庀到y(tǒng)采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管徑根據(jù)氣柜的多少來(lái)計(jì)算決定。
閥門箱與閥門盤的安裝，閥門箱和閥門盤應(yīng)固定在專門使用支座上或固定支架固定在梁、柱與墻上，不得將閥門箱直接固定在地面上。10.4.2閥門箱和閥門盤的支座宜采用專門使用鍍鋅型鋼、專門使用噴塑型鋼或?qū)ｉT使用不銹鋼型鋼裝配式連接，不宜采用焊接。10.4.3閥門箱和閥門盤的垂直度偏差不應(yīng)大于1.5‰，成列盤面的垂直度偏差不應(yīng)大于5mm。閥門箱與閥門盤就位找平后，應(yīng)固定牢固。連接閥門與閥門盤、閥門箱的螺栓應(yīng)為不銹鋼螺栓，不得將閥門和管道系統(tǒng)與任何未經(jīng)處理的碳鋼件直接接觸。焊接時(shí)，按要求進(jìn)行內(nèi)充氬保護(hù)，控制氬氣流量大小。
特種氣體管道焊接應(yīng)符合下列規(guī)定：1 施工單位在工程開工前應(yīng)對(duì)參加該工程的焊工進(jìn)行認(rèn)證，并應(yīng)向建設(shè)單位提交管道焊接樣品、焊接合格確認(rèn)單，經(jīng)建設(shè)單位項(xiàng)目技術(shù)負(fù)責(zé)人簽字確認(rèn)后方能進(jìn)行焊接施工，施工單位應(yīng)保留合格的焊接樣品和記錄；2 應(yīng)使用自動(dòng)軌道氬弧焊機(jī)焊接，所用氬氣純度不得小于99.999%,焊接用氣體應(yīng)加裝可調(diào)節(jié)流量計(jì)顯示氣體流量，內(nèi)保護(hù)氣應(yīng)裝壓力計(jì)監(jiān)測(cè)管內(nèi)壓力；3焊接前應(yīng)編制焊接工藝規(guī)程和繪制系統(tǒng)的單線圖，單線圖上應(yīng)對(duì)焊接接頭進(jìn)行編號(hào)，編號(hào)應(yīng)與焊接記錄的焊接接頭編號(hào)一致.了解特種管道的施工作業(yè)要求和規(guī)范。舟山室內(nèi)特氣管道安裝行價(jià)
焊接管子對(duì)口必須為正方并緊密連接，在對(duì)口位置所允許的圓角和倒為壁厚的十分之一。湖州多組分特氣管道安裝廠商
管道系統(tǒng)的設(shè)計(jì)：材料的選擇，特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光（EP）管道，閥門一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、（＜0.003微米）、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對(duì)于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經(jīng)過特殊處理的耐腐蝕強(qiáng)的EP管 。主管路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，在確定好氣體房和用氣點(diǎn)以后,主管路系統(tǒng)一般遵循管道線路較短,拐彎較少,布置緊湊合理,給人簡(jiǎn)單美觀的感覺。輸送系統(tǒng)的數(shù)量和管徑的大小一般根據(jù)機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)的多少和流量大小確定，基本都采用小管徑輸送（1/4-3/4）而且多設(shè)計(jì)了備用系統(tǒng)。由于氣體本身的危險(xiǎn)性，許多地方采用把管道鋪設(shè)在電纜橋架里，對(duì)于穿墻或穿過夾道的地方，周圍有危險(xiǎn)源和經(jīng)常有危險(xiǎn)作業(yè)的地方，露天的地方管道一般布置在全封閉的橋架里。湖州多組分特氣管道安裝廠商