納米工藝加工平臺的工藝能力涵蓋光刻、氧化擴(kuò)散、濕法清洗與刻蝕、物***相沉積、化學(xué)氣相沉積及干法刻蝕、結(jié)構(gòu)與器件特性表征等全微納加工工藝鏈，同時具備**技術(shù)的電子束光刻、聚焦離子束沉積與加工、深硅刻蝕等工藝能力。 有時候加工平臺一年會有一次開放日，有幸走進(jìn)潔凈...

目前可以實現(xiàn)表面微納結(jié)構(gòu)的加工方法主要有以下幾種。 （1）光刻技術(shù)，利用電子束或激光光束可以得到加工尺寸在幾十納米的微納結(jié)構(gòu)，該方法優(yōu)勢在于精度高，得到的微納結(jié)構(gòu)形狀可以得到很好的控制； （2）飛秒激光加工技術(shù)，由于飛秒激光具有不受衍射極限限制的特點，可以加工...

微流控分析芯片**初只是作為納米技術(shù)**的一個補(bǔ)充，在經(jīng)歷了大肆宣傳及冷落的不同時期后，**終卻實現(xiàn)了商業(yè)化生產(chǎn)。微流控分析芯片**初在美國被稱為“ 芯片實驗室”（lab-on-a-chip），在歐洲被稱為“微整合分析芯片”（micrototal analytica...

微納加工制造與測試技術(shù)作為我國從制造大國走向制造強(qiáng)國戰(zhàn)略的重要前沿交叉關(guān)鍵技術(shù)，對制造工業(yè)、產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級以及社會經(jīng)濟(jì)發(fā)展都具有重要意義，***高度重視先進(jìn)傳感器技術(shù)的研究。MEMS傳感器研究要站在戰(zhàn)略的高度，重點關(guān)注其顛覆性技術(shù)和關(guān)鍵**技術(shù)的突破；微納制造技...

用加速度計就夠了嘛，為什么一定要用陀螺儀呢？因為加速度計測量的物理量是比力，而非加速度，加速度是通過比力計算得到的。加速度計不能分辨出是地球引力還是運動外力。所以在被測量物體運動的時候?qū)o法得到準(zhǔn)確的傾角。這個時候陀螺儀就起作用了，因為陀螺儀對運動加速...

微納加工制造與測試技術(shù)作為我國從制造大國走向制造強(qiáng)國戰(zhàn)略的重要前沿交叉關(guān)鍵技術(shù)，對制造工業(yè)、產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級以及社會經(jīng)濟(jì)發(fā)展都具有重要意義，***高度重視先進(jìn)傳感器技術(shù)的研究。MEMS傳感器研究要站在戰(zhàn)略的高度，重點關(guān)注其顛覆性技術(shù)和關(guān)鍵**技術(shù)的突破；微納制造技...

超短脈沖激光微細(xì)加工技術(shù)指的是利用超短脈沖激光對材料的顯微加工、精密裁切以及微觀改性。相對于傳統(tǒng)的激光打標(biāo)、激光焊接、激光切割等，超短脈沖激光精密微細(xì)加工還屬于新興的市場，在太陽能電池、LCD、醫(yī)療、精密加工、透明材料及微電子學(xué)等領(lǐng)域具有很好的應(yīng)用前景。隨著超...

超短脈沖激光微細(xì)加工技術(shù)指的是利用超短脈沖激光對材料的顯微加工、精密裁切以及微觀改性。相對于傳統(tǒng)的激光打標(biāo)、激光焊接、激光切割等，超短脈沖激光精密微細(xì)加工還屬于新興的市場，在太陽能電池、LCD、醫(yī)療、精密加工、透明材料及微電子學(xué)等領(lǐng)域具有很好的應(yīng)用前景。隨著超...

微納代工質(zhì)量好、效率高、價格低 蘇州原位芯片提供硅基和非硅基微納代工單步或多步整合工藝代工。 擁有接觸式光刻（SUSS）、stepper光刻機(jī)、電子束光刻機(jī)、熱氧化爐、離子注入機(jī)（注入B、P等）、LPCVD(多晶硅、低應(yīng)力氮化硅等)、PECVD（SiO2、Si...

微納加工制造與測試技術(shù)作為我國從制造大國走向制造強(qiáng)國戰(zhàn)略的重要前沿交叉關(guān)鍵技術(shù)，對制造工業(yè)、產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級以及社會經(jīng)濟(jì)發(fā)展都具有重要意義，***高度重視先進(jìn)傳感器技術(shù)的研究。MEMS傳感器研究要站在戰(zhàn)略的高度，重點關(guān)注其顛覆性技術(shù)和關(guān)鍵**技術(shù)的突破；微納制造技...

