NanoX-80003D輪廓測量主要技術(shù)參數(shù)3D測量主要技術(shù)指標(1):測量模式:PSI+VSI+CSIZ軸測量范圍:大行程PZT掃描(300um標配/500um選配)10mm精密電機拓展掃描CCD相機:1920x1200高速相機(標配)干涉物鏡:2.5X,5X,10X(標配),20X,50X,100X(NIKON)物鏡切換:5孔電動鼻切換FOV:1100x700um(10X物鏡),220x140um(50X物鏡)Z軸聚焦:高精密直線平臺自動聚焦照明系統(tǒng):高效長壽白光LED+濾色鏡片電動切換(綠色/藍色)傾斜調(diào)節(jié):±5°電動調(diào)節(jié)橫向分辨率:≥0.35μm(與所配物鏡有關(guān))3D測量主要技術(shù)指標(2):垂直掃描速度:PSI:<10s,VSI/CSI:<38um/s高度測量范圍:0.1nm–10mm表面反射率:>0.5%測量精度:PSI:垂直分辨率<0.1nm準確度<1nmRMS重復性<0.01nm(1σ)臺階高重復性:0.15nm(1σ)VSI/CSI:垂直分辨率<0.5nm準確度<1%重復性<0.1%(1σ,10um臺階高)粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量。光學輪廓儀出廠價
輪廓儀的培訓一、培訓承諾系統(tǒng)建成后,我公司將為業(yè)主提供為期1天的免廢培訓和技術(shù)資詢;培訓地點可以在我公司,亦或在工程現(xiàn)場;系統(tǒng)操作及管理人員的培訓人數(shù)為10人,由業(yè)主指定,我公司將確保相關(guān)人員正確使用該系統(tǒng);1.1.培訓對象系統(tǒng)操作及管理人員(培訓對象須具有專業(yè)技術(shù)的技術(shù)人員或?qū)嶋H值班操作人員);其他業(yè)主指定的相關(guān)人員。1.2.培訓內(nèi)容系統(tǒng)操作使用說明書。培訓課程的主要內(nèi)容是系統(tǒng)的操作、系統(tǒng)的相關(guān)參數(shù)設定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡單升級等,具體內(nèi)容如下:*系統(tǒng)文檔解讀;*系統(tǒng)的技術(shù)特點、安裝維護和系統(tǒng)管理方式;*系統(tǒng)一般故障排除。白光干涉輪廓儀學校會用嗎自動聚焦范圍 : ± 0.3mm。
輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求?答:輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm(可擴展),Z向測量范圍蕞大可達10mm,但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較小(以10X鏡頭為例,在1mm左右),因而在測量大尺寸的樣品時,全檢的方式需要進行拼接測量,檢測效率會比較低,建議尋找樣品表面的特征位置或抽取若干區(qū)域進行抽點檢測,以單點或多點反映整個面的粗糙度參數(shù);4.測量的蕞小尺寸是否可以達到12mm,或者能夠測到更小的尺寸?如果需要了解更多,請訪問官網(wǎng)。
輪廓儀的和新團隊夏勇博士,江蘇省雙創(chuàng)人才15年ADE,KAL-Tencor半導體檢測設備公司研發(fā)、項目管理經(jīng)驗SuperSightInc.CEO/共同創(chuàng)始人,太陽能在線檢測設備唐壽鴻博士,國家千人****25年ADE,KAL-Tencor半導體檢測設備公司研發(fā)經(jīng)驗KLA-Tencor資申研發(fā)總監(jiān),世界即圖像處理、算法**許衡博士,軟件系統(tǒng)研發(fā)10年硅谷世界500強研發(fā)經(jīng)驗(BDMedicalInstrument)光學測量、軟件系統(tǒng)岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術(shù)支持,為您排憂解難。菜單式系統(tǒng)設置,一鍵式操作,自動數(shù)據(jù)存儲。
NanoX-系列產(chǎn)品PCB測量應用測試案例測量種類?基板ASoldMask3D形貌、尺寸?基板ASoldMask粗糙度?基板A綠油區(qū)域3D形貌?基板A綠油區(qū)域Pad粗糙度?基板A綠油區(qū)域粗糙度?基板A綠油區(qū)域pad寬度?基板ATrace3D形貌和尺寸?基板B背面PadNanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設置,一鍵式操作,自動數(shù)據(jù)存儲?一鍵式系統(tǒng)校準?支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導入SPC?具備異常報警,急停等功能,報警信息可儲存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(移動+聚焦+測量)(掃描范圍50um)?具備Globalalignment&Unitalignment?自動聚焦范圍:±0.3mm?XY運動速度蕞快表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)。NanoX-8000輪廓儀免稅價格
NanoX-2000/3000 系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光。光學輪廓儀出廠價
輪廓儀的主要客戶群體300mm集成電路技術(shù)封裝生產(chǎn)線檢測集成電路工藝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化國家重點實驗室高效太陽能電池技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化新型顯示技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化超高精密表面工程技術(shù)輪廓儀是一種兩坐標測量儀器,儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,在X和Z方向分別采樣,并轉(zhuǎn)換成電信號,該電信號經(jīng)放大和處理,再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中,計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波,分離掉表而粗糙度成分后再進行計算,測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標,或放大的實際輪廓曲線,測量結(jié)果通過顯示器輸出,也可由打印機輸出。(來自網(wǎng)絡)光學輪廓儀出廠價