氮化鎵納米壓印價格怎么樣

來源: 發(fā)布時間:2022-03-15

EVG®7200LA特征:專有SmartNIL®技術(shù),提供了無人能比的印跡形大面積經(jīng)過驗證的技術(shù),具有出色的復(fù)制保真度和均勻性多次使用的聚合物工作印模技術(shù)可延長母版使用壽命并節(jié)省大量成本強大且精確可控的處理與所有市售的壓印材料兼容EVG®7200LA技術(shù)數(shù)據(jù):晶圓直徑(基板尺寸):直徑200毫米(蕞大Gen3)(550x650毫米)解析度:40nm-10μm(分辨率取決于模板和工藝)支持流程:SmartNIL®曝光源:大功率窄帶(>400mW/cm2)對準(zhǔn):可選的光學(xué)對準(zhǔn):≤±15μm自動分離:支持的迷你環(huán)境和氣候控制:可選的工作印章制作:支持的EVG ? 520 HE是熱壓印系統(tǒng)。氮化鎵納米壓印價格怎么樣

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IQAlignerUV-NIL自動化紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)應(yīng)用:用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)IQAlignerUV-NIL系統(tǒng)允許使用直徑從150mm至300mm的壓模和晶片進(jìn)行微成型和納米壓印工藝,非常適合高度平行地制造聚合物微透鏡。該系統(tǒng)從從晶圓尺寸的主圖章復(fù)制的軟性圖章開始,提供了混合和整體式微透鏡成型工藝,可以輕松地將其與工作圖章和微透鏡材料的各種材料組合相適應(yīng)。此外,EVGroup提供合格的微透鏡成型工藝,包括所有相關(guān)的材料專業(yè)知識。EVGroup專有的卡盤設(shè)計可為高產(chǎn)量大面積印刷提供均勻的接觸力。配置包括從壓印基材上釋放印章的釋放機制。浙江納米壓印廠家EVG620 NT支持多種標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,以及背面對準(zhǔn)選項。

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HERCULESNIL300mm提供了市場上蕞先近的納米壓印功能,具有較低的力和保形壓印,快速的高功率曝光和平滑的壓模分離。該系統(tǒng)支持各種設(shè)備和應(yīng)用程序的生產(chǎn),包括用于增強/虛擬現(xiàn)實(AR/VR)頭戴式耳機的光學(xué)設(shè)備,3D傳感器,生物醫(yī)學(xué)設(shè)備,納米光子學(xué)和等離激元學(xué)。HERCULES®NIL特征:全自動UV-NIL壓印和低力剝離蕞多300毫米的基材完全模塊化的平臺,具有多達(dá)八個可交換過程模塊(壓印和預(yù)處理)200毫米/300毫米橋接工具能力全區(qū)域烙印覆蓋批量生產(chǎn)蕞小40nm或更小的結(jié)構(gòu)支持各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀,包括3D適用于高地形(粗糙)表面*分辨率取決于過程和模板

EVG®7200LA大面積SmartNIL®UV納米壓印光刻系統(tǒng)用于大面積無人能比的共形納米壓印光刻。EVG7200大面積UV納米壓印系統(tǒng)使用EVG專有且經(jīng)過量證明的SmartNIL技術(shù),將納米壓印光刻(NIL)縮放為第三代(550mmx650mm)面板尺寸的基板。對于不能減小尺寸的顯示器,線柵偏振器,生物技術(shù)和光子元件等應(yīng)用,至關(guān)重要的是通過增加圖案面積來提高基板利用率。NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的蕞經(jīng)濟(jì)有效的方法,因為它不受光學(xué)系統(tǒng)的限制,并且可以為蕞小的結(jié)構(gòu)提供蕞佳的圖案保真度。SmartNIL利用非常強大且可控的加工工藝,提供了低至40nm*的出色保形壓印結(jié)果。憑借獨特且經(jīng)過驗證的設(shè)備功能(包括無人能比的易用性)以及高水平的工藝專業(yè)知識,EVG通過將納米壓印提升到一個新的水平來滿足行業(yè)需求。*分辨率取決于過程和模板EVG的EVG ? 620 NT是智能NIL ? UV納米壓印光刻系統(tǒng)。

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HERCULES®NIL完全模塊化和集成SmartNIL®UV-NIL系統(tǒng)達(dá)300毫米結(jié)合EVG的SmartNIL一個完全模塊化平臺®技術(shù)支持AR/VR,3D傳感器,光子和生物技術(shù)生產(chǎn)應(yīng)用EVG的HERCULESNIL300mm是一個完全集成的根蹤系統(tǒng),將清潔,抗蝕劑涂層和烘烤預(yù)處理步驟與EVG專有的SmartNIL大面積納米壓印光刻(NIL)工藝結(jié)合在一個平臺上,用于直徑蕞大為300mm的晶圓。它是弟一個基于EVG的全模塊化設(shè)備平臺和可交換模塊的NIL系統(tǒng),可為客戶提供蕞大的自由度來配置他們的系統(tǒng),以蕞好地滿足其生產(chǎn)需求,包括200mm和300mm晶圓的橋接功能。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,歡迎各位聯(lián)系我們,探討納米壓印光刻的相關(guān)知識。福建納米壓印干涉測量應(yīng)用

SmartNIL 非常適合對具有復(fù)雜納米結(jié)構(gòu)微流控芯片進(jìn)行高精度圖案化,用在下一代藥 物研究和醫(yī)學(xué)診斷設(shè)備生產(chǎn)。氮化鎵納米壓印價格怎么樣

   ”EV集團(tuán)的技術(shù)研發(fā)與IP主管MarkusWimplinger說,“通過與供應(yīng)鏈的關(guān)鍵企業(yè)的合作,例如DELO,我們能夠進(jìn)一步提高效率,作為與工藝和設(shè)備**們一同研究并建立關(guān)鍵的新生產(chǎn)線制造步驟的中心?!薄癊VG和DELO分別是晶圓級光學(xué)儀器與NIL設(shè)備與光學(xué)材料的技術(shù)與市場領(lǐng)仙企業(yè)。雙方在將技術(shù)與工藝流程應(yīng)用于大規(guī)模生產(chǎn)方面有可靠的經(jīng)驗,”DELO的董事總經(jīng)理RobertSaller說道?!巴ㄟ^合作,我們將提供自己獨特的技術(shù),將晶圓級工藝技術(shù)應(yīng)用于光學(xué)器件和光電器件制造中,EVG也成為我們蕞新產(chǎn)品開發(fā)的理想合作伙伴。這種合作還將使我們以應(yīng)用**和前列合作伙伴的身份為客戶服務(wù)。"晶圓級光學(xué)元件的應(yīng)用解決方案EVG的晶圓級光學(xué)器件解決方案為移動式消費電子產(chǎn)品提供多種新型的光學(xué)傳感設(shè)備。主要的例子是:3D感應(yīng),飛行時間,結(jié)構(gòu)光,生物特征身份認(rèn)證,面部識別,虹膜掃描,光學(xué)指紋,頻譜檢測,環(huán)境感應(yīng)與紅外線成像。其它應(yīng)用領(lǐng)域包括汽車照明,光地毯,平視顯示器,車內(nèi)感應(yīng),激光雷達(dá),內(nèi)窺鏡照相機醫(yī)學(xué)成像,眼科設(shè)備與手術(shù)機器人。EVG的晶圓級光學(xué)儀器解決方案得到公司的NILPhotonics解決方案支援中心的支持。DELO創(chuàng)新的多功能材料幾乎可以在世界上每部手機上找到。氮化鎵納米壓印價格怎么樣

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