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來源: 發(fā)布時間:2024-03-28

    可有效穩(wěn)定所述固定板423的豎直放置位置。同時,值得指出的時,所述豎直平板421上所述側(cè)支撐件44的固定方式也可采用板加槽的方式,具體的,所述豎直平板421上設(shè)置有若干豎槽,所述豎槽單側(cè)豎直有若干定槽,對應(yīng)所述定槽設(shè)置有帶有固定塊的安裝板,所述安裝板對應(yīng)所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有至少2個所述固定塊,所述安裝板遠(yuǎn)離所述豎槽的側(cè)邊設(shè)置有所述側(cè)支撐件44,通過將所述固定塊分別設(shè)置于所述定槽內(nèi),從而實(shí)現(xiàn)所述側(cè)支撐件44在所述豎直平板421上的固定。通過所述豎直平板421和所述側(cè)板422上的所述側(cè)支撐件44的設(shè)置,從而實(shí)現(xiàn)對所述玻璃加工治具4上玻璃的側(cè)邊位置固定,同時,通過所述側(cè)板422上所述調(diào)節(jié)槽的設(shè)置,可實(shí)現(xiàn)所述側(cè)板422上所述側(cè)支撐件44的位置調(diào)節(jié),從而使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃,并可根據(jù)具體玻璃尺寸同時放置不同尺寸的玻璃進(jìn)行減薄處理。實(shí)施例五一般的,對于實(shí)施例四中的所述玻璃加工治具4結(jié)構(gòu),可通過調(diào)節(jié)所述底支撐件43位置使所述底支撐件43適用于不同尺寸的玻璃。如圖7、圖8所示,圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖;圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖;所述底支撐件43包括支撐條431、第二支撐條432、連接部433和接觸部434。蘇州好的減薄用清洗劑的公司。嘉興性價(jià)比高的減薄用清洗劑溶劑

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    若干所述側(cè)支撐件44固定設(shè)置在所述固定板423的端面上;所述固定板423兩端均設(shè)置有至少兩個固定卡塊427,所述固定卡塊427一般設(shè)置為矩形橫截面結(jié)構(gòu),便于所述固定板423端面的朝向定位;對應(yīng)的,所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)設(shè)置有固定槽426,當(dāng)所述固定板423兩端各自的兩所述固定卡塊427分別設(shè)置于對應(yīng)的所述固定槽426內(nèi)時,設(shè)置有所述側(cè)支撐件44的端面對應(yīng)所述豎直平板421上的所述側(cè)支撐件44,且設(shè)置所述側(cè)支撐件44的所述豎直平板421和所述固定板423設(shè)置在所述底支撐件43的兩側(cè),從而實(shí)現(xiàn)對所述盛放部內(nèi)玻璃的支撐限位。其中,如圖3所示,所述側(cè)板422上所述調(diào)節(jié)槽的一種實(shí)施方式為,所述調(diào)節(jié)槽包括若干水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的豎直槽425,所述固定槽426設(shè)置于所述水平槽424的下邊緣,所述固定槽426對應(yīng)所述固定卡塊427設(shè)置為u型槽,從而便于固定所述固定卡塊427的擺放位置。所述水平槽424和所述豎直槽425的尺寸均對應(yīng)所述固定卡塊427的尺寸設(shè)置,使所述固定卡塊427可在所述水平槽424和所述豎直槽425內(nèi)自由移動。在本實(shí)施方式中,兩所述豎直平板421中一所述豎直平板421上設(shè)置有所述側(cè)支撐件44,同一所述水平槽424多只設(shè)置一個所述固定卡塊427。廣州減薄用清洗劑訂做價(jià)格選擇高效減薄用清洗劑,為您的生產(chǎn)線注入新活力。

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    磁轉(zhuǎn)子12放置在待加工部件20的待加工表面上,用于通過旋轉(zhuǎn)對待加工部件20的待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨,對待加工表面進(jìn)行減薄。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn),因此,可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力,降低待加工部件20如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷??蛇x地,本發(fā)明實(shí)施例中通過光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤10。當(dāng)然,本發(fā)明并不限于此,在其他實(shí)施例中,待加工部件20和托盤10還可以采用其他膠體進(jìn)行鍵合固定。基于此,如圖2所示,本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14,該熱板14設(shè)置在托盤10底部,用于對托盤10進(jìn)行加熱,以使待加工部件20與托盤10鍵合固定。具體地,將待加工部件20背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠21,如az4620光刻膠,然后在托盤10表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠21,如az4620光刻膠,之后,將托盤10光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板14上,將待加工部件20光刻膠面和托盤10光刻膠面貼合,在2×10-2mabr真空下,施加1bar壓強(qiáng)于待加工部件20上進(jìn)行鍵合,鍵合時間20min。本發(fā)明實(shí)施例中,采用噴頭11向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,來對待加工部件20的待加工表面進(jìn)行拋光。需要說明的是。