掩膜版，又稱光罩、光掩膜、光刻掩膜版、掩模版等，是下***業(yè)產(chǎn)品制造過程中的圖形“底片”轉(zhuǎn)移用的高精密工具，是承載圖形設(shè)計和工藝技術(shù)等知識產(chǎn)權(quán)信息的載體。通俗點理解，掩膜版的功能類似于傳統(tǒng)照相機(jī)的“底片”。 掩膜版主要用于下游電子元器件制造業(yè)的批量生產(chǎn)，是下*...

光學(xué)掩模板在薄膜、塑料或玻璃基體材料上制作各種功能圖形并精確定位，以便用于光致抗蝕劑涂層選擇性曝光的一種結(jié)構(gòu)。掩膜版應(yīng)用十分***，在涉及光刻工藝的領(lǐng)域都需要使用掩膜版，如IC（Integrated Circuit，集成電路）、FPD（Flat Panel D...

納米光刻技術(shù)是一種精確的圖案化技術(shù)，用于生物傳感器和先進(jìn)材料的功能納米結(jié)構(gòu)的制造，并在太陽能電池、印刷電子、LED和MEMS等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。由于大多數(shù)光刻圖案具有3D結(jié)構(gòu)，因此表征技術(shù)必須提供3D測量的能力。Tosca?400 AFM利用尖銳探針掃描樣品表面...

超短脈沖激光微細(xì)加工技術(shù)指的是利用超短脈沖激光對材料的顯微加工、精密裁切以及微觀改性。相對于傳統(tǒng)的激光打標(biāo)、激光焊接、激光切割等，超短脈沖激光精密微細(xì)加工還屬于新興的市場，在太陽能電池、LCD、醫(yī)療、精密加工、透明材料及微電子學(xué)等領(lǐng)域具有很好的應(yīng)用前景。隨著超...

微流控的優(yōu)點： 芯片設(shè)計多流道、多個反應(yīng)單元的相互隔離，使各個反應(yīng)互不干擾。 　　檢測試劑消耗少，樣本量需求少 　　微流控芯片反應(yīng)單元腔體特別小，試劑使用量遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于常規(guī)操作。 　　污染少 　　芯片集成功能避免了人工操作的污染。 　　微流控技術(shù)將持續(xù)推動生命分析...

超短脈沖激光微細(xì)加工技術(shù)指的是利用超短脈沖激光對材料的顯微加工、精密裁切以及微觀改性。相對于傳統(tǒng)的激光打標(biāo)、激光焊接、激光切割等，超短脈沖激光精密微細(xì)加工還屬于新興的市場，在太陽能電池、LCD、醫(yī)療、精密加工、透明材料及微電子學(xué)等領(lǐng)域具有很好的應(yīng)用前景。隨著超...

微納加工制造與測試技術(shù)作為我國從制造大國走向制造強(qiáng)國戰(zhàn)略的重要前沿交叉關(guān)鍵技術(shù)，對制造工業(yè)、產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級以及社會經(jīng)濟(jì)發(fā)展都具有重要意義，***高度重視先進(jìn)傳感器技術(shù)的研究。MEMS傳感器研究要站在戰(zhàn)略的高度，重點關(guān)注其顛覆性技術(shù)和關(guān)鍵**技術(shù)的突破；微納制造技...

超短脈沖激光微細(xì)加工技術(shù)指的是利用超短脈沖激光對材料的顯微加工、精密裁切以及微觀改性。相對于傳統(tǒng)的激光打標(biāo)、激光焊接、激光切割等，超短脈沖激光精密微細(xì)加工還屬于新興的市場，在太陽能電池、LCD、醫(yī)療、精密加工、透明材料及微電子學(xué)等領(lǐng)域具有很好的應(yīng)用前景。隨著超...

微流控的優(yōu)點： 芯片設(shè)計多流道、多個反應(yīng)單元的相互隔離，使各個反應(yīng)互不干擾。 　　檢測試劑消耗少，樣本量需求少 　　微流控芯片反應(yīng)單元腔體特別小，試劑使用量遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于常規(guī)操作。 　　污染少 　　芯片集成功能避免了人工操作的污染。 　　微流控技術(shù)將持續(xù)推動生命分析...

微流控周邊學(xué)科/產(chǎn)業(yè)發(fā)展 　　微流控技術(shù)作為一門交叉性學(xué)科，其技術(shù)進(jìn)步將帶動多學(xué)科的共同發(fā)展： 　　物理學(xué)科：研究內(nèi)容包括微納尺度結(jié)構(gòu)-流體相互作用；軟物質(zhì)物理；石油開采；晶體物理模擬；流體力學(xué)。 　　工程學(xué)：研究內(nèi)容包括微納加工、3D打印、4D材料、折疊技術(shù)...

