微納加工制造與測試技術作為我國從制造大國走向制造強國戰(zhàn)略的重要前沿交叉關鍵技術，對制造工業(yè)、產(chǎn)業(yè)轉型升級以及社會經(jīng)濟發(fā)展都具有重要意義，***高度重視先進傳感器技術的研究。MEMS傳感器研究要站在戰(zhàn)略的高度，重點關注其顛覆性技術和關鍵**技術的突破；微納制造技...

納米工藝加工平臺的工藝能力涵蓋光刻、氧化擴散、濕法清洗與刻蝕、物***相沉積、化學氣相沉積及干法刻蝕、結構與器件特性表征等全微納加工工藝鏈，同時具備**技術的電子束光刻、聚焦離子束沉積與加工、深硅刻蝕等工藝能力。 有時候加工平臺一年會有一次開放日，有幸走進潔凈...

微流控的優(yōu)點： 芯片設計多流道、多個反應單元的相互隔離，使各個反應互不干擾。 　　檢測試劑消耗少，樣本量需求少 　　微流控芯片反應單元腔體特別小，試劑使用量遠遠低于常規(guī)操作。 　　污染少 　　芯片集成功能避免了人工操作的污染。 　　微流控技術將持續(xù)推動生命分析...

聚酰亞胺(Polyimides簡稱PI)是一大類主鏈上含有酞酰亞胺或丁二酰亞胺環(huán)的耐高溫聚合物，通常由二酐或二胺合成。目前是已經(jīng)工業(yè)化的聚合物中使用溫度比較高的材料之一，其分解溫度達到550~600℃，長期使用溫度可達到200~380℃。此外還具有優(yōu)良的尺寸和...

掩膜版的種類 透明基板 1、透明玻璃 。石英玻璃（Quartz Glass）蘇打玻璃（Soda-lime Glass）低膨脹玻璃（Low Expansion Glass） 2、透明樹脂 遮光膜 （1）硬質(zhì)遮光膜：鉻膜氧化鐵硅化鉬硅。 （2）乳膠。 掩膜版的制作...

納米工藝加工平臺的工藝能力涵蓋光刻、氧化擴散、濕法清洗與刻蝕、物***相沉積、化學氣相沉積及干法刻蝕、結構與器件特性表征等全微納加工工藝鏈，同時具備**技術的電子束光刻、聚焦離子束沉積與加工、深硅刻蝕等工藝能力。 有時候加工平臺一年會有一次開放日，有幸走進潔凈...

目前可以實現(xiàn)表面微納結構的加工方法主要有以下幾種。 （1）光刻技術，利用電子束或激光光束可以得到加工尺寸在幾十納米的微納結構，該方法優(yōu)勢在于精度高，得到的微納結構形狀可以得到很好的控制； （2）飛秒激光加工技術，由于飛秒激光具有不受衍射極限限制的特點，可以加工...

國內(nèi)目前大約有50家規(guī)模大小不等的PI薄膜制造廠商，其中約80%采用流延工藝制造，*有少量廠商采用雙軸定向工藝制造。在我國高性能聚酰亞胺薄膜流延法及浸漬法工藝均較為成熟，其中浸漬法由于產(chǎn)品絕緣性能較差，正逐漸被淘汰。而技術難度較高的噴涂法、擠出法以及沉積法目前...

"在微納加工世界，灰塵就是‘導彈’，頭發(fā)絲就是‘火箭’，平時我們不在意的小細節(jié)都會對芯片的精度產(chǎn)生重大影響！”微納加工平臺算得上是世上**干凈的實驗室了，做微納加工工藝的工程師們，在進入潔凈室前，首先要在更衣室里更換凈化服，還需佩戴頭套、口罩和手套。再經(jīng)過風淋間...

微納加工制造與測試技術作為我國從制造大國走向制造強國戰(zhàn)略的重要前沿交叉關鍵技術，對制造工業(yè)、產(chǎn)業(yè)轉型升級以及社會經(jīng)濟發(fā)展都具有重要意義，***高度重視先進傳感器技術的研究。MEMS傳感器研究要站在戰(zhàn)略的高度，重點關注其顛覆性技術和關鍵**技術的突破；微納制造技...

