機殼設置有兩層，聚焦透鏡組位于所述機殼的上層，感光元件位于機殼的下層，所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設置有用于轉變光線傳播方向的光線轉向鏡組，光線轉向鏡組包括有上反光鏡，設置在上反光鏡下方位置的下反光鏡，光線轉向鏡組用于使上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。這樣，通過光線轉向鏡組使光線實現(xiàn)掉頭轉向，從而充分利用上下空間，使原有的水平光路變換為上下光路，使光譜儀的長度變短，有利于光譜儀小型化和便攜化。光譜共焦位移傳感器是一種高精度具有廣泛的應用前景。長沙光譜共焦位移傳感器信賴推薦為使本實用新型的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚、明確，以下參照附圖并舉實施例對本實用新型進一步詳細...

本發(fā)明提供一種光譜共焦傳感器和測量方法。該光譜共焦傳感器包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個光束;多個光學頭,用于將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學系統(tǒng),其包括用于使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束:以及位置計算部,用于基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點的位置該傳感器適用于高分辨率成像系統(tǒng)，例如光學顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移...

發(fā)光件和導光光纖的入光端之間，固定設置有濾光片，濾光片固定設置在發(fā)光件和導光光纖之間，濾光片用于過濾紅外線，以減少光熱效應高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時，使探頭殼體發(fā)熱變形而影響探頭精度。探頭殼體的側壁上開設有沉孔，連接導光光纖的出光端的插槽開設在沉孔底部，且導光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接；這樣，通過沉孔的設置，在探頭殼體上形成對導光光纖連接位進行避讓，避免使用者在使用過程中觸碰到導光光纖，從而影響影響導光光纖，或損傷導光光纖與探頭殼體的連接位。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、非接觸式的位移測量傳感器。湖北光譜共焦位移傳感器制作廠家3.根據(jù)權利要求2所述的光譜共焦位移傳感器，...

激光位移傳感器利用光學三角法原理，通過將激光發(fā)射光束投射到被測物體表面，利用漫反射效應接收反射光并將光信號轉換為電信號輸出，從而獲取被測物體空間位置信息。隨著現(xiàn)代技術的發(fā)展，激光位移傳感器已成為非接觸測量領域的重要手段，并可以通過與計算機及應用軟件配合實現(xiàn)測量數(shù)據(jù)實時處理，為工業(yè)生產(chǎn)制定相關決策提供幫助。激光位移傳感器具有結構小巧、測量速度快、精度高、測量光斑小、抗干擾能力強和非接觸式的測量特點，廣泛應用于微位移測量領域。其應用主要是用于非標的檢測設備中，國內所使用的激光非接觸測量儀器幾乎主要依靠國外進口。它可以實現(xiàn)對材料的表面形貌進行高精度測量，對于研究材料的表面性質具有重要意義。長沙光譜共...

根據(jù)權利要求1所述的光譜共焦傳感器,其中所述線傳感器是在使用預定基準軸作為基準的情況下布置的,以及所述光學系統(tǒng)是在使用所述預定基準軸作為基準的情況下配置的,并且所述光學系統(tǒng)包括所述多個測量光束入射的多個光入射口,其中所述多個光入射口在使用所述預定基準軸作為基準的情況下設置在不同位置處。根據(jù)權利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中，所述預定基準軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學系統(tǒng)的情況下的光軸相對應。它使用光譜共焦技術來測量物體的微小位移，能夠達到亞微米級的高精度。通信光譜共焦位移傳感器定做本實用新型涉及光電精密測量領域，尤其涉及的是一種光譜共焦位移傳感器。隨著我國的航空航...

一種光譜共焦傳感器,包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個光束:多個光學頭,用于將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學系統(tǒng),其包括用于使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束;以及位置計算部,用于基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。該傳感器的應用將有助于提高微納制造、半導體制造和生物醫(yī)學等領域中的精密測量的準確性。...

本實用新型的工作原理如下:1)鹵素燈光源發(fā)出的光,通過Y型光纖后,一端經(jīng)光譜共焦透鏡組后,照射到被測物體表面,經(jīng)過光譜共焦透鏡組后買不同波長的光產(chǎn)生光譜的色散。2)光源通過光譜共焦透鏡組后,照射到某一位置的被測物體,經(jīng)被測物體表面反射的某一波長的單色光,反向回到Y型光纖的另一端,單色光到達共焦小孔,由于小孔濾波的作用,only有被測物體表面反射的該波長單色光,通過共焦小孔后進入光譜儀,采集光譜信息;并通過調整被測物體的位置,利用光譜儀來收集反射回來光的光譜信息。3)對采集到的光譜信息進行光強的歸一化處理,并對原始的光譜數(shù)據(jù)進行去噪平滑等預處理后,擬合出一條符合平滑的曲線,然后采用高斯擬合的算法...

