隔振臺(tái)TS-140+40的技術(shù)指標(biāo):頻率負(fù)載范圍尺寸:0,7-1000Hz50-180公斤500x600x84毫米隔離:動(dòng)態(tài)(超過1kHz)傳遞率:參見附件曲線10Hz以上的透射率<(-40dB)矯正力:垂直+/-8N水平+/-4N靜態(tài)合規(guī)性:垂直約12μm/N水平30-40μm/N最大負(fù)載:50-180公斤尺寸:500x600x84毫米重量:在公制(M6x25mm)或非公制網(wǎng)格上鉆孔的頂板可將各種設(shè)備安裝在隔離的桌面上。如果您有任何需要了解的,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。記得訪問官網(wǎng)。LFS-3傳感器在三個(gè)軸上測(cè)量水平和垂直加速度,頻率約為0.2Hz。半導(dǎo)體設(shè)備隔振臺(tái)供應(yīng)商家
AVI-400系列(負(fù)載:蕞多800kg)型號(hào):AVI-400SLP,AVI-400MLP,AVI-400XLP系統(tǒng)形狀:控制器與防振單元分離型主動(dòng)控制范圍:被動(dòng)隔振范圍200Hz以上確認(rèn)防振狀態(tài):使用控制器背面的BNC連接器,外部連接,前面的8個(gè)LED指示防振狀態(tài)尺寸:190×396×190×720×220×856×控制器尺寸:241×287×142毫米承重*800kg單位重量:約13kg;約19公斤,聯(lián)絡(luò)我們電源電壓:95-240VAC,50-60赫茲耗電量:通常為18W工作溫度范圍:5℃?40℃工作濕度范圍10?90%(5?30℃)?10?60%(30?40℃)可選零件(1)裝載板,石板,鑄鐵板*另行咨詢選裝(2)高剛性支架或高阻尼高剛性支架*單獨(dú)咨詢。晶圓隔振臺(tái)自動(dòng)化測(cè)量TS-C系列具有通用輸入,可以連接到100至240 VAC 的任何交流電源。
5、模塊將放置在腳輪板下。將AVI模塊滑到后傾角板下,使模塊從一側(cè)到另一側(cè)(而不是從前到后)橫跨立柱底面。將它們盡量放在外側(cè),不要碰到腿的側(cè)壁。如果您安裝的是EVO、Supra25–55、Ultra55或Neon40,則每個(gè)隔離模塊的寬度為7.5英寸。在這種情況下,每個(gè)模塊上的電纜端口應(yīng)朝內(nèi),相互朝向。如果您安裝的是Supra60/VP、Ultra60或PLUS、Neon60或NVision40,則每個(gè)隔離模塊的寬度為11.3英寸。在這種情況下,每個(gè)模塊上的電纜端口應(yīng)朝外,彼此遠(yuǎn)離。6、再次在AVI模塊頂部滑動(dòng)第二個(gè)安裝板,前后各27.5英寸,兩側(cè)各27英寸,在掃描電鏡腳輪板下方居中。重新連接時(shí),確保AVI模塊和安裝板都不會(huì)與掃描電鏡側(cè)板接觸。確保AVI模塊和安裝板都不與前端或后端的掃描電鏡支架接觸。7、系統(tǒng)就位后,使用掃描電鏡水平尺降低掃描電鏡,直到其落在安裝板上。抬起水平尺,直到它們向上并離開。
LFS-2傳感器測(cè)量?jī)蓚€(gè)軸的水平加速度,直至頻率為約0.2Hz傳感器直接放置在地板上,并用于前饋回路中與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用,可在非常低的情況下提高隔振效果頻率。LFS-2可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。下表顯示了在AVI/LP上測(cè)得的水平隔離度(透射率)有和沒有LFS的系統(tǒng)。將傳感器連接到AVI/系統(tǒng)?傳感器LFS-2具有單獨(dú)的電源,該電源通過D-Sub25插座連接到LFS-2控制單元。用D-Sub25將電源連接到傳感器電纜。每個(gè)AVI元素必須連接到背面的D-Sub15插座之一傳感器的LFS的實(shí)際位置并不重要,但必須放置它在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上部D-Sub15插座連接到傳感器。使用D-Sub 15M-F電纜將T-Box連接到TS的背面。無需單獨(dú)的電源。通過模式開關(guān)可以來選擇不同的激勵(lì)方向。
AVI400-XLAVI400-XL的基本配置包括兩個(gè)緊湊型隔振模塊和一個(gè)控制單元,最大負(fù)載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量,可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)更高負(fù)載的支持。為了使AVI400-M適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用,可以使用不同長(zhǎng)度的緊湊型裝置。AVI400-XL的隔離始于1,2Hz,超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI400-XL系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI400-XL的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式AVI400-XL緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡(jiǎn)單,友好的概念-因此,在裝置上放置沉重的設(shè)備(例如SEM)時(shí),避免了任何復(fù)雜的過程。技術(shù)指標(biāo):頻率::0-800公斤(單個(gè)):400公斤。所有范圍內(nèi)為±5%??刂茊卧仨毰c相應(yīng)的測(cè)量頭一起使用!晶圓隔振臺(tái)自動(dòng)化測(cè)量
簡(jiǎn)單,用戶友好的處理概念-避免在安裝過程中進(jìn)行復(fù)雜的過程。半導(dǎo)體設(shè)備隔振臺(tái)供應(yīng)商家
TS-300結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)特點(diǎn)和優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)TS-300的隔離始于0.7Hz,超過10Hz時(shí)迅速增加至40dB缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動(dòng)空氣阻尼方法要好得多TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共計(jì)六個(gè)方向的震動(dòng)隔離模式精確的自動(dòng)高度調(diào)節(jié)機(jī)制即使在負(fù)載發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在蕞佳工作水平遙控器允許在外部將隔離開關(guān)“打開”和“關(guān)閉”如果想要了解更多信息請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器。半導(dǎo)體設(shè)備隔振臺(tái)供應(yīng)商家