原位芯片掌握先進的光刻技術，為企業(yè)提供光刻代加工服務。電子束曝光技術簡稱“光刻”，是當前**常用的微納加工方案，充當模板的是“光刻膠”。理論上光刻的精度可以達到1納米，但是實際情況下很難，儀器輕微的振動、外界磁場的干擾、操作人員的經(jīng)驗都會影響**終結果?！澳壳半娮?..

微納尺度顆粒(細胞、細菌、合成顆粒、囊泡、生物大分子等)的精確操控在生物、醫(yī)學、材料和環(huán)境等領域有著至關重要的應用。以循環(huán)腫瘤細胞和外泌體為**的稀有生物顆粒的富集與分離，一直是制約臨床與基礎醫(yī)學研究的技術瓶頸。這些生物顆粒在血液樣品中的含量極小，因此要求分離...

"在微納加工世界，灰塵就是‘導彈’，頭發(fā)絲就是‘火箭’，平時我們不在意的小細節(jié)都會對芯片的精度產(chǎn)生重大影響！”微納加工平臺算得上是世上**干凈的實驗室了，做微納加工工藝的工程師們，在進入潔凈室前，首先要在更衣室里更換凈化服，還需佩戴頭套、口罩和手套。再經(jīng)過風淋間...

光掩膜版行業(yè)的發(fā)展主要受下游平板顯示行業(yè)、觸控行業(yè)、半導體行業(yè)和電路板行業(yè)的影響，與下游終端行業(yè)的發(fā)展趨勢密切相關。 在光刻掩膜版領域，國內(nèi)廠商與國外先進技術存在一定差距。目前，光罩的**技術主要掌握在日本的HOYA、SKE，韓國的LG Micron、PKL...

作為一種新興的科學技術，微流控器件研究已經(jīng)涉及化學、生物學、工程學和物理學等諸多領域，學科交叉性強，在時間、空間和分析對象的精密操控上進行突破，能夠解決生命分析的許多關鍵問題。作為芯片實驗室(Lab on chip)的典型**技術，微流控技術發(fā)展迅速，目前已經(jīng)...

光刻掩膜版的工藝過程： 1） 繪制生成設備可以識別的掩膜版版圖文件（GDS格式） 2） 使用無掩模光刻機讀取版圖文件，對帶膠的空白掩膜版進行非接觸式曝光（曝光波長405nm），照射掩膜版上所需圖形區(qū)域，使該區(qū)域的光刻膠（通常為正膠）發(fā)生光化學反應 3） 經(jīng)過顯...

光掩膜版行業(yè)的發(fā)展主要受下游平板顯示行業(yè)、觸控行業(yè)、半導體行業(yè)和電路板行業(yè)的影響，與下游終端行業(yè)的發(fā)展趨勢密切相關。 在光刻掩膜版領域，國內(nèi)廠商與國外先進技術存在一定差距。目前，光罩的**技術主要掌握在日本的HOYA、SKE，韓國的LG Micron、PKL...

微納尺度顆粒(細胞、細菌、合成顆粒、囊泡、生物大分子等)的精確操控在生物、醫(yī)學、材料和環(huán)境等領域有著至關重要的應用。以循環(huán)腫瘤細胞和外泌體為**的稀有生物顆粒的富集與分離，一直是制約臨床與基礎醫(yī)學研究的技術瓶頸。這些生物顆粒在血液樣品中的含量極小，因此要求分離...

微流控芯片技術是個多學科交叉大融合的技術，物理、材料、食品、化學、生物、醫(yī)療等多領域的**均為微流控芯片技術做出了很多貢獻，可謂萬花齊放，一起讓微流控芯片領域生機勃勃。微流控芯片技術也在不斷發(fā)展過程中逐漸成長壯大，并作為快速發(fā)展的顛覆性技術之一被寫入“十三五”...

納米光刻技術是一種精確的圖案化技術，用于生物傳感器和先進材料的功能納米結構的制造，并在太陽能電池、印刷電子、LED和MEMS等領域有廣泛應用。由于大多數(shù)光刻圖案具有3D結構，因此表征技術必須提供3D測量的能力。Tosca?400 AFM利用尖銳探針掃描樣品表面...

