特氣管道一般采用小管道輸送，為了降低成本，管道采用直接用彎管器煨彎的方式，彎管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。因此對管道施工人員要進(jìn)行各種角度下的彎管培訓(xùn)，對焊工也必須進(jìn)行焊接程序的培訓(xùn)，熟悉各種焊接參數(shù)的調(diào)整，然后管工和焊工都必須經(jīng)過考試，由專門的質(zhì)量管理人員確認(rèn)合格后，發(fā)給作業(yè)許可證后方可施工，這也是QA/QC保證程序的組成部分。也是施工程序中人員培訓(xùn)的重點(diǎn)。一個工藝技術(shù)先進(jìn)的大規(guī)模集成電路工廠的硅片制造過程中，全部工藝大約要使用50種不同的電子氣體。其中大部分為特種氣體。本文就特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工方面做一個簡單描述。所有管道的支吊架必須符合規(guī)范及設(shè)計(jì)要求并按照標(biāo)準(zhǔn)圖集中的要求制作與安裝。常州多組分特氣管道安裝廠家
管道、管件和閥門進(jìn)場驗(yàn)收應(yīng)符合下列規(guī)定：1 在非潔凈室全數(shù)目測檢查管道外包裝，不得有破損、變形；2 檢查合格的管道、管件及閥門搬入潔凈室前，應(yīng)在緩沖間(前室)去除外包裝薄膜；搬入潔凈室后，應(yīng)按種類、規(guī)格分別存放在潔凈室的貨架上，不得直接放在地面上。潔凈室的潔凈度宜優(yōu)于或等于7級(0. 5μm)；3 進(jìn)場的管道、管件和閥門應(yīng)有產(chǎn)品規(guī)格、型號、合格證、材質(zhì)證明、使用說明書、檢驗(yàn)報告。氣瓶柜與氣瓶架的安裝：1氣瓶柜和氣瓶架應(yīng)按設(shè)計(jì)要求定位。2氣瓶柜氣瓶架就位找平、找正后，應(yīng)固定牢固。3氣瓶柜和氣瓶架的垂直度偏差不應(yīng)大于1.5%成列盤面的垂直度偏差不應(yīng)大于5mm。4 氣瓶柜的安裝應(yīng)確保柜門開關(guān)自如，不得扭曲變形、關(guān)閉不嚴(yán)。揚(yáng)州室內(nèi)特氣管道安裝供應(yīng)商在管道安裝完成后，進(jìn)行壓力測試，以確保管道的密封性和耐壓性。
焊接時，按要求進(jìn)行內(nèi)充氬保護(hù)，控制氬氣流量大小。焊工施焊時，要求氬弧焊機(jī)焊接時電流穩(wěn)定，焊接速度應(yīng)保持均勻一致。焊接完成后，鋼絲刷刷去焊接區(qū)外表面的氧化膜。管道與配件及設(shè)備連接安裝 對于輸送易燃、劇毒特殊氣體的雙層管道，其與閥門、氣表及設(shè)備連接采用金屬墊片面密封接頭（VCR）安裝，金屬墊片采用柔性鎳合金墊片，確保密封嚴(yán)密。管道安裝 雙層管道焊接碰頭然后接口處，采用增加末端滑套的安裝方式在三層管道接頭處實(shí)現(xiàn)管道密封，從而使外層套管形成一個整體。
焊工每天在焊接前必須先作焊接試樣，經(jīng)檢查合格后方可進(jìn)行焊接施工，每天的施工結(jié)束后還必須做一個末試樣，以確認(rèn)這里的焊接作業(yè)是否存在焊接隱患。每次電源變更的時候，都必須重新作試樣。焊接試樣要附上焊接參數(shù)。每天的焊接試樣要妥善保存。（焊縫質(zhì)量的檢查主要有焊縫的寬笮度、焊縫的內(nèi)外均勻度、焊縫的凹凸度、是否氧化、其他不允許的缺陷）架設(shè)到管架上的管道，在焊接作業(yè)開始后就要采取不間斷充氣的方式，即從施工開始到施工結(jié)束管道內(nèi)都要處于沖氣保護(hù)的狀態(tài)，但在不進(jìn)行焊接作業(yè)時可適當(dāng)調(diào)小管內(nèi)氣壓。但對要求不是很高的施工，為了降低成本，每天的焊接結(jié)束后，把兩端用管帽和潔凈膠帶封死。在這里要特別提出的是對輸送強(qiáng)腐蝕性氣體的耐腐蝕性強(qiáng)的VM管進(jìn)行對接施焊時，其充氣時間必須要達(dá)到4-5分鐘，而且必須不間斷充氣。管口的加工是本施工技術(shù)的關(guān)鍵點(diǎn)之一。
管口加工，管口的加工是本施工技術(shù)的關(guān)鍵點(diǎn)之一，管道切割、預(yù)制均在潔凈環(huán)境進(jìn)行，同時確保管道切割前表面無有害痕跡、破損。管道開封前應(yīng)做好管內(nèi)沖氮的準(zhǔn)備工作。管道在取掉兩層塑料外包裝后，要輕輕的取下兩端的塑料密封套，并立即充氮，防止空氣污染。管道切割時使用不銹鋼專門使用切割器緩慢進(jìn)行切割，操作時保持切面直度(90°±0.5)。管道水平15°橫放固定傾斜擺放姿勢進(jìn)行切割及端面處理，并順介質(zhì)下的流方向沖放高純氮?dú)?，防止切屑進(jìn)入管內(nèi)。切割后采用端面處理器進(jìn)行端面處理，銑去毛刺；處理過程中，確保端面朝下(一直保持端面朝下)，處理后輕輕抖動消除切屑；加工后使切面朝下，從上方敲打5次，然后再次順管內(nèi)介質(zhì)流用高純氮?dú)鉀_吹，切割面位于氮?dú)庀碌牧鞣较颉Ｇ懈詈蠛投嗣嫣幚砗笕绻苌细接星行蓟蚱渌s質(zhì)，用無塵布沾異丙醇擦試干凈，無塵布使用應(yīng)遵循“一次擦”的原則，不能反復(fù)使用。當(dāng)表面粘有油污時，應(yīng)采用清潔劑擦凈。常州多組分特氣管道安裝廠家
特氣管道安裝時，在管子對口前應(yīng)檢查平直度，在距離接口中心200mm處測量。常州多組分特氣管道安裝廠家
在超高純特氣雙層管道的施工中，采用水平15°傾斜擺放姿勢進(jìn)行加工，順管內(nèi)介質(zhì)流向高純氮?dú)獯祾?，不銹鋼彈簧填充雙層管夾層后用專門使用彎管裝置進(jìn)行彎管加工，雙層管道內(nèi)外充純氬保護(hù)的全自動軌道氬弧焊連接和柔性金屬墊片端面密封連接結(jié)合氦氣檢漏的施工技術(shù)，可確保雙層管道內(nèi)外層管道潔凈度、密閉性、彎管質(zhì)量以及管道焊接安裝質(zhì)量。對系統(tǒng)建成后運(yùn)行中的人員安全和產(chǎn)品質(zhì)量起到了很好的基礎(chǔ)保障作用。特氣管道安裝—讓您的家庭更舒適安全：隨著家庭設(shè)備的發(fā)展，我們的生活已經(jīng)越來越便利，特氣管道安裝就是一個不可或缺的重要步驟，它可以使我們的家庭更加溫馨、安全。常州多組分特氣管道安裝廠家