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來源: 發(fā)布時(shí)間:2021-05-05

高純金屬的純度分析原則:高純金屬材料的純度一般用減量法衡量。減量計(jì)算的雜質(zhì)元素主要是金屬雜質(zhì),不包括C,O,N,H等間隙元素,但是間隙元素的含量也是重要的衡量指標(biāo),一般單獨(dú)提出。依應(yīng)用背景的不同,要求進(jìn)行分析的雜質(zhì)元素種類少則十幾種,多則70多種。簡單的說高純金屬是幾個(gè)N(九)并不能真正的表達(dá)其純度,只有提供雜質(zhì)元素和間隙元素的種類及其含量才能明確表達(dá)高純金屬的純度水平。高純金屬的純度檢測(cè)應(yīng)以實(shí)際應(yīng)用需要作為主要標(biāo)準(zhǔn),例如目前工業(yè)電解鈷的純度一般接99.99%,而且檢測(cè)的雜質(zhì)元素種類較少。我國電解鈷的有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)(YS/T25522000)要求分析C,S,Mn,Fe,Ni,Cu,As,Pb,Zn,Si,Cd,Mg,P,Al,Sn,Sb,Bi等17個(gè)雜質(zhì)元素,Co9998電解鈷的雜質(zhì)總量不超過0.02,但這仍然不能滿足功能薄膜材料材料的要求[2]。磁控濺射金屬靶時(shí),無法起輝的原因有很多,常見主要原因。上海鋁酸鑭靶圖片

而射頻濺射的使用范圍更為***,除可濺射導(dǎo)電材料外,也可濺射非導(dǎo)電的材料,同時(shí)還司進(jìn)行反應(yīng)濺射制備氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。濺射靶材射頻的頻率提高后就成為微波等離子體濺射,目前常用的有電子回旋共振(ECR)型微波等離子體濺射。三.真空鍍膜中靶材中毒會(huì)出現(xiàn)哪些想象,如何解決?1、靶面金屬化合物的形成。由金屬靶面通過反應(yīng)濺射工藝形成化合物的過程中,化合物是在哪里形成的呢?由于活性反應(yīng)氣體粒子與靶面原子相碰撞產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)生成化合物原子,通常是放熱反應(yīng),反應(yīng)生成熱必須有傳導(dǎo)出去的途徑,否則,該化學(xué)反應(yīng)無法繼續(xù)進(jìn)行。在真空條件下氣體之間不可能進(jìn)行熱傳導(dǎo),所以,化學(xué)反應(yīng)必須在一個(gè)固體表面進(jìn)行。反應(yīng)濺射生成物在靶表面、基片表面、和其他結(jié)構(gòu)表面進(jìn)行。上海氧化釔鋯靶廠家濺射靶材安裝過程中**重要的注意事項(xiàng)是一定要確保在靶材和濺射冷卻壁之間建立很好的導(dǎo)熱連接。

陶瓷靶材ITO靶、氧化鎂靶、氧化鐵靶、濺射靶材氮化硅靶、碳化硅靶、氮化鈦靶、氧化鉻靶、氧化鋅靶、硫化鋅靶、二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化鈰靶、二氧化鋯靶、五氧化二鈮靶、二氧化鈦靶、二氧化鋯靶,、二氧化鉿靶,二硼化鈦靶,二硼化鋯靶,三氧化鎢靶,三氧化二鋁靶五氧化二鉭,五氧化二鈮靶、氟化鎂靶、氟化釔靶、硒化鋅靶、氮化鋁靶,氮化硅靶,氮化硼靶,氮化鈦靶,碳化硅靶,鈮酸鋰靶、鈦酸鐠靶、鈦酸鋇靶、鈦酸鑭靶、氧化鎳靶、濺射靶材等。


  磁控靶材面積與承載功率范圍 1、靶材面積與承載功率范圍   (1) 圓形平面磁控靶功率密度范圍一般為1~25瓦/cm2。   (2)矩形平面磁控靶功率密度范圍一般為1~36瓦/cm2。   (3)柱狀磁控靶、錐形平面磁控靶功率密度范圍一般為40~50瓦/cm2。 2、磁控靶實(shí)際承載功率   磁控靶的實(shí)際的承載功率除了與濺射工藝、薄膜的質(zhì)量要求等因數(shù)有關(guān)外,主要與靶的冷卻狀況和散熱條件密切相關(guān)。磁控靶按其冷卻散熱方式的不同,分為“靶材直接水冷卻”和“靶材間接水冷卻”兩種。   考慮到濺射靶長期使用老化后,其散熱條件變差;兼顧各種不同靶材材質(zhì)的散熱系數(shù)的不同,磁控靶的使用時(shí)的承載功率,直接水冷卻靶實(shí)際的承載大功率可按略小于功率密度范圍的上限選取;間接水冷卻靶的實(shí)際承載大功率可按功率密度范圍上限值的二分之一左右選取。   磁控靶材(主要是Cu,Ag,黃銅(Brass)和Al青銅(Al bronze) “自濺射”時(shí),一般是選用經(jīng)過專門設(shè)計(jì)“靶材直接水冷卻”的磁控濺射靶。其使用時(shí)的承載功率,均需大于靶功率密度范圍的上限值(即>100W/cm2以上)。由于活性反應(yīng)氣體粒子與靶面原子相碰撞產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)生成化合物原子。