    所述控制器控制所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3內(nèi)作往復(fù)移動,所述主厚度測量儀32測量玻璃厚度并且將關(guān)于測得厚度的信息實(shí)時發(fā)送到所述控制器;當(dāng)測得玻璃厚度達(dá)到預(yù)設(shè)目標(biāo)厚度時,所述控制器停止在所述蝕刻區(qū)3中噴射噴淋液的減薄處理,并且控制所述玻璃加工治具4向所述沖洗區(qū)2移動。一般的,在所述腔室31內(nèi),減薄處理的具體工藝參數(shù)為:所述玻璃加工治具4的往復(fù)運(yùn)動中單程單向時間設(shè)置為~4s,來回往復(fù)一次時間設(shè)置為3s~8s,往復(fù)移動幅度設(shè)置約為180mm左右;所述噴淋系統(tǒng)控制的噴淋液流量設(shè)置為1500lpm~2400lpm,在所述腔室31內(nèi)的酸蝕溫度一般設(shè)置為20℃~40℃;在上述參數(shù)下,玻璃的酸蝕速率一般在μm/min~μm/min,可有效實(shí)現(xiàn)對玻璃的整體減薄處理。s2,完成減薄處理的所述玻璃加工治具4在所述沖洗區(qū)2內(nèi)經(jīng)減薄后初清洗后待機(jī),所述控制器進(jìn)行次減薄厚度確認(rèn)操作;具體的,通過設(shè)置于所述沖洗區(qū)2內(nèi)的所述輔助厚度測量儀,進(jìn)行檢測厚度比較,從而實(shí)現(xiàn)所述減薄厚度確認(rèn)操作,當(dāng)所述減薄厚度未達(dá)到目標(biāo)厚度時,所述控制器可控制所述玻璃加工治具4再次回撤至所述腔室31內(nèi)進(jìn)行再次減薄處理。s3,所述玻璃加工治具4移動至所述第三沖洗區(qū)2進(jìn)行減薄后終清洗。蘇州哪家公司的減薄用清洗劑的口碑比較好?

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    用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于激光束的預(yù)定部分并因此瞬時去除噴淋液,從而可得到更準(zhǔn)確地玻璃厚度測量數(shù)據(jù)。一般的,所述目標(biāo)厚度為減薄處理后所需求玻璃的理論厚度值,所述理論厚度值為具有公差的范圍值。所述玻璃減薄生產(chǎn)線還包括輔助厚度測量儀,所述輔助厚度測量儀設(shè)置在所述沖洗區(qū)2中并用于再次測量經(jīng)減薄處理后的玻璃厚度,所述輔助厚度測量儀將測得玻璃厚度發(fā)送到所述控制器。所述輔助厚度測量儀的設(shè)置可降低所述主厚度測量儀32失靈或因所述蝕刻區(qū)3中的阻礙因素不能正確測量玻璃厚度時異常操作而造成的玻璃減薄缺陷,所述阻礙因素可以為噴淋液的噴淋阻礙或所述玻璃加工治具4的振動。所述控制器基于所述輔助厚度測量儀測得的玻璃厚度確定在所述蝕刻區(qū)3中是否正常執(zhí)行減薄處理或者所述主厚度測量儀32是否正確工作。一般的,從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃的厚度超出目標(biāo)厚度的公差范圍,則所述控制器確定所述主厚度測量儀32無法正確工作或者在所述蝕刻區(qū)3中沒有正常執(zhí)行減薄處理。在這種情況下,所述控制器發(fā)出警報(bào)來通知管理者,所述主厚度測量儀32失靈或者所述蝕刻區(qū)3中的減薄處理異常。所述主厚度測量儀32失靈或所述者蝕刻區(qū)3中的減薄處理異??赡苁菚簳r的。嘉興性價(jià)比高的減薄用清洗劑溶劑