集氣罩:根據(jù)前處理設(shè)備形狀、廢氣散發(fā)特點定制,如槽邊側(cè)向集氣罩等,可高效收集廢氣,常見材質(zhì)有 PP 等耐腐蝕材料 。
通風管道:多選用耐腐蝕的 PP 材質(zhì),用于連接抽風設(shè)備各部件,將廢氣輸送至處理設(shè)備,其設(shè)計需考慮廢氣流量、阻力等因素 。
引風機:常安裝在輸送通道出風口處,為廢氣的抽取和輸送提供動力 ,可根據(jù)實際需求選擇不同規(guī)格和性能的引風機。
此外,一些抽風裝置還可能配備過濾處理箱、活性炭吸附網(wǎng)板等,用于對廢氣進行初步過濾、吸附,減少大顆粒雜質(zhì)等對風機的損害 。 離心干燥設(shè)備適配滾鍍后工件,通過高速旋轉(zhuǎn)甩干水分,避免傳統(tǒng)熱風干燥的能耗與時間損耗。湖北隨州超聲波電鍍設(shè)備
是一種高效、智能化的電鍍生產(chǎn)系統(tǒng),通過龍門機械手實現(xiàn)工件的全流程自動化傳輸與精細加工,廣泛應用于金屬表面處理行業(yè)。
一、設(shè)備結(jié)構(gòu)與組成龍門架與機械手龍門桁架:橫跨電鍍槽上方,搭載伺服驅(qū)動的機械臂,實現(xiàn)三維空間內(nèi)的精確定位(重復精度±0.1mm)。夾具系統(tǒng):根據(jù)工件形狀(如螺絲、連接器、汽車零件)定制夾具,確保抓取穩(wěn)固。電鍍槽組包含 前處理槽(除油、酸洗)、電鍍槽(鍍鋅、鍍鎳等)、后處理槽(鈍化、烘干)等,槽位數(shù)量可按工藝擴展(如8~20槽)。槽內(nèi)配備液位傳感器、溫控裝置及循環(huán)過濾系統(tǒng),保障鍍液穩(wěn)定性??刂葡到y(tǒng)PLC+HMI:控制器預設(shè)工藝參數(shù)(電流、時間、溫度),觸摸屏實時監(jiān)控運行狀態(tài)。智能調(diào)度算法:優(yōu)化機械手路徑,減少空載時間,提升產(chǎn)能(如每小時處理500~2000件) 江西脈沖電鍍設(shè)備滾鍍后的離心甩干設(shè)備內(nèi)置防滑襯墊,高速旋轉(zhuǎn)時固定工件,避免碰撞損傷并加速脫水。
是一種于半導體制造中金屬化工藝的精密設(shè)備,主要用于在半導體晶圓、芯片或微型元件表面沉積均勻的金屬鍍層。其在于通過可控的電化學或化學鍍工藝,實現(xiàn)高精度、高一致性的金屬覆蓋,滿足集成電路封裝、先進封裝及微機電系統(tǒng)等領(lǐng)域的特定需求
與傳統(tǒng)滾鍍不同,半導體滾鍍更注重工藝潔凈度、鍍層精度及與半導體材料的兼容性。
1.金屬互連:在晶圓上形成銅導線。
2.凸塊制備:沉積錫、銅、金等材料,用于芯片與基板的電氣連接。
3.阻擋層/種子層鍍覆:鍍鈦、鉭等材料,防止金屬擴散并增強附著力。
1.電鍍槽:
材質(zhì):耐腐蝕材料,避免污染鍍液
鍍液循環(huán)系統(tǒng):維持鍍液成分均勻,過濾顆粒雜質(zhì)
2.旋轉(zhuǎn)載具:
晶圓固定裝置:真空吸附或機械夾持,確保晶圓平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)
轉(zhuǎn)速控制:通過伺服電機調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速,優(yōu)化鍍層均勻性
3.陽極系統(tǒng):
可溶性/不溶性陽極:銅、鉑等材料,依鍍層需求選擇
陽極位置調(diào)節(jié):控制電場分布,減少邊緣效應
4.供液與噴淋系統(tǒng):
多點噴淋頭:均勻分配鍍液至晶圓表面,避免氣泡滯留
流量控制:精確調(diào)節(jié)鍍液流速,匹配不同工藝需求
