任何本領(lǐng)域技術(shù)人員,在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi),均可作各種更動與修改,因此本發(fā)明的保護范圍應(yīng)當以權(quán)利要求所限定的范圍為準。本發(fā)明涉及靶材領(lǐng)域,具體涉及一種長壽命靶材組件。背景技術(shù):目前,現(xiàn)有的半導體濺射用ilc1013系列靶材的濺射壽命已經(jīng)到了一個極限,為提高靶材的使用壽命,節(jié)省多次更換靶材的重復(fù)性?,F(xiàn)有的技術(shù)都是通過磁場強度,把靶材表面設(shè)計成曲面來延長壽命,公開了一種靶材,包括靶材本體及基體,所述基體的至少一面設(shè)有所述靶材本體,所述靶材本體是由高純度靶材合金粉末通過等離子弧噴涂機噴涂熔焊在所述基體上。所述基體與所述靶材本體的結(jié)合面為呈內(nèi)凹的圓弧面。所述基體為矩形體或圓形。所述靶材的制造...
真空離子鍍的耐腐蝕性: 金屬零件是要銹蝕的,但如果零件上鍍有一層防蝕鍍層,就能防止零件生銹。由于離子鍍所獲得的鍍層致密度高,少,耐腐蝕性能好,并能沉積許多其他工藝至今不能沉積的優(yōu)良防腐蝕鍍層。因此,離子鍍目前在鍍防腐蝕材料方面應(yīng)用廣。如水上飛機的壁板及其他外表零件,可用此法鍍復(fù)防止鹽霧和海水腐蝕的防蝕鍍層;與鋁合金零件相配合的其他材料零件也可用此法鍍鋁,以防止電位差腐蝕。此外,隨著飛機飛行速度和高度的提高以及宇宙探索的進展,鈦合金的應(yīng)用越來越多,如果仍象鋁合金零件那樣采用鍍鎘防腐蝕,使用中就有鎘脆的危險;但如若鍍以三氧化二鋁,則能完全滿足要求。不過電鍍等工藝是無法鍍這種材料的。離子鍍卻能...
磁控靶材面積與承載功率范圍 1、靶材面積與承載功率范圍 (1) 圓形平面磁控靶功率密度范圍一般為1~25瓦/cm2。 (2)矩形平面磁控靶功率密度范圍一般為1~36瓦/cm2。 (3)柱狀磁控靶、錐形平面磁控靶功率密度范圍一般為40~50瓦/cm2。 2、磁控靶實際承載功率 磁控靶的實際的承載功率除了與濺射工藝、薄膜的質(zhì)量要求等因數(shù)有關(guān)外,主要與靶的冷卻狀況和散熱條件密切相關(guān)。磁控靶按其冷卻散熱方式的不同,分為“靶材直接水冷卻”和“靶材間接水冷卻”兩種。 考慮到濺射靶長期使用老化后,其散熱條件變差;兼顧各種不同靶材材質(zhì)的散熱系數(shù)的不同,磁控靶的使用時的承載功率,直接水冷...
真空離子鍍耐高溫性能: 航空零件,特別是許多發(fā)動機零件往往需要在高溫下工作。例如渦輪葉片及導向葉片工作溫度通常在攝氏一千度左右,有的甚至達攝氏一千四百度。神話小說《西游記》里孫悟空被太上老君放在爐內(nèi)燒煉時,恐怕也達不到這么高的溫度吧。現(xiàn)代航空發(fā)動機零件在這樣高的溫度下工作,依賴零件基體材料本身的性能是很難滿足要求的。那么,發(fā)動機零件怎樣才能不怕高溫燒蝕呢?目前除在零件結(jié)構(gòu)上采取措施(如采用空心冷卻葉片、發(fā)散冷卻葉片等)以外,大都需用耐熱鍍層進行保護。離子鍍對于沉積耐熱膜有相當多的優(yōu)點,能鍍各種高熔點材料,如氧化鋁、氧化硅、氧化鈹、鉿合金等。合金鍍層的成份也比較容易控制,適合于鍍成分較復(fù)雜的...