根據(jù)權利要求1所述的光譜共焦傳感器,其中所述線傳感器是在使用預定基準軸作為基準的情況下布置的,以及所述光學系統(tǒng)是在使用所述預定基準軸作為基準的情況下配置的,并且所述光學系統(tǒng)包括所述多個測量光束入射的多個光入射口,其中所述多個光入射口在使用所述預定基準軸作為基準的情況下設置在不同位置處。根據(jù)權利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中，所述預定基準軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學系統(tǒng)的情況下的光軸相對應。它可以實現(xiàn)對材料的微觀結構進行高精度測量，對于研究材料的微觀性質具有重要意義。松江區(qū)好的光譜共焦位移傳感器本實用新型解決的技術問題在于，針對現(xiàn)有技術的上述缺陷，提供一種光譜共焦...

激光位移傳感器利用光學三角法原理，通過將激光發(fā)射光束投射到被測物體表面，利用漫反射效應接收反射光并將光信號轉換為電信號輸出，從而獲取被測物體空間位置信息。隨著現(xiàn)代技術的發(fā)展，激光位移傳感器已成為非接觸測量領域的重要手段，并可以通過與計算機及應用軟件配合實現(xiàn)測量數(shù)據(jù)實時處理，為工業(yè)生產(chǎn)制定相關決策提供幫助。激光位移傳感器具有結構小巧、測量速度快、精度高、測量光斑小、抗干擾能力強和非接觸式的測量特點，廣泛應用于微位移測量領域。其應用主要是用于非標的檢測設備中，國內所使用的激光非接觸測量儀器幾乎主要依靠國外進口。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、高分辨率的位移測量技術，具有廣泛的應用前景。溫州如何光譜...

Preferencyly，在本實施例中發(fā)光件設置有2個，在保證良好提示效果的前提下，采用更少的發(fā)光件以減少發(fā)熱對探頭的影響，發(fā)光件左右對稱布置在光源耦合器中，通過卡扣和螺紋連接固定在光源耦合器中，導光光纖也設置有2個，分別通過插槽3400與發(fā)光件連接，兩個導光光纖的出光端在探頭殼體上呈左右對稱設置，發(fā)光件發(fā)出的指示光能通過導光光纖的傳導，從各個方向射出，使用者能從各個角度觀察到探頭工作情況。創(chuàng)視智能技術創(chuàng)視智能技術該傳感器可以用于微納加工、生物醫(yī)學、半導體制造等領域的精密測量。湖州光譜共焦位移傳感器24小時服務本實用新型的工作原理如下:1)鹵素燈光源發(fā)出的光,通過Y型光纖后,一端經(jīng)光譜共焦透鏡...

上三棱鏡上背向所述反光鏡的一面設置為啞光面，探頭殼體的末端固定設置有用于對光線進行色散聚焦的色散鏡頭，色散鏡頭包括有準直鏡組和色散聚焦鏡組，準直鏡組設置在多色光光源的一側，用于多色光源的準直；色散聚焦鏡組設置在被測物體的一側，用于將多色光分別聚焦，并產(chǎn)生軸向色散。光譜儀包括有機殼，固定設置在機殼中并位于接收光纖出光端的軸向上且用于對反射光進行色散的棱鏡組，固定設置在所述棱鏡組的出光端并用于對色散后的光進行聚焦的聚焦透鏡組，感光元件設置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光。該傳感器可被應用于微納制造、生物醫(yī)學和半導體制造等領域中的精密測量。北京本地光譜共焦位移傳感器易于想到的是，發(fā)光件還...

過去,針對測量待測物體的高度等,已經(jīng)使用了光譜共焦傳感器的技術。例如,日本的intenational公開2014/141535(以下稱為專利文獻1)公開了使用多個頭部的共焦光學系統(tǒng)來進行對測量對象的位移的多點測量的共焦測量設備。在該共焦測量設備中,在各頭部中設置有光學濾波器,并且設置要用于測量的波長帶,以使得這些頭部彼此不同。例如,在No.1頭部中使用具有約400nm~600nm的波長的光,并且在第二頭部中使用具有約600nm~800nm的波長的光(專利文獻1的說明書中的段落、通過以這種方式使要在這些頭部中使用的光的波長帶彼此不同,可以將分光器內部所布置的攝像裝置分割成要由各頭部使用的多個區(qū)域...

