超納輪廓儀的主設(shè)計簡介:中組部第十一批“****”****,美國KLA-Tencor(集成電路行業(yè)檢測設(shè)備市場的籠頭企業(yè))資申研發(fā)總監(jiān),干涉測量技術(shù)**美國上市公司ADE-Phaseift的總研發(fā)工程師,創(chuàng)造多項干涉測量數(shù)字化所需的關(guān)鍵算法,在光測領(lǐng)域發(fā)表23個美國專利和35篇學術(shù)論文3個研發(fā)的產(chǎn)品獲得大獎,國家教育部弟一批公派研究生,83年留學美國。光學輪廓儀可廣泛應(yīng)用于各類精密工件表面質(zhì)量要求極高的如:半導體、微機電、納米材料、生物醫(yī)療、精密涂層、科研院所、航空航天等領(lǐng)域。可以說只要是微型范圍內(nèi)重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量,除了三維光學輪廓儀,沒有其它的儀器設(shè)備可以達到其精度要求。(網(wǎng)絡(luò))。輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用。粗糙度輪廓儀有哪些品牌
輪廓儀、粗糙度儀、三坐標的區(qū)別關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀,比如:汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圓柱表面素線的直線度等參數(shù)。總之,輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,通俗地講,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老國標叫光潔度),即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。關(guān)于三坐標測量輪廓度及粗糙度三坐標測量機是不能測量粗糙度的,至于測量零件的表面輪廓,要視三坐標的測量精度及零件表面輪廓度的要求了,如果你的三坐標測量機精度比較高,但零件輪廓度要求不可,是可以用三坐標來代替的。一般三坐標精度都在2-3um左右,而輪廓儀都在2um以內(nèi),還有就是三坐標可以測量大尺寸零件的輪廓,因為它有龍門式三坐標和關(guān)節(jié)臂三坐標,而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的,加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度。Nano X-2000輪廓儀特點輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。
輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數(shù)值的儀器,采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器,作為精密測量儀器,在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣范。(來自網(wǎng)絡(luò))先進的輪廓儀集成模塊60年世界水平半導體檢測技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗所有的關(guān)鍵硬件采用美國、德國、日本等PI,納米移動平臺及控制Nikon,干涉物鏡NI,信號控制板和Labview64控制軟件TMC隔震平臺世界先進水平的計算機軟硬件技術(shù)平臺VS2012/64位,.NET/C#/WPFIntelXeon計算機
表面三維微觀形貌測量的意義在生產(chǎn)中,表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評家具有蕞直接的影響,而且表面三維評定參數(shù)由于能更權(quán)面,更真實的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視,因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較權(quán)面的評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣,進而確認加工方法的好壞以及設(shè)計要求的合理性,這樣就可以反過來通過知道加工,優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面,確保零件使用功能的實現(xiàn)。表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,通??煞譃榻佑|時和非接觸時兩種,其中以非接觸式測量方法為主。輪廓儀可用于:散熱材料表面粗糙度分析(粗糙度控制),生物、醫(yī)藥新技術(shù),微流控器件。
涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析:表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數(shù),無論加工的物件使用哪一種評定標準,都可以提供權(quán)面的檢測結(jié)果作為評定依據(jù),可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數(shù)。四、穩(wěn)定性強,高重復性:儀器運用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計,不受外部環(huán)境影響測量的準確性。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結(jié)合,保證高重復性,將測量誤差降低到亞納米級別。三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測設(shè)備,它既保障了生產(chǎn)加工的準確性,又提高了成品的出產(chǎn)效率,滿足用戶對各項2D,3D參數(shù)檢測需求的同時,依然能夠保持高重復性,高穩(wěn)定性的運行,其對精密加工所產(chǎn)生的的作用是舉足輕重的。產(chǎn)能 : 45s/點 (移動 + 聚焦 + 測量)(掃描范圍 50um)。美國輪廓儀高性價比選擇
白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。粗糙度輪廓儀有哪些品牌
輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。因此物鏡是輪廓儀*重要部件,物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標配的10×,還有×,5×,20×,50×,100×,可選。不同的鏡頭價格有很大的差別,因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦。 粗糙度輪廓儀有哪些品牌
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司是以提供半導體工藝設(shè)備,半導體測量設(shè)備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀內(nèi)的多項綜合服務(wù),為消費者多方位提供半導體工藝設(shè)備,半導體測量設(shè)備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀,公司位于金高路2216弄35號6幢306-308室,成立于2002-02-07,迄今已經(jīng)成長為儀器儀表行業(yè)內(nèi)同類型企業(yè)的佼佼者。岱美中國以半導體工藝設(shè)備,半導體測量設(shè)備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀為主業(yè),服務(wù)于儀器儀表等領(lǐng)域,為全國客戶提供先進半導體工藝設(shè)備,半導體測量設(shè)備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀。將憑借高精尖的系列產(chǎn)品與解決方案,加速推進全國儀器儀表產(chǎn)品競爭力的發(fā)展。