振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間是某一點(diǎn)上開始振動(dòng)到恢復(fù)到初始狀態(tài)所需要的很短時(shí)間。若要縮短光學(xué)平臺(tái)的振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間,通常有兩個(gè)辦法:增大彈簧的彈性系數(shù)k。對(duì)于阻尼隔振平臺(tái),可以換用材質(zhì)較硬的阻尼材料;對(duì)于充氣平臺(tái),可以適度增加空氣壓力;控制光學(xué)平臺(tái)臺(tái)面的質(zhì)量。在不影響剛度的前提下...
隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對(duì)于精密微小(納米級(jí))的微電子器件,表筆點(diǎn)到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生,利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號(hào)引導(dǎo)出來,便于其電性測試設(shè)備(不屬于本機(jī)器)對(duì)此測試、分析。探針臺(tái)執(zhí)行機(jī)構(gòu)由探針座和探針桿兩部分組成...
探針臺(tái)可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測試儀器/半導(dǎo)體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測試可以很簡單,例如連續(xù)性或隔離檢查,也可以很復(fù)雜,包括微電路的完整功能測試??梢栽趯⒕A鋸成單個(gè)管芯之前或之后進(jìn)行測試。在晶圓級(jí)別的測試允...
光學(xué)平臺(tái)很普遍使用的振動(dòng)響應(yīng)傳遞函數(shù)為柔量。在恒定(靜態(tài))力的情況下,柔量可以定義為線性或角度錯(cuò)位與所施加外力的比值。在動(dòng)態(tài)變化力(振動(dòng))的情況下,柔量則可以定義為受激振幅(角度或線性錯(cuò)位)與振動(dòng)力振幅的比值。平臺(tái)的任意撓度都可以通過安裝在平臺(tái)表面的部件相對(duì)位...
光學(xué)平臺(tái)測量方法:使用脈沖錘對(duì)平臺(tái)或面包板的表面施加一個(gè)已測量的外力,并將一個(gè)傳感器貼合在平臺(tái)或面包板表面對(duì)合成振動(dòng)進(jìn)行測量。探測器發(fā)出的信號(hào)通過分析儀進(jìn)行讀取,并用于產(chǎn)生頻率響應(yīng)譜(即柔量曲線)。在光學(xué)平臺(tái)的研發(fā)過程中,對(duì)平臺(tái)表面上很多點(diǎn)的柔量曲線進(jìn)行記錄;...
定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計(jì)要求如分辨力等,用機(jī)加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個(gè)線槽,線槽間的距離即稱為平面電機(jī)的齒距,而定子則按不同的細(xì)分控制方式,按編制好的運(yùn)行程序借助于平面定子和動(dòng)子之間的氣墊才能實(shí)現(xiàn)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)。對(duì)定子的損傷將直接影響工...
自動(dòng)化加工系統(tǒng)平臺(tái)和面包板的特殊之處是采用自動(dòng)軌道機(jī)械啞光表面加工,比老舊的平臺(tái)產(chǎn)品更加平滑、平整。這些平臺(tái)經(jīng)過改善的表面拋光處理后,表面平整度在1平方米(11平方英尺)內(nèi)可達(dá)±0.1毫米(±0.004英寸),為安裝部件提供了接觸表面,不需要使用磨具對(duì)頂面進(jìn)行...
晶圓探針臺(tái)還可以在晶圓劃片線上執(zhí)行任何測試電路。一些公司從這些劃線測試結(jié)構(gòu)中獲得大部分有關(guān)器件性能的信息。當(dāng)特定芯片的所有測試圖案都通過時(shí),它的位置會(huì)被記住,以便以后在IC封裝過程中使用。有時(shí),芯片有內(nèi)部備用資源可用于修復(fù)(即閃存IC);如果它沒有通過某些測試...
由于光線模擬圖像可以輸出是多點(diǎn)的光路模擬圖像,通過不同參數(shù)的選擇,可以得到多點(diǎn)的路徑路徑和其他光學(xué)參數(shù),如圓形光斑矩陣、圖像方向角等。實(shí)際上從實(shí)踐中,從精密設(shè)計(jì)所用的dem單片機(jī)出發(fā),還應(yīng)該加裝設(shè)備和驅(qū)動(dòng)電路,這也是為了精密檢測中如何更精確的檢測不同類型光路設(shè)...
探針臺(tái)從操作上來區(qū)分有:手動(dòng),半自動(dòng),全自動(dòng)。從功能上來區(qū)分有:高溫探針臺(tái),低溫探針臺(tái),RF探針臺(tái),LCD平板探針臺(tái),霍爾效應(yīng)探針臺(tái),表面電阻率探針臺(tái)??v觀國內(nèi)外的自動(dòng)探針測試臺(tái)在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺(tái),可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架、打點(diǎn)...
