10.3.1潔凈廠房內(nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定,并應(yīng)符合下列規(guī)定:1供氣規(guī)模應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)所需供氣量和計入必要損耗量確定,并應(yīng)設(shè)有一定的備用供氣量;2供氣品質(zhì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定;3供氣系統(tǒng)可集中設(shè)置在潔凈廠房內(nèi)的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站;4應(yīng)選用能耗少、噪聲低的設(shè)備,宜選用無油潤滑空氣壓縮機,5含水量要求嚴格時,宜選用加熱再生吸附干燥裝置。無菌操作間應(yīng)根據(jù)檢驗品種的需要,保持對鄰室的相對正壓或相對負壓,以防止外界污染空氣的流入。浙江氣流潔凈室檢測規(guī)范性強
1)單層潔凈室,在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部、下部設(shè)有上下技術(shù)夾層,上技術(shù)夾層內(nèi)設(shè)置空氣過濾裝置、風管和公用動力管線;下技術(shù)夾層為回風道。這種形式適用于規(guī)模較小的潔凈室。2)多層潔凈室,在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)吊頂格柵以上設(shè)有送風靜壓箱或循環(huán)空氣處理設(shè)備或空氣過濾單元機組等的上技術(shù)層;在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的活動地板以下設(shè)有回風靜壓箱或輔助生產(chǎn)設(shè)備或公用動力設(shè)備、管線等的下技術(shù)層。有的電子工業(yè)潔凈廠房的下技術(shù)層根據(jù)需要可為一層或二層。江蘇無塵室3Q驗證潔凈室檢測標準非單向流潔凈室中都有渦流存在,不適宜用于高潔凈度的潔凈室中,宜用于6~9級的潔凈室中。
D.3.10自凈時間檢測,應(yīng)符合下列規(guī)定:1自凈時間的檢測,宜用于非單向流潔凈室。2自凈時間的檢測,宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準,并宜以粒子計數(shù)器進行檢測,同時應(yīng)符合下列要求.1)以大氣塵為基準時,則必須將潔凈室停止運行相當時間,在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時,測出潔凈室內(nèi)靠近回風口處的含塵濃度(N。)。然后開機,定時讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次),直到回風口處的含塵濃度回復到原來的穩(wěn)定狀態(tài),記錄下所需的時間(t)。2)以人工塵源為基準時,應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心,發(fā)煙1~2min后停止,等待1min,測出潔凈室內(nèi)靠近回風口處的含塵濃度(N。)。然后開機,方法同上。3由初始濃度(No)、室內(nèi)達到穩(wěn)定的濃度(N)、實際換氣次數(shù)(n),可得到計算自凈時間(to),與實測自凈時間(t)進行對比,如果t≤12to,為合格。4自凈時間檢測方法除上述方法外,還有微粒濃度變化率評估法等。自凈時間檢測方法應(yīng)洽商確定。
隨著生產(chǎn)工藝對純水水質(zhì)的不斷提高,甚至到了理論純水的程度,尤其是集成電路的發(fā)展不但對水中電解質(zhì)的含量要求極其嚴格,而且對細菌、微粒、有機物及溶解氧等都有極其嚴格的要求;醫(yī)藥工業(yè)中要求供應(yīng)的注射用水,對水中含菌量、熱源均有嚴格要求。除了嚴格的純水制造過程外,純水輸送管道的管材選擇和管網(wǎng)設(shè)計是保證使用點水質(zhì)的關(guān)鍵。實踐證明,采用循環(huán)供水方式是行之有效的。主要是基于保證輸水管道內(nèi)的流速和盡量減少不循環(huán)段的死水區(qū),以減少純水在管道內(nèi)的停留時間,減少管道材料微量溶出物(即使目前質(zhì)量比較好的管道也會有微量物質(zhì)溶出)對超純水水質(zhì)的影響,同時,基于流水不腐的道理,高的流速也可以防止細菌微生物的滋生。設(shè)置在同一潔凈室內(nèi)的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應(yīng)相近。
7.4.2風機過濾器機組的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:1應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級和送風量選用;2應(yīng)按潔凈室(區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對氣流流型的要求布置,3終阻力時的疊加噪聲及振動應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定;4送風量應(yīng)能調(diào)節(jié);5應(yīng)便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時,外殼強度應(yīng)滿足檢修要求。7.4.3層流罩的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:1潔凈室(區(qū))內(nèi)等于或嚴于5級的局部凈化區(qū)域宜采用層流罩;2層流罩的形式和進風方式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝或設(shè)備需要選用;3終阻力時的疊加噪聲及振動應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定;4安裝方式不應(yīng)影響生產(chǎn)操作。中效或高中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)箱的正壓段。上海國內(nèi)潔凈室檢測誠信推薦
定期檢測潔凈度,確保空氣質(zhì)量的穩(wěn)定。浙江氣流潔凈室檢測規(guī)范性強
空氣過濾器的處理風量應(yīng)小于或等于額定風量;3中效(高中效)空氣過濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)箱的正壓段;4高效(亞高效)空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端;超高效空氣過濾器應(yīng)設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端;5同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應(yīng)相近;6同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的使用風量與額定風量之比值宜相近;7對化學污染物有控制要求的潔凈室(區(qū)),在凈化空調(diào)系統(tǒng)中應(yīng)根據(jù)環(huán)境條件設(shè)置化學過濾器或其他去除裝置;8高效(亞高效、超高效)空氣過濾器應(yīng)采用不燃或難燃材料制作。7.4.2風機過濾器機組的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:1應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級和送風量選用;2應(yīng)按潔凈室(區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對氣流流型的要求布置,3終阻力時的疊加噪聲及振動應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定;4送風量應(yīng)能調(diào)節(jié);5應(yīng)便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時,外殼強度應(yīng)滿足檢修要求。浙江氣流潔凈室檢測規(guī)范性強