江蘇好用的減薄用清洗劑費用是多少

來源: 發(fā)布時間:2024-03-14

    圖1為本發(fā)明實施例提供的一種拋光減薄裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本發(fā)明實施例提供的一種托盤和待加工部件的鍵合固定方式示意圖;圖3為本發(fā)明實施例提供的一種磁轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)示意圖;圖4為本發(fā)明實施例提供一種磁轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方式的示意圖;圖5為本發(fā)明實施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實施方式以上是本發(fā)明的思想,為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂,下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖,對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒景l(fā)明中的實施例,本領域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發(fā)明保護的范圍。本發(fā)明實施例提供了一種拋光減薄裝置,用于對inp基晶圓等部件進行拋光減薄,如圖1所示,包括托盤10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12,當然,本發(fā)明實施例中的拋光減薄裝置還包括反應室13等,托盤10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12等在反應室13內(nèi)進行拋光和減薄反應。其中,托盤10,可選為石英托盤,用于固定待加工部件20,待加工部件20包括inp基晶圓。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,以對待加工表面進行拋光。專業(yè)減薄用清洗劑,讓您的生產(chǎn)更高效,成本更低。江蘇好用的減薄用清洗劑費用是多少

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    產(chǎn)生不良次品;同時由于所述側(cè)支撐件44的移動,可帶動玻璃在所述玻璃加工治具4上的擺動,從而實現(xiàn)玻璃與噴淋液的充分均勻接觸。較佳的,所述底座41和實施支撐架42上均設置有若干流通孔,所述流通孔便于所述玻璃加工治具4上的所述噴淋液流至所述收集槽內(nèi)。實施例四所述支撐架42包括對應設置的架體和第二架體,所述架體和所述第二架體均固定設置在所述底座41上,所述架體包括平行對應設置的兩豎直平板421,所述第二架體為與所述豎直平板421連接的對應兩側(cè)板422,所述架體和所述第二架體形成盛放部,玻璃設置在所述盛放部內(nèi);所述側(cè)板422和所述豎直平板421可均固定設置于所述底座41上,也可相互固定連接形成穩(wěn)定的矩形框架。所述架體和所述第二架體均設置有若干所述側(cè)支撐件44,且所述側(cè)支撐件44對應所述底支撐件43設置。較佳的,所述架體上固定設置有若干固定孔,所述側(cè)支撐件44可根據(jù)玻璃的具體尺寸在相應所述固定孔上固定設置;所述第二架體上設置有調(diào)節(jié)槽,對應所述調(diào)節(jié)槽還設置有固定板423,所述固定板423的兩端分別設置在對應兩所述側(cè)板422的所述調(diào)節(jié)槽上,并可在所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)調(diào)節(jié)移動,從而可使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃放置。一般的。哪家減薄用清洗劑價格哪家減薄用清洗劑的質(zhì)量比較好。

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    本發(fā)明涉及半導體制造技術(shù)領域,更具體地說,涉及一種拋光減薄裝置和拋光減薄方法。背景技術(shù):采用iii-v族化合物制作的半導體器件和超高速數(shù)字/數(shù)模混合電路等憑借其優(yōu)良的頻率特性,已經(jīng)成為通訊、雷達、制導、空間防御、高速智能化武器及電子對抗等現(xiàn)代化裝備的部件之一。在眾多的iii-v族化合物中,inp(磷化銦)化合物具有獨特的優(yōu)勢,這主要得益于其優(yōu)良的材料特性,例如,inp和ingaas(銦鎵砷)之間的晶格失配很小,以及電子飽和速率很高等,所以不論是hemt(highelectronmobilitytransistor,高電子遷移率晶體管)結(jié)構(gòu)還是hbt(heterojunctionbipolartransistor,異質(zhì)結(jié)雙極晶體管)結(jié)構(gòu),都具有非常優(yōu)異的高頻、大功率性能。但是,inp材料的物理性能卻很差,非常易碎,很小的碰撞或振動都會導致晶圓碎裂而前功盡棄,因此,inp材料的制造加工面臨著很多工藝上的難題。尤其是在超高頻率、大功率的inp基rfic(射頻集成電路)的制造工藝中,如何在對inp基晶圓進行減薄拋光時,減小或避免inp基晶圓的損傷是本領域技術(shù)人員亟待解決的問題之一。技術(shù)實現(xiàn)要素:有鑒于此,本發(fā)明提供了一種拋光減薄裝置和拋光減薄方法,以減小或避免inp基晶圓的減薄拋光損傷。為實現(xiàn)上述目的。

    20052005年,海日工業(yè)清洗劑產(chǎn)品通過了瑞士通用公證SGS測試和認證...20042004年,經(jīng)機構(gòu)檢測,海日工業(yè)清洗劑產(chǎn)品通過了ISO9001質(zhì)量管理體系認證。20032003年4月,海日環(huán)保工業(yè)清洗劑通過了國際環(huán)境管理體系ISO14001:1996認證。20122012年,廣州海日工業(yè)清洗劑獲得廣東省企業(yè)稱號20092009年,廣州海日清洗技術(shù)獲得中國工業(yè)清洗劑協(xié)會(ICAC)資質(zhì)榮譽證書...20082008年,廣州海日清洗技術(shù)有限公司正式加入工業(yè)清洗協(xié)會(ICAC)加快全國工業(yè)清洗標準化進程20062006年,廣州海日清洗技術(shù)有限公司依靠自主創(chuàng)新環(huán)保高效清洗劑榮獲廣東省稱號...20012001年6月,在引進國外先進技術(shù)后,廣州市海日清洗技術(shù)有限公司注冊正式成立!20122012年12月,獲得的全國工業(yè)清洗劑產(chǎn)品生產(chǎn)許可證,有效期到2015年12月29日!去除多余涂層,減薄用清洗劑是您不可或缺的好幫手。

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    所述控制器控制所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3內(nèi)作往復移動,所述主厚度測量儀32測量玻璃厚度并且將關(guān)于測得厚度的信息實時發(fā)送到所述控制器;當測得玻璃厚度達到預設目標厚度時,所述控制器停止在所述蝕刻區(qū)3中噴射噴淋液的減薄處理,并且控制所述玻璃加工治具4向所述沖洗區(qū)2移動。一般的,在所述腔室31內(nèi),減薄處理的具體工藝參數(shù)為:所述玻璃加工治具4的往復運動中單程單向時間設置為~4s,來回往復一次時間設置為3s~8s,往復移動幅度設置約為180mm左右;所述噴淋系統(tǒng)控制的噴淋液流量設置為1500lpm~2400lpm,在所述腔室31內(nèi)的酸蝕溫度一般設置為20℃~40℃;在上述參數(shù)下,玻璃的酸蝕速率一般在μm/min~μm/min,可有效實現(xiàn)對玻璃的整體減薄處理。s2,完成減薄處理的所述玻璃加工治具4在所述沖洗區(qū)2內(nèi)經(jīng)減薄后初清洗后待機,所述控制器進行次減薄厚度確認操作;具體的,通過設置于所述沖洗區(qū)2內(nèi)的所述輔助厚度測量儀,進行檢測厚度比較,從而實現(xiàn)所述減薄厚度確認操作,當所述減薄厚度未達到目標厚度時,所述控制器可控制所述玻璃加工治具4再次回撤至所述腔室31內(nèi)進行再次減薄處理。s3,所述玻璃加工治具4移動至所述第三沖洗區(qū)2進行減薄后終清洗。江蘇好用的減薄用清洗劑費用是多少