優(yōu)良的精密光學(xué)平臺(tái)不僅需要高精度的機(jī)器設(shè)備來加工,更需要有高精度檢測手段與檢測儀器來保證,也只有優(yōu)良的光學(xué)平臺(tái)才能保證高精度的科學(xué)實(shí)驗(yàn)、研究的正常進(jìn)行。1、試驗(yàn)?zāi)康模簷z測氣墊隔振垂直方向和水平固有頻率、振幅、振動(dòng)速度、振動(dòng)效果。2、試驗(yàn)方式:采用三點(diǎn)均布試驗(yàn)。...
光學(xué)平臺(tái)精密隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì)需要考慮的環(huán)境微振動(dòng)干擾是復(fù)雜的,包括:大型建筑物本身的擺動(dòng)、地面或樓層間傳來的振動(dòng)、電動(dòng)儀器和設(shè)備的振動(dòng)、各類機(jī)械振動(dòng)、聲音引起的振動(dòng)、外界街道交通引起的振動(dòng),甚至包括人員走動(dòng)所引起的振動(dòng)等。精密的光學(xué)實(shí)驗(yàn)依賴于可靠的定位穩(wěn)定性,工作...
探針臺(tái)工作臺(tái)由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)x、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng),導(dǎo)向部分采用精密直線滾動(dòng)導(dǎo)軌。由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件,所以具有傳動(dòng)效率高、摩擦力矩小,使用壽命長等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)應(yīng)放置在溫度23±3℃,濕度≤70%,無有害氣體的環(huán)境中,...
x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng):無論是全自動(dòng)探針測試臺(tái)還是自動(dòng)探針測試臺(tái),x-y向工作臺(tái)都是其很重心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺(tái)的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺(tái)的故障,而工作臺(tái)故障有許多是對(duì)其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的,所以對(duì)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要?,F(xiàn)在...
手動(dòng)探針臺(tái)的使用方式:待測點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢,以防動(dòng)作過大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測點(diǎn)上空時(shí),可先用Y軸旋...
x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng):無論是全自動(dòng)探針測試臺(tái)還是自動(dòng)探針測試臺(tái),x-y向工作臺(tái)都是其很重心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺(tái)的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺(tái)的故障,而工作臺(tái)故障有許多是對(duì)其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的,所以對(duì)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。現(xiàn)在...
光學(xué)平臺(tái)中的重復(fù)定位精度同精密位移臺(tái)中概念不同,光學(xué)平臺(tái)的重復(fù)定位精度,是指在空載和在一定條件下加上負(fù)載并去除負(fù)載,光學(xué)平臺(tái)穩(wěn)定后的高度差。這個(gè)指標(biāo)同負(fù)載的大小、加載的位置、加載時(shí)的速度、加速度、卸載時(shí)的速度、加速度等等指標(biāo)有很大的關(guān)系,對(duì)于充氣式平臺(tái),還有一...
由于光線模擬圖像可以輸出是多點(diǎn)的光路模擬圖像,通過不同參數(shù)的選擇,可以得到多點(diǎn)的路徑路徑和其他光學(xué)參數(shù),如圓形光斑矩陣、圖像方向角等。實(shí)際上從實(shí)踐中,從精密設(shè)計(jì)所用的dem單片機(jī)出發(fā),還應(yīng)該加裝設(shè)備和驅(qū)動(dòng)電路,這也是為了精密檢測中如何更精確的檢測不同類型光路設(shè)...
熱穩(wěn)定性的關(guān)鍵之處在于各軸方向上都具有對(duì)稱、各向均勻的鋼制結(jié)構(gòu)。鋼制部件在熱交換過程中的延伸性和收縮性是相似的,可以在溫度變化過程中保持良好的平整度。鋼制的蜂窩芯結(jié)構(gòu)從頂板延伸到底板,中間并無塑料或鋁質(zhì)泄露管理結(jié)構(gòu),因此不會(huì)降低平臺(tái)整體的剛度或是引入更高的熱膨...
探針臺(tái)將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進(jìn)入后序工序前予以剔除,極大降低器件的制造成本。探針臺(tái)主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。半導(dǎo)體測試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類:驗(yàn)證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。晶圓檢測環(huán)節(jié)需要使用測試儀和探針...
對(duì)于當(dāng)今的多芯片(multi-die packages)封裝,例如堆疊芯片級(jí)封裝(SCSP)或系統(tǒng)級(jí)封裝(SiP)–開發(fā)用于識(shí)別已知測試芯片(KTD)和已知良好芯片(KGD)的非接觸式(RF)探針對(duì)提高整體系統(tǒng)產(chǎn)量至關(guān)重要。晶圓探針臺(tái)還可以在晶圓劃片線上執(zhí)行任...