5.控制系統(tǒng):
PLC/工控機:集成溫度、pH值、電流密度等參數(shù)監(jiān)測與反饋。
配方管理:存儲不同鍍層的工藝參數(shù)
對比項 傳統(tǒng)滾鍍 半導體滾鍍 對象 小型金屬零件(螺絲、紐扣等) 晶圓、芯片、微型半導體元件 精度 微米級 納米級(≤100nm) 潔凈度 普通工業(yè)環(huán)境 無塵室(Class100~1000) 工藝控制 電流/時間粗調(diào) 實時閉環(huán)控制(電流、流量、溫度) 鍍液類型 酸性/堿性鍍液 高純度鍍液(低雜質(zhì))
大尺寸晶圓兼容:適配12英寸(300mm)晶圓,向18英寸過渡。環(huán)保鍍液:無物、低毒配方,減少廢水處理壓力。智能化集成:AI工藝優(yōu)化:通過機器學習預測鍍層缺陷。與CMP(化學機械拋光)、PVD設(shè)備聯(lián)動,形成全自動金屬化產(chǎn)線
半導體滾鍍設(shè)備是封裝與芯片制造的關(guān)鍵裝備,通過精密旋轉(zhuǎn)與鍍液控制,實現(xiàn)納米級金屬鍍層的均勻沉積。其技術(shù)在于潔凈環(huán)境下的高精度工藝控制 攪拌設(shè)備通過空氣鼓泡或機械槳葉驅(qū)動電解液流動,避免濃度分層,提升鍍層均勻性與沉積效率。
1.鍍槽:是電鍍加工的設(shè)備,用于盛放電鍍液,為電鍍提供反應場所。根據(jù)電鍍工藝和工件的不同,鍍槽的材質(zhì)、形狀和尺寸也各不相同,常見的有聚丙烯、聚四氟乙烯等材質(zhì)制成的鍍槽。
2.整流器:其作用是將交流電轉(zhuǎn)換為直流電,為電鍍過程提供穩(wěn)定的電流。電鍍過程需要精確控制電流的大小和穩(wěn)定性,以確保電鍍層的質(zhì)量和性能。
3.過濾機:用于過濾電鍍液中的雜質(zhì)、顆粒和懸浮物,保持電鍍液的清潔度。過濾機通常采用濾芯式或濾袋式過濾,可根據(jù)電鍍液的性質(zhì)和過濾精度要求選擇不同的過濾材料。
4.加熱和冷卻裝置:加熱裝置通常采用電加熱或蒸汽加熱的方式,而冷卻裝置則多采用冷水機或冷卻塔進行冷卻。
5.攪拌設(shè)備:包括機械攪拌和空氣攪拌等方式。
6.掛具:用于懸掛和固定待電鍍的工件,使工件能夠在電鍍槽中與電鍍液充分接觸,并保證電流均勻地通過工件。7.行車:主要用于在電鍍車間內(nèi)吊運工件、原材料和成品等重物。
8.廢氣處理設(shè)備:電鍍過程中會產(chǎn)生各種有害氣體,如酸霧、堿霧和重金屬廢氣等。廢氣處理設(shè)備通常采用噴淋塔、活性炭吸附裝置、催化燃燒裝置等,對廢氣進行凈化處理,達標后排放。 噴淋式電鍍設(shè)備利用高壓噴頭將電解液均勻噴灑在工件表面,加速離子交換,提高電鍍效率,形狀復雜的工件。廣西便攜式電鍍設(shè)備
設(shè)備維護系統(tǒng)集成故障診斷模塊,通過傳感器數(shù)據(jù)預判過濾機堵塞、加熱管老化等問題,減少停機時間。湖北隨州超聲波電鍍設(shè)備
是一種用于電鍍實驗的專業(yè)裝置,它融合了滾鍍和掛鍍兩種電鍍方式于一體。
該設(shè)備通常由鍍槽、滾桶、掛具、電源系統(tǒng)、攪拌裝置、溫控系統(tǒng)等部分組成。在進行電鍍實驗時,既可以將小型零件放入滾桶中進行滾鍍,使零件在滾動過程中均勻地鍍上金屬層;也可以通過掛具將較大或形狀特殊的零件懸掛在鍍槽中進行掛鍍,以滿足不同類型零件的電鍍需求。這種設(shè)備具有功能多樣、操作靈活、占地面積小等優(yōu)點,能夠為電鍍工藝的研究和開發(fā)提供便利,幫助科研人員和技術(shù)人員更好地掌握電鍍技術(shù),優(yōu)化電鍍參數(shù),提高電鍍質(zhì)量。 湖北隨州超聲波電鍍設(shè)備