將光源耦合器與光譜共焦位移傳感探頭分開設置，設置在光源耦合器中的發(fā)光件實現(xiàn)發(fā)光，并通過導光光纖進行傳導光后在探頭殼體上顯示，從而實現(xiàn)產(chǎn)生熱量的發(fā)光件與探頭殼體分離，而不影響探頭殼體，從而減少發(fā)光件發(fā)光時產(chǎn)生的熱量對光譜共焦位移傳感探頭精度的影響，減少測量誤差，提高測量精度；通過濾光片過濾紅外線，進一步減小發(fā)熱量和傳導的熱量。將探頭殼體設置成可拆卸的上殼體和下殼體兩部分，產(chǎn)生的少量熱量集中在上殼體而不對下殼體上的主要光學部件產(chǎn)生影響，從而減少測量誤差，提高測量精度。光譜共焦位移傳感器可以應用于材料科學、生物醫(yī)學、納米技術等多個領域。怎樣選擇光譜共焦位移傳感器源頭直供廠家本實施例中的光譜共焦位移傳...

入射光纖，接收光纖，多個導光光纖外表面套設有保護套，所述保護套一端固定設置在探頭殼體內。這樣通過保護套使入射光纖，接收光纖，多個導光光纖形成通過光源耦合器產(chǎn)生多色光，多色光在入射光纖中傳導到光譜共焦位移傳感探頭內。通過光譜共焦位移傳感探頭內的半透半反光學鏡和色散鏡頭使多色光發(fā)生光譜色散，不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置，使波長與被測物體的位移產(chǎn)生對應關系；被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應關系；該傳...

被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應關系；光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析，通過光譜波峰反推出被測物體的位移，實現(xiàn)利用光譜共焦原理測量位移的過程；因此本方案中的光譜共焦位移傳感器通過光譜共焦工作原理，避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點的質心位置的缺陷。該傳感器可被應用于微納制造、生物醫(yī)學和半導體制造等領域中的精密測量。如何選光譜共...

傳統(tǒng)的光譜儀中，還可采用光柵進行分光，與棱鏡組相比，光柵分光的光能量損失較大，對于光譜共焦系統(tǒng)，finally照射到光譜儀的感光器件上的efficient光譜儀中，還可采用光柵進行分光，與棱鏡組相比，光柵分光的光能量損失較大，對于光譜共焦系統(tǒng)，finally照射到光譜儀的感光器件上的有效光能信號很弱，影響測量精度和效果。光譜儀還包括有用于對反射光進行準直的準直透鏡組，準直透鏡組設置在接收光纖的出光端與棱鏡組之間。通常光線是發(fā)散的，即開始相鄰的兩條光線傳播后會相離越來越遠，通過準直透鏡組對反射光進行準直，可以讓多色光平行射入棱鏡組。平行光束的方向穩(wěn)定性高，在接收平面上能形成穩(wěn)定的中心，有利于后續(xù)...

接收光纖，所述接收光纖的入光端固定設置在所述光譜共焦位移傳感探頭內，所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導的被測物體的反射光；光譜儀，所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端，所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。2.根據(jù)權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜共焦位移傳感探頭包括有：探頭殼體，所述探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接；半透半反光學鏡，所述半透半反光學鏡固定設置在所述入射光纖的出光端的正下方；反光鏡，所述反光鏡固定設置在所述探頭殼體的內側壁上，所述反光鏡用于反射所述半透半反光學鏡所發(fā)出的反...

進一步，光譜共焦位移傳感探頭包括有：探頭殼體，探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接； 半透半反光學鏡，半透半反光學鏡固定設置在入射光纖的出光端的正下方；反光鏡，反光鏡固定設置在探頭殼體的內側壁上，反光鏡用于反射半透半反光學鏡所發(fā)出的反射光，接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方。進一步，半透半反光學鏡包括有上三棱鏡，與上三棱鏡相膠合的下三棱鏡，膠合面鍍有半透半反膜，半透半反膜與所述入射光纖的出光端射出的光線呈45°設置，上三棱鏡和下三棱鏡均采用等邊直角棱鏡，上三棱鏡和下三棱鏡的直角邊相等。該傳感器可用于微納制造、生物醫(yī)學、半導體制造等領域中的精密測量。泰州如何光譜共焦位移傳感器本實施例中的光譜共焦...