掩膜版的原材料掩膜版基板是制作微細光掩膜圖形的感光空白板。通過光刻制版工藝，將微米級和納米級的精細圖案刻制于掩膜版基板上從而制作成掩膜版。 掩膜版對下***業(yè)生產(chǎn)線的作用主要體現(xiàn)為利用掩膜版上已設計好的圖案，通過透光與非透光的方式進行圖像（電路圖形）復制，從而...

微流控技術實際應用 　　從市場應用來看，目前還只是集中在生物、醫(yī)藥等領域，其他更多還處于科研探索階段。 　　體外診斷(IVD) 　　從目前的應用來看，體外診斷是微流控技術的比較大應用場景。而體外診斷中，微流控技術的重點應用在于化學發(fā)光(免疫診斷)和分子診斷中。...

納米光刻技術是一種精確的圖案化技術，用于生物傳感器和先進材料的功能納米結構的制造，并在太陽能電池、印刷電子、LED和MEMS等領域有廣泛應用。由于大多數(shù)光刻圖案具有3D結構，因此表征技術必須提供3D測量的能力。Tosca?400 AFM利用尖銳探針掃描樣品表面...

芯片集成的單元部件越來越多，且集成的規(guī)模也越來越大，微流控芯片有著強大的集成性。同時可以大量平行處理樣品，具有高通量的特點，分析速度快、耗低，物耗少，污染小，分析樣品所需要的試劑量*幾微升至幾十個微升，被分析的物質(zhì)的體積甚至在納升級或皮升級。廉價，安全，因...

電子束曝光技術簡稱“光刻”，是當前**常用的微納加工方案，充當模板的是“光刻膠”。理論上光刻的精度可以達到1納米，但是實際情況下很難，儀器輕微的振動、外界磁場的干擾、操作人員的經(jīng)驗都會影響**終結果。 目前電子束曝光的精度大約在60-80納米左右，相當于人頭發(fā)絲的...

激光微納加工制造是微納制造技術的重要部分。激光微納制造是通過激光與材料相互作用，改變材料的物態(tài)和性質(zhì)，實現(xiàn)微米至納米尺度或跨尺度的控形與控性。由于激光微納制造在能量密度、作用的空間和時間尺度、制造體吸收能量的可控尺度都可分別趨于極端，而使制造過程所利用的物理效...

PI膜的未來發(fā)展 未來高性能PI薄膜子柔性有機薄膜太陽能電池和新一代柔性LCD和OLED顯示器產(chǎn)業(yè)以及鋰電池等新型動力儲電池技術產(chǎn)業(yè)均有廣闊的發(fā)展需求，PI薄膜的研究主要向高性能化、多功能化、易成型加工和低成本等方向發(fā)展，同時在差別化和特殊應用的高性能PI薄...

PI的制造工藝 消泡后的聚酰胺酸溶液，由不銹鋼溶液儲罐經(jīng)管路壓入前機頭上的流涎嘴儲槽中。鋼帶以圖所示方向勻速運行，將儲槽中的溶液經(jīng)流涎嘴前刮板帶走，而形成厚度均勻的液膜，然后進入烘干道干燥。 潔凈干燥的空氣由鼓風機送入加熱器預熱到一定溫度后進入上、下烘干道。熱...

光掩膜版行業(yè)的發(fā)展主要受下游平板顯示行業(yè)、觸控行業(yè)、半導體行業(yè)和電路板行業(yè)的影響，與下游終端行業(yè)的發(fā)展趨勢密切相關。 在光刻掩膜版領域，國內(nèi)廠商與國外先進技術存在一定差距。目前，光罩的**技術主要掌握在日本的HOYA、SKE，韓國的LG Micron、PKL...

微流控的優(yōu)點： 芯片設計多流道、多個反應單元的相互隔離，使各個反應互不干擾。 　　檢測試劑消耗少，樣本量需求少 　　微流控芯片反應單元腔體特別小，試劑使用量遠遠低于常規(guī)操作。 　　污染少 　　芯片集成功能避免了人工操作的污染。 　　微流控技術將持續(xù)推動生命分析...