微納代工質(zhì)量好、效率高、價格低 蘇州原位芯片提供硅基和非硅基微納代工單步或多步整合工藝代工。 擁有接觸式光刻（SUSS）、stepper光刻機(jī)、電子束光刻機(jī)、熱氧化爐、離子注入機(jī)（注入B、P等）、LPCVD(多晶硅、低應(yīng)力氮化硅等)、PECVD（SiO2、Si...

納米工藝加工平臺的工藝能力涵蓋光刻、氧化擴(kuò)散、濕法清洗與刻蝕、物***相沉積、化學(xué)氣相沉積及干法刻蝕、結(jié)構(gòu)與器件特性表征等全微納加工工藝鏈，同時具備**技術(shù)的電子束光刻、聚焦離子束沉積與加工、深硅刻蝕等工藝能力。 有時候加工平臺一年會有一次開放日，有幸走進(jìn)潔凈...

目前可以實現(xiàn)表面微納結(jié)構(gòu)的加工方法主要有以下幾種。 （1）光刻技術(shù)，利用電子束或激光光束可以得到加工尺寸在幾十納米的微納結(jié)構(gòu)，該方法優(yōu)勢在于精度高，得到的微納結(jié)構(gòu)形狀可以得到很好的控制； （2）飛秒激光加工技術(shù)，由于飛秒激光具有不受衍射極限限制的特點，可以加工...

掩膜版的種類 透明基板 1、透明玻璃 。石英玻璃（Quartz Glass）蘇打玻璃（Soda-lime Glass）低膨脹玻璃（Low Expansion Glass） 2、透明樹脂 遮光膜 （1）硬質(zhì)遮光膜：鉻膜氧化鐵硅化鉬硅。 （2）乳膠。 掩膜版的制作...

微流控技術(shù)優(yōu)勢 　　生命分析技術(shù)不斷發(fā)展，在新的時代背景下，又面臨新挑戰(zhàn)和發(fā)展機(jī)遇：要求在特別小的空間，特定的時間，特定的外界條件進(jìn)行物質(zhì)定性、定量、結(jié)構(gòu)分析、形貌分析等工作。 　　而微流控技術(shù)的出現(xiàn)為生命分析面臨的三大特殊挑戰(zhàn)提供了有力的操控工具。微流控技術(shù)...

掩膜版的原材料掩膜版基板是制作微細(xì)光掩膜圖形的感光空白板。通過光刻制版工藝，將微米級和納米級的精細(xì)圖案刻制于掩膜版基板上從而制作成掩膜版。 掩膜版對下***業(yè)生產(chǎn)線的作用主要體現(xiàn)為利用掩膜版上已設(shè)計好的圖案，通過透光與非透光的方式進(jìn)行圖像（電路圖形）復(fù)制，從而...

"在微納加工世界，灰塵就是‘導(dǎo)彈’，頭發(fā)絲就是‘火箭’，平時我們不在意的小細(xì)節(jié)都會對芯片的精度產(chǎn)生重大影響！”微納加工平臺算得上是世上**干凈的實驗室了，做微納加工工藝的工程師們，在進(jìn)入潔凈室前，首先要在更衣室里更換凈化服，還需佩戴頭套、口罩和手套。再經(jīng)過風(fēng)淋間...

目前可以實現(xiàn)表面微納結(jié)構(gòu)的加工方法主要有以下幾種。 （1）光刻技術(shù)，利用電子束或激光光束可以得到加工尺寸在幾十納米的微納結(jié)構(gòu)，該方法優(yōu)勢在于精度高，得到的微納結(jié)構(gòu)形狀可以得到很好的控制； （2）飛秒激光加工技術(shù)，由于飛秒激光具有不受衍射極限限制的特點，可以加工...

掩膜版，又稱光罩、光掩膜、光刻掩膜版、掩模版等，是下***業(yè)產(chǎn)品制造過程中的圖形“底片”轉(zhuǎn)移用的高精密工具，是承載圖形設(shè)計和工藝技術(shù)等知識產(chǎn)權(quán)信息的載體。通俗點理解，掩膜版的功能類似于傳統(tǒng)照相機(jī)的“底片”。 掩膜版主要用于下游電子元器件制造業(yè)的批量生產(chǎn)，是下*...

微納尺度顆粒(細(xì)胞、細(xì)菌、合成顆粒、囊泡、生物大分子等)的精確操控在生物、醫(yī)學(xué)、材料和環(huán)境等領(lǐng)域有著至關(guān)重要的應(yīng)用。以循環(huán)腫瘤細(xì)胞和外泌體為**的稀有生物顆粒的富集與分離，一直是制約臨床與基礎(chǔ)醫(yī)學(xué)研究的技術(shù)瓶頸。這些生物顆粒在血液樣品中的含量極小，因此要求分離...