被測物體表面反射的反射光通過探頭選擇性的接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應關系；光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析，通過光譜波峰位置反推出被測物體的位移，實現(xiàn)光譜共焦測量位移的過程，通過光譜共焦工作原理，避免激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點的質心位置的缺陷。光譜共焦位移傳感器具有高精度、非接觸式、抗溫度、抗振動等優(yōu)點。遼寧光譜共焦位移傳感器廠家供應根據(jù)權利要求7所述的光譜共焦...

易于想到的是，發(fā)光件還可設置為發(fā)射多色光，如當被測物體放置在efficient測量區(qū)域但不是best位置時，發(fā)光件發(fā)出黃光等。光源耦合器和探頭殼體之間設置有導光光纖，導光光纖的入光端可拆卸連接在光源耦合器中，preference的連接方式為導光光纖的入光端正對發(fā)光件的發(fā)光面，探頭殼體上開設有插槽，導光光纖的另一端(出光端)通過插槽可拆卸連接在探頭殼體的側壁上，導光光纖用于將光源耦合器中的發(fā)光件發(fā)出的光傳導到探頭殼體的側壁，從而實現(xiàn)提示光從探頭殼體的側壁上發(fā)出，當手握探頭殼體進行位置測量時，方便人眼獲取探頭殼體上發(fā)出的指示光，通過指示光的不同顏色，從而判斷物體的擺放位置的狀態(tài)。光譜共焦技術可以消...

1.光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:所述傳感器系統(tǒng)由鹵素燈光源、Y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,所述鹵素燈光源連接所述Y型光纖,所述光譜儀通過所述共焦小孔連接所述Y型光纖一端,所述Y型光纖另一端連接所述光譜共焦透鏡組,所述光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個雙凸球面鏡、套簡和一個彎月透鏡,所述盒體內設置有光路通道、限位槽和透光孔,所述光路通道位于所述限位槽和所述透光孔之間,所述光路通道上從左往右依次設置有兩個相互平行的number one卡槽和一個第二卡槽,兩個所述雙凸球面鏡分別限位在兩個所述number one卡槽內,所述彎月透鏡限位在所述第二卡槽內,所述Y型光纖通過SMA...

此外,物鏡使在聚焦位置P處被測量點所反射的可見光會聚到光纖處。具體地,殼體部的后端的連接口設置在聚焦于測量點上且被測量點反射的可見光由物鏡會聚至的共焦位置處。通過使光纖連接至連接口,可以選擇性地射出多個可見光束中的在聚焦位置P處被測量點反射的可見光作為測量光)。在圖1中,在物鏡和連接口之間示出了被待測物體0反射的RGB這三個顏色的光。在圖1所示的示例中,在聚焦位置處存在測量點。因此,使被測量點反射的綠色光G會聚到光纖處。結果,綠色光G的反射光作為測量光經(jīng)由光纖射出。這樣射出的測量光的波長和光軸上的測量點的位置處于一對一關系。該傳感器的優(yōu)點包括高精度、非接觸式、不受溫度和振動等影響。天津光譜共焦...

分光器包括線傳感器和光學系統(tǒng)。光學系統(tǒng)包括用于使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且所述光學系統(tǒng)向所述線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束。 所述位置計算部基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。該光譜共焦傳感器包括用于使用從光源部射出的光進行測量的多個光學頭。從光學頭各自射出的測量光由于衍射光柵而發(fā)生衍射,并且分別向線傳感器的多個受光區(qū)域射出。因此,可以基于線傳感器的多個受光區(qū)域的各受光位置來計算多個測量點各自的位置。結果,可以在不增加衍射光柵和線傳感器...

采用入射光纖和接收光纖分離的方式，發(fā)射光和反射光從不同的光路中傳輸，從而避免光線在傳輸過程中產(chǎn)生內部干擾，提高了光譜共焦系統(tǒng)的信噪比；而且通過設置發(fā)射光和反射光的單獨通道，光路更順暢，發(fā)射光和反射光分別在入射光纖和接收光纖中傳播時不會出現(xiàn)自身反射，從而避免光信號的干擾和能量損失。而傳統(tǒng)的光路設置過程中，采用的是Y型光纖，入射光纖和接收光纖在探頭內耦合成一條光纖，形成Y型光纖，這樣會產(chǎn)生內部串擾，降低信噪比，影響有效信號的提取和整個系統(tǒng)的穩(wěn)定性。而本方案中的入射光纖和接收光纖單獨進行設置，可以避免傳統(tǒng)Y型光纖的問題，使光的傳播更加穩(wěn)定。它可以測量物體微小的位移，精度高達亞微米級別。浙江光譜共焦位...