所述靶材600具有十二條側(cè)棱601,各條側(cè)棱601均經(jīng)過圓角處理。在圓角處理前,所述靶材600的側(cè)棱601位置較為銳利。如果使用側(cè)棱未經(jīng)圓角處理的靶材600進行濺射鍍膜,在濺射鍍膜工藝過程中,所述靶材600的側(cè)棱601位置容易發(fā)生前列放電的現(xiàn)象,導致鍍膜的均勻性差,影響鍍膜質(zhì)量。圓角處理使得靶材側(cè)棱601鈍化,有助于防止前列放電現(xiàn)象的發(fā)生。利用所述靶材拋光裝置100對所述靶材600進行拋光時,將所述靶材拋光裝置100放置于所述靶材600上,使所述拋光片第二部分320表面與所述靶材600的側(cè)棱601表面相貼合,并使所述拋光片部分310表面與所述靶材濺射面610相貼合,且所述拋光片第三部分33...
鈀,是銀白色過渡金屬,較軟,有良好的延展性和可塑性,能鍛造、壓延和拉絲。塊狀金屬鈀能吸收大量氫氣,使體積***脹大,變脆乃至破裂成碎片。 原 子 量:106.4 密 度(20℃)/g?cm-3:12.02 熔 點/℃:1552 蒸發(fā)溫度/℃:1460 沸 點/℃:3140 汽化溫度/℃:1317 比 熱 容(25℃)J?(g?K)-1:0.2443 電 阻 率(0℃)/uΩ?cm:10.6 熔 化 熱/kJ?mol-1:16.7 汽 化 熱/ kJ?mol-1:361.7 熱 導 率(0~100℃)/J?(cm?s?℃)-1:0.753 電阻溫度系數(shù)(0~100℃)/℃-1:0.00...
氣體壓強對靶濺射電壓的影響 在磁控濺射或反應(yīng)磁控濺射鍍膜的工藝過程中,工作氣體或反應(yīng)氣體壓強對磁控靶濺射電壓能夠造成一定的影響。 1.工作氣體壓強對靶濺射電壓的影響 一般的規(guī)律是:在真空設(shè)備環(huán)境條件確定和靶電源的控制面板設(shè)置參數(shù)不變時,隨著工作氣體(如氬氣)壓強(0.1~10Pa)的逐步增加,氣體放電等離子體的密度也會同步增加,致使等離子體等效阻抗減小,磁控靶的濺射電流會逐步上升,濺射工作電壓亦會同步下降。 2. 反應(yīng)氣體壓強對靶濺射電壓的影響 在反應(yīng)磁控濺射鍍膜的工藝過程中,在真空設(shè)備環(huán)境條件確定和靶電源的控制面板設(shè)置參數(shù)不變時,隨著反應(yīng)氣體(如氮氣、氧氣)壓強(或流量)...
玫瑰金靶材有哪些? PVD玫瑰金是靠濺射玫瑰金靶形成的,不同的玫瑰金靶配方顏色上有一些區(qū)別,大概分為以下幾種: 1、皇冠金(crown gold),黃金含量在22K(91.667%),由英國亨利八世(1526年)將此比例的黃金用于金幣的鑄造 2、常見的也是典型的18K玫瑰金,黃金含量也在18K(75%),但其它另含有約4%的銀和21%的銅,呈現(xiàn)美麗的淡粉玫瑰色 3、14K紅金,黃金含量在14K(58.33%),其它添加金屬為銅(41.67%)。 有的PVD鍍膜廠玫瑰金靶也有添加一些其它的稀有元素,用來達到不同的色調(diào)或用來改變鍍層的性能,這也是市面上每一家PVD廠鍍出的色調(diào)都有一些差異的原因...
釬焊:一般使用軟釬料的情況下,要求濺射功率小于20W/cm2,釬料常用In、Sn、In-Sn;導電膠:采用的導電膠要耐高溫,厚度在0.02-0.05um。二.綁定的適用范圍:建議綁定的靶材:ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及燒結(jié)靶材;錫、銦等軟金屬靶;靶材太薄、靶材太貴的情況等。但下列情況綁定有弊端:1.熔點低的靶材,像銦、硒等,金屬化的時候可能會變軟變形;2.貴金屬靶材,一是實際重量易出現(xiàn)分歧,二是金屬化以及解綁的時候都會有浪費料,建議墊一片銅片。三.背靶的選擇對材質(zhì)的要求:一般選用無氧銅和鉬靶,厚度在3mm左右;導電性好:常用無氧銅,無氧銅的導熱性比紫銅好;強度足夠:太薄,易變形,不易真空密...
