重慶納米壓印推薦型號(hào)

在EVG的NILPhotonics®解決方案支援中心，雙方合作研發(fā)用于制造光學(xué)傳感器的新材料，以及適用于大眾化市場(chǎng)的晶圓級(jí)光學(xué)元件。（奧地利）與WINDACH（德國），2019年11月27日――EV集團(tuán)(EVG)這一全球領(lǐng)仙的為微機(jī)電系統(tǒng)、納米技術(shù)與半導(dǎo)體市場(chǎng)提供晶圓鍵合與光刻設(shè)備的供應(yīng)商，金天宣布與高科技工業(yè)粘合劑制造商DELO在晶圓級(jí)光學(xué)元件(WLO)領(lǐng)域開展合作。這兩家公司均在光學(xué)傳感器制造領(lǐng)域處于領(lǐng)仙地位。它們的合作將充分利用EVG的透鏡注塑成型與納米壓印光刻(NIL)加工設(shè)備與DELO先進(jìn)的粘合劑與抗蝕材料，在工業(yè)，汽車，消費(fèi)類電子產(chǎn)品市場(chǎng)開發(fā)與應(yīng)用新型光學(xué)設(shè)備，例如生物特征身份認(rèn)證，面部識(shí)別。目前雙方正在EVG的NILPhotonics®解決方案支援中心（位于EVG總部，奧地利Florian）以及DELO在德國Windach的總部展開合作。雙方致力于改善與加快材料研發(fā)周期。EVG的NILPhotonics解決方案支援中心為NIL供應(yīng)鏈的客戶與合作伙伴提供了開放的創(chuàng)新孵化器，旨在通過合作來縮短創(chuàng)新設(shè)備與應(yīng)用的研發(fā)與推廣周期。該中心的基礎(chǔ)設(shè)施包括領(lǐng)仙技術(shù)的潔凈室與支持NIL制造的主要步驟的設(shè)備，例如分步重復(fù)母版，透鏡模制，以及EVG的SmartNIL®技術(shù)，晶圓鍵合與必要的測(cè)量設(shè)備。IQ Aligner?是EVG的可用于晶圓級(jí)透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)。重慶納米壓印推薦型號(hào)

SmartNIL是行業(yè)領(lǐng)仙的NIL技術(shù)，可對(duì)小于40nm*的極小特征進(jìn)行圖案化，并可以對(duì)各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀進(jìn)行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術(shù)相結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)無人可比的吞吐量，并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢(shì)，同時(shí)保留了可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的操作。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長(zhǎng)期前景，即納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級(jí)和納米級(jí)結(jié)構(gòu)的低成本，大批量替代光刻技術(shù)。注：*分辨率取決于過程和模板。如果需要詳細(xì)的信息，請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。重慶納米壓印推薦型號(hào)在納米生物傳感器中，納米壓印可以用于制備納米級(jí)的生物傳感器，用于檢測(cè)生物分子的存在和濃度。

EVG®520HE特征：用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印和納米壓印應(yīng)用自動(dòng)化壓花工藝EVG專有的獨(dú)力對(duì)準(zhǔn)工藝，用于光學(xué)對(duì)準(zhǔn)的壓印和壓印氣動(dòng)壓花選項(xiàng)軟件控制的流程執(zhí)行EVG®520HE技術(shù)數(shù)據(jù)加熱器尺寸：150毫米，200毫米蕞大基板尺寸：150毫米，200毫米蕞小基板尺寸：?jiǎn)涡酒?00毫米蕞大接觸力：10、20、60、100kN最高溫度：標(biāo)準(zhǔn)：350°C；可選：550°C粘合卡盤系統(tǒng)/對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)150毫米加熱器：EVG®610，EVG®620，EVG®6200200毫米加熱器：EVG®6200，MBA300，的SmartView®NT真空：標(biāo)準(zhǔn)：0.1毫巴可選：0.00001mbar 

EVG®520HE熱壓印系統(tǒng)特色：經(jīng)通用生產(chǎn)驗(yàn)證的熱壓印系統(tǒng)，可滿足蕞高要求EVG520HE半自動(dòng)熱壓印系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于對(duì)熱塑性基材進(jìn)行高精度壓印。EVG的這種經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證的系統(tǒng)可以接受直徑蕞大為200mm的基板，并且與標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體制造技術(shù)兼容。熱壓印系統(tǒng)配置有通用壓花腔室以及高真空和高接觸力功能，并管理適用于熱壓印的整個(gè)聚合物范圍。結(jié)合高縱橫比壓印和多種脫壓選項(xiàng)，提供了許多用于高質(zhì)量圖案轉(zhuǎn)印和納米分辨率的工藝。如果需要詳細(xì)的信息，請(qǐng)聯(lián)系岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。EVG的納米壓印設(shè)備包括不同的單步壓印系統(tǒng)，大面積壓印機(jī)以及用于高效母版制作的分步重復(fù)系統(tǒng)。

EVG®610紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)具有紫外線納米壓印功能的通用研發(fā)掩膜對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，從碎片到蕞大達(dá)150毫米。該工具支持多種標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝，例如真空，軟，硬和接近曝光模式，并且可以選擇背面對(duì)準(zhǔn)。此外，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能，包括鍵對(duì)準(zhǔn)和納米壓印光刻（NIL）。EVG610提供快速的處理和重新安裝工具，以改變用戶需求，光刻和NIL之間的轉(zhuǎn)換時(shí)間瑾為幾分鐘。其先進(jìn)的多用戶概念可以適應(yīng)從初學(xué)者到**級(jí)別的所有需求，因此使其成為大學(xué)和研發(fā)應(yīng)用程序的理想選擇。EVG系統(tǒng)是客戶進(jìn)行大批量晶圓級(jí)鏡頭復(fù)制（制造）的弟一選擇。重慶納米壓印推薦型號(hào)

納米壓印技術(shù)具有高效、低成本、高精度等優(yōu)點(diǎn)，可以實(shí)現(xiàn)大規(guī)模的納米結(jié)構(gòu)制備。重慶納米壓印推薦型號(hào)

SmartNIL技術(shù)簡(jiǎn)介SmartNIL是基于紫外線曝光的全域型壓印技術(shù)，可提供功能強(qiáng)大的下一代光刻技術(shù)，幾乎具有無限的結(jié)構(gòu)尺寸和幾何形狀功能。由于SmartNIL集成了多次使用的軟標(biāo)記處理功能，因此還可以實(shí)現(xiàn)無人能比的吞吐量，并具有顯著的擁有成本的優(yōu)勢(shì)，同時(shí)保留了可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的操作功能。另外，主模板的壽命延長(zhǎng)到與用于光刻的掩模相當(dāng)?shù)臅r(shí)間。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商，歡迎各位聯(lián)系我們，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識(shí)。岱美儀器愿意與您共同進(jìn)步。重慶納米壓印推薦型號(hào)