被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應關系；光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析，通過光譜波峰反推出被測物體的位移，實現(xiàn)利用光譜共焦原理測量位移的過程；因此本方案中的光譜共焦位移傳感器通過光譜共焦工作原理，避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點的質心位置的缺陷。該傳感器的優(yōu)點包括高精度、非接觸式和抗溫度、抗振動等效應。泰州品牌光譜共焦位移傳...

入射光纖，接收光纖，多個導光光纖外表面套設有保護套，所述保護套一端固定設置在探頭殼體內。這樣通過保護套使入射光纖，接收光纖，多個導光光纖形成通過光源耦合器產(chǎn)生多色光，多色光在入射光纖中傳導到光譜共焦位移傳感探頭內。通過光譜共焦位移傳感探頭內的半透半反光學鏡和色散鏡頭使多色光發(fā)生光譜色散，不同波長的單色光聚焦到不同的軸向位置，使波長與被測物體的位移產(chǎn)生對應關系；被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應關系；該傳...

隨著精密和超精密制造業(yè)的迅速發(fā)展,對高精密的檢測需求也越來越高,因此高精密的位移傳感器也應運而生。超精密的位移傳感器精度可達到微納米級別;傳統(tǒng)的接觸式測量雖然也有較高的精度,但是由于其可能會劃傷被測物體表面,而且當被測物體為弱剛性或是輕軟材料時,接觸式測量也會造成彈性形變,引入測量的誤差,而且接觸式測量速度較慢,難以實現(xiàn)自動化測量,基于接觸式測量存在的諸多不足,因此非接觸式位移傳感器受到了更大的關注。如今非接觸式測量主要有電磁式和光電式兩類,電磁式位移傳感器對被測物體的材料類型有要求,因此不具有wide適用性,而且外界的電磁信號的干擾也會對測量的精度造成影響;高精密光電式位移傳感器,目前常用的...

多個光入射口可以沿著與線傳感器的線方向相對應的預定方向設置。因此,可以容易地設計分光器。分光器可以包括設置有多個光入射口的光入射面。在這種情況下,多個光入射口可以設置在包括線方向和預定基準軸的方向的平面與光入射面相交的直線上。因此,可以容易地設計分光器。在針對多個光學頭中的各光學頭將如下區(qū)域假定為測量對象區(qū)域的情況下，多個受光區(qū)域可以與分別對應于多個光學頭的多個測量對象區(qū)域相對應,其中，該區(qū)域是線傳感器的從在射出多個光東中的具有shortest波長的光作為測量光的情況下的受光位置到在射出具有l(wèi)ongest波長的光作為測量光的情況下的受光位置為止的區(qū)域。光譜共焦位移傳感器需要專門的光譜共焦顯微鏡...

在能夠以這種方式執(zhí)行多點測量的光譜共焦傳感器中,需要能夠減少必要組件的數(shù)量的技術。有鑒于如上所述的情形,本發(fā)明旨在提供能夠利用少量的組件來執(zhí)行多點測量的光譜共焦傳感器以及使用該光譜共焦傳感器的測量方法。為了實現(xiàn)上述目的,根據(jù)本發(fā)明實施例的光譜共焦傳感器包括光源部、多個光學頭、分光器和位置計算部。光源部射出具有不同波長的多個光束。多個光學頭將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處，并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、高分辨率的位移測量技術，具有廣闊的應用前景。青浦區(qū)光譜共焦位移傳感器主要功能與優(yōu)勢為使本實用新型的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚...

線傳感器可以是在使用預定基準軸作為基準的情況下布置的。在這種情況下,光學系統(tǒng)可以是在使用預定基準軸作為基準的情況下配置的,并且光學系統(tǒng)可以包括多個測量光束入射的多個光入射口,其中 多個光入射口在使用 預定基準軸作為基準的情況下設置在不同位置處。通過以這種方式在使用預定基準軸作為基準的情況下在布置線傳感器的同時配置光學系統(tǒng),可以向線傳感器的不同受光區(qū)域射出相應的測量光。特別地,通過使用該基準軸作為基準來在不同位置處設置多個光入射口,可以容易將各測量光射出至多個受光區(qū)域。 預定基準軸可以與在使 測量光從 分光器的虛擬光入射口入射至 光學系統(tǒng)的情況下的光軸相對應。通過在使用測量光從虛擬光入射口入射的...