直流磁控濺射制備鋅-銻熱電薄膜的技術(shù)探討 熱電材料是一種能夠?qū)崿F(xiàn)熱能和電能直接相互轉(zhuǎn)換的綠色環(huán)保型功能材料。近年來研究發(fā)現(xiàn),熱電薄膜化有助于熱電材料減低熱導(dǎo)率,從而能夠有效的提高材料的熱電轉(zhuǎn)換效率,因此具有十分重要的科學(xué)研究價(jià)值。Zn-Sb合金是采用的P 型熱電半導(dǎo)體材料之一,但由于其較低的熱電優(yōu)值,所以沒有得到普遍的應(yīng)用。   但近幾年研究發(fā)現(xiàn),在263 K~767K 溫度區(qū)間穩(wěn)定存在的β-Zn4Sb3 具有非常優(yōu)異的熱電性能,材料少含稀土材料以及可適用于中溫,被國內(nèi)外認(rèn)為是具有前景的中溫?zé)犭姴牧现?。因此,本文選取純度為99.99%的Zn 和Sb 金屬靶作為靶材,采用直流磁控共濺射技術(shù),制備Zn-Sb 合金熱電薄膜,研究不同熱處理?xiàng)l件下合成的Zn-Sb 化合物熱電薄膜的結(jié)構(gòu)與熱電特性變化規(guī)律。   結(jié)果表明,選取適當(dāng)?shù)臑R射Zn和Sb的功率條件,濺射完成合金薄膜后在Ar 氣氛下進(jìn)行623 K 退火熱處理,可形成具有單一β-Zn4Sb3相結(jié)構(gòu)的Zn-Sb 熱電薄膜,且薄膜顆粒大,較致密,所制備的熱電薄膜具有優(yōu)良的熱電性能。再用手轉(zhuǎn)緊對(duì)角線上的另外一顆鏍栓,如此重復(fù)直到安裝上所有鏍栓后,再用工具收緊。上海氧化釔鋯靶廠家

靶中毒的解決辦法:控制鍍膜模式的變換:在鍍膜前,采集靶中毒的遲滯效應(yīng)曲線。上海鋁酸鑭靶圖片

塊狀金屬鈀能吸收大量氫氣,使體積脹大,變脆乃至破裂成碎片?;瘜W(xué)性質(zhì)不活潑,常溫下在空氣和潮濕環(huán)境中穩(wěn)定,加熱至 800℃,鈀表面形成一氧化鈀薄膜。 二、主要產(chǎn)品: 1、鈀 顆粒 99.99% 常規(guī)尺寸:φ3*6mm;量大可定做 2、鈀 靶材 99.99%?  常規(guī)尺寸:φ50*1mm;φ60*3mm;φ76.2*4mm等,尺寸可定做 3、電鏡鈀片常規(guī)尺寸:φ57*0.1mm *0.2mm 4、鈀 箔片 99.9 2mm等,尺寸可定做 二、其他 : 打穿的鈀靶材、鈀殘料可提供回收再加工 。 回收流程如下: 稱重----清洗、提純---熔煉加工---靶材等成品 高純靶,靶靶材鈀顆粒,鈀粉,鈀靶材 產(chǎn)品編碼 產(chǎn)品名稱 規(guī)格 應(yīng)用 Sc-I4006 鈧 x 真空熔煉 Li-G30610 鋰 顆粒 99.9% φ6*10mm 真空熔煉 Sr-I2011 鍶 塊狀 99% 氮?dú)獍b 真空熔煉 Mg-G3514 鎂 顆粒 99.93% 4mm類球形 真空熔煉 Mg-I3503 鎂 塊狀 99.95%  200g/塊 真空熔煉 Fe-G3533 鐵 顆粒 99.95% φ3*3mm 真空熔煉 Cr-G3501 mm 真空熔煉 Al-G4066 鋁 顆粒 99.99% φ6*6mm 真空熔煉 Cu-G5033 銅 顆粒 99.999% φ3*3mm 真空熔煉 Cu-G3533 銅 顆粒 99.95% φ3*3mm 真空熔煉 Ti-G3033 鈦 顆粒 99.9% φ3*3mm 真空熔煉 Ni-G3025 鎳 顆粒 99.9% φ2*5mm 真空熔煉 V-G3015 釩 顆粒 99.9% 樹枝狀


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江陰典譽(yù)新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進(jìn)技術(shù),并通過與國內(nèi)外**研發(fā)機(jī)構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢(shì),生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽(yù)新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時(shí)也為國內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗(yàn)用靶材。 江陰典譽(yù)目前擁有真空熱壓爐兩臺(tái),冷壓燒結(jié)爐一臺(tái),真空熔煉設(shè)備兩臺(tái),等靜壓設(shè)備一臺(tái),等離子噴涂兩套,綁定平臺(tái)兩套,各類機(jī)加工設(shè)備七臺(tái),檢驗(yàn)設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達(dá)到甚至超過客戶的預(yù)期。 江陰典譽(yù)秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。

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