光學(xué)平臺(tái)隔振系統(tǒng)的構(gòu)成:光學(xué)平臺(tái)由上下面板、蜂窩內(nèi)芯和U型清潔艙采用低溫恒溫粘接而成,溫度應(yīng)變小。鋼質(zhì)蜂窩內(nèi)芯采用垂向支撐桁架蜂窩結(jié)構(gòu),U型清潔艙與蜂窩芯六邊形內(nèi)壁相配合內(nèi)嵌在蜂窩孔中,蜂窩孔六邊形板直接粘結(jié)到上面板,U型清潔艙用蜂窩夾層板頂著粘接在上面板,增...
探針臺(tái)如何工作:探針臺(tái)可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測物。手動(dòng)探針臺(tái)的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針尖銳端都被設(shè)置在正確的位置,就可以對(duì)待測物進(jìn)行測試。對(duì)于帶有多個(gè)芯片的晶圓,使用者可以抬起...
光學(xué)平臺(tái)的隔振性能取決于臺(tái)面本身和支架的隔振性能,總體上說,光學(xué)平臺(tái)的隔振,通過三個(gè)方面來實(shí)現(xiàn):隔振支架:通常來說,氣浮式隔振支架性能優(yōu)于阻尼式隔振支架,部分性能優(yōu)異的隔振支架可以將外界振動(dòng)(常見10~200Hz)減少一至兩個(gè)數(shù)量級(jí)臺(tái)面物理性能:要求臺(tái)面有一定...
晶圓探針器是用于測試集成電路的機(jī)器(自動(dòng)測試設(shè)備)。對(duì)于電氣測試,一組稱為探針卡的微觀觸點(diǎn)或探針被固定在適當(dāng)?shù)奈恢?,同時(shí)真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動(dòng)到電接觸狀態(tài)。當(dāng)一個(gè)管芯(或管芯陣列)經(jīng)過電氣測試后,探針臺(tái)將晶片移動(dòng)到下一個(gè)管芯(或管芯),下一個(gè)測試就可...
對(duì)于平臺(tái)上的光學(xué)元件來說,平面度引起的高度差,通??梢院雎圆挥?jì),若確有必要考慮高度差,則完全可以通過勤確精密調(diào)整的位移臺(tái)來實(shí)現(xiàn)。綜上所述,光學(xué)平臺(tái)的平面度,同光學(xué)平臺(tái)的隔振性能不相關(guān),只能做為光學(xué)平臺(tái)的一個(gè)輔助指標(biāo),供參考。振動(dòng)物體離開平衡位置的距離叫振動(dòng)的振...
探針臺(tái)是用于檢測每片晶圓上各個(gè)芯片電信號(hào),保證半導(dǎo)體產(chǎn)品品質(zhì)的重要檢測設(shè)備。因?yàn)槲覀冃枰榔骷嬲男阅埽皇欠庋b以后的,雖然可以去嵌,但還是會(huì)引入一些誤差和不確定性。因?yàn)槲覀冃枰_定哪些芯片是好的芯片來降低封裝的成本并提高產(chǎn)量。因?yàn)橛袝r(shí)我們需要進(jìn)行自動(dòng)化...
振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間是某一點(diǎn)上開始振動(dòng)到恢復(fù)到初始狀態(tài)所需要的很短時(shí)間。若要縮短光學(xué)平臺(tái)的振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間,通常有兩個(gè)辦法:增大彈簧的彈性系數(shù)k。對(duì)于阻尼隔振平臺(tái),可以換用材質(zhì)較硬的阻尼材料;對(duì)于充氣平臺(tái),可以適度增加空氣壓力;控制光學(xué)平臺(tái)臺(tái)面的質(zhì)量。在不影響剛度的前提下...
光學(xué)平臺(tái)其他配件還包括貨架、安裝座、桌下擱板、振動(dòng)隔離配件、可安裝支桿的光學(xué)平臺(tái)配件、可調(diào)式光學(xué)爬升架安裝座、地震抑制、光學(xué)面包板罩殼、遮光材料、磁性薄片等等。生產(chǎn)意義:當(dāng)今科學(xué)界的科學(xué)實(shí)驗(yàn)需要越來越精密的計(jì)算和測量,因此一個(gè)能與外界環(huán)境和干擾相對(duì)隔離的設(shè)備儀...
簡單的光學(xué)平臺(tái)保養(yǎng)說明書:如果光學(xué)平臺(tái)環(huán)境溫度過高,溫差過大,出現(xiàn)玻璃收縮,也可以立即用油封然后用砂紙輕輕磨平不說了,想要光學(xué)顯微鏡繼續(xù)吊打大家,首先要把離鏡頭越近的光學(xué)玻璃考慮在內(nèi),切勿安裝在鏡頭上,可以安裝在玻璃的側(cè)面,再做檢查。光學(xué)玻璃的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度不允許受...