本實施例提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.95mm;所述靶材表面的硬度為23hv;其中,所述靶材的比較大厚度為27mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu);所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為3°;所述斜面位于所述平面和第二平面之間;所述平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質(zhì)包括鉭;所述背板的材質(zhì)包括鋁。所得靶材組件濺射強度好,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。實施例7本實施例提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.75mm...
拋光片300包括拋光片部分310、拋光片第二部分320及拋光片第三部分330。所述拋光片部分310設(shè)置于所述頂板210的底部。所述拋光片第二部分320設(shè)置于所述頂板210與所述側(cè)板220的拐角處,且在所述拋光片部分310及拋光片第三部分330間平滑的過渡。所述拋光片第三部分330設(shè)置于所述側(cè)板220的內(nèi)側(cè)面上,所述拋光片第三部分330表面與拋光片部分310表面垂直。拋光片第二部分320呈弧狀,與經(jīng)圓角處理的靶材側(cè)棱相匹配,可對靶材側(cè)棱進行拋光。所述拋光片第三部分330表面為平整的平面,能夠?qū)Π胁膫?cè)壁表面進行拋光。因此所述靶材拋光裝置100能夠同時對靶材側(cè)壁表面及經(jīng)圓角處理的側(cè)棱進行拋光,有...
本發(fā)明涉及半導體制造技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種靶材拋光裝置。背景技術(shù):濺射鍍膜屬于物相沉積方法制備薄膜的工藝之一,具體是指利用高能粒子轟擊靶材表面,使得靶材原子或分子獲得足夠的能量逸出,并沉積在基材或工件表面,從而形成薄膜。由于背板具有良好的導電導熱性能,且還可以起到固定支撐作用,因此,靶材在鍍膜前需與背板焊接在一起,然后共同裝配至濺射基臺。一般活性金屬靶材,例如鋁靶材,由于長期暴露在空氣中,靶材表面材料容易氧化形成一層氧化皮。在直流脈沖、中頻濺射過程中,離子撞擊的能量不足以破壞該氧化皮,導致靶材原子或分子難以逸出,因此在將靶材安裝至濺射基臺之前,需要對靶材表面進行拋光。此外,對于活性金屬靶材及非...
3D玻璃漸變色的應(yīng)用 3D玻璃漸變色主要應(yīng)用于3C產(chǎn)品,特別是手機領(lǐng)域。隨著雙玻璃加金屬邊框的盛行,3D后蓋裝飾工藝需要不斷革新?,F(xiàn)有的裝飾工藝主要是在裝飾防爆膜上進行鍍膜絲印,再與3D玻璃貼合實現(xiàn)裝飾效果,外觀裝飾主要還是防爆膜紋理和鍍膜顏色搭配實現(xiàn)。漸變色效果可以通過多種途徑實現(xiàn),包括:印刷、轉(zhuǎn)印、真空鍍膜、噴涂等。由于技術(shù)的瓶頸問題,現(xiàn)在量產(chǎn)的3D玻璃漸變主要有印刷和真空鍍膜兩種途徑。 漸變效果可大致分為同色漸變、鄰近色漸變、對比色漸變。漸變顏色的選擇對于印刷工藝的限制會小一些,選擇范圍更加寬。印刷工藝可以選擇對應(yīng)顏色及對應(yīng)顏色帶范圍進行印刷,能夠?qū)崿F(xiàn)較為多元化的色彩沖撞效果,滿足設(shè)...
3D玻璃漸變色的應(yīng)用 3D玻璃漸變色主要應(yīng)用于3C產(chǎn)品,特別是手機領(lǐng)域。隨著雙玻璃加金屬邊框的盛行,3D后蓋裝飾工藝需要不斷革新?,F(xiàn)有的裝飾工藝主要是在裝飾防爆膜上進行鍍膜絲印,再與3D玻璃貼合實現(xiàn)裝飾效果,外觀裝飾主要還是防爆膜紋理和鍍膜顏色搭配實現(xiàn)。漸變色效果可以通過多種途徑實現(xiàn),包括:印刷、轉(zhuǎn)印、真空鍍膜、噴涂等。由于技術(shù)的瓶頸問題,現(xiàn)在量產(chǎn)的3D玻璃漸變主要有印刷和真空鍍膜兩種途徑。 漸變效果可大致分為同色漸變、鄰近色漸變、對比色漸變。漸變顏色的選擇對于印刷工藝的限制會小一些,選擇范圍更加寬。印刷工藝可以選擇對應(yīng)顏色及對應(yīng)顏色帶范圍進行印刷,能夠?qū)崿F(xiàn)較為多元化的色彩沖撞效果,滿足設(shè)...
靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.75-6mm,例如可以是5.75mm、5.76mm、5.77mm、5.78mm、5.79mm、5.8mm、5.81mm、5.82mm、5.83mm、5.84mm、5.85mm、5.86mm、5.87mm、5.88mm、5.89mm、5.9mm、5.91mm、5.92mm、5.93mm、5.94mm、5.95mm、5.96mm、5.97mm、5.98mm、5.99mm或6mm等,但不限于所列舉的數(shù)值,該范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用。本發(fā)明中,所述靶材表面的硬度為20-30hv,例如可以是20hv、21hv、22hv、23hv、24hv、25hv、26...
靶材的比較大厚度為25mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu);所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為5°;所述斜面位于所述平面和第二平面之間;所述平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質(zhì)包括鋁;所述背板的材質(zhì)包括鋁。所得靶材組件濺射強度好,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。實施例2提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為6mm;所述靶材表面的硬度為30hv;其中,所述靶材的比較大厚度為30mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu);所述靶材包括用于...
磁控濺射離子鍍 (1)在基體和工件上是否施加(直流或脈沖)負偏壓,利用負偏壓對離子的吸引和加速作用,是離子鍍與其它鍍膜類型的一個主要區(qū)別。蒸發(fā)鍍時基體和工件上加有負偏壓就是蒸發(fā)離子鍍 ;多弧鍍時基體和工件上加有負偏壓就是多弧離子鍍;磁控濺射時基體和工件上加有負偏壓就是磁控濺射離子鍍,這是磁控濺射離子鍍技術(shù)的一個重要特點。 (2)磁控濺射離子鍍是把磁控濺射和離子鍍結(jié)合起來的技術(shù)。在同一個真空腔體內(nèi)既可實現(xiàn)氬離子對磁控靶材的穩(wěn)定濺射,又實現(xiàn)了高能靶材離子在基片負偏壓作用下到達基片進行轟擊、濺射、注入及沉積作用過程。整個鍍膜過程都存在離子對基片和工件表面的轟擊,可有效基片和工件表面的氣體...
靶材600呈長方體狀,其頂部表面為靶材濺射面610,底部表面為靶材焊接面620,所述靶材焊接面620貼合于背板表面上,所述靶材600通過所述靶材焊接面620與背板焊接固定。所述靶材600具有四個側(cè)壁表面630。靶材600具有十二條側(cè)棱601,各條側(cè)棱601均經(jīng)過圓角處理。在圓角處理前,所述靶材600的側(cè)棱601位置較為銳利。如果使用側(cè)棱未經(jīng)圓角處理的靶材600進行濺射鍍膜,在濺射鍍膜工藝過程中,所述靶材600的側(cè)棱601位置容易發(fā)生前列放電的現(xiàn)象,導致鍍膜的均勻性差,影響鍍膜質(zhì)量。圓角處理使得靶材側(cè)棱601鈍化,有助于防止前列放電現(xiàn)象的發(fā)生。濺射過程不影響靶材合金、混合材質(zhì)的比例和性質(zhì)。山東Z...
什么是電致變色,它有哪些分類: 電致變色是指材料的光學屬性(反射率、透過率、吸收率等)在外加電場的作用下發(fā)生穩(wěn)定、可逆的顏色變化的現(xiàn)象,在外觀上表現(xiàn)為顏色和透明度的可逆變化。具有電致變色性能的材料稱為電致變色材料,用電致變色材料做成的器件稱為電致變色器件。 電致變色材料分類: 一、無機電致變色材料 無機電致變色材料的典型是三氧化鎢,目前,以WO3為功能材料的電致變色器件已經(jīng)產(chǎn)業(yè)化。 二、有機電致變色材料 有機電致變色材料主要有聚噻吩類及其衍生物、紫羅精類、四硫富瓦烯、金屬酞菁類化合物等。以紫羅精類為功能材料的電致變色材料已經(jīng)得到實際應(yīng)用。 而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)...
什么是真空鍍鋁膜,應(yīng)用在哪些領(lǐng)域? 真空鍍鋁薄膜是在薄膜基材的表面附著而形成復(fù)合薄膜的一種工藝,我國鍍鋁膜產(chǎn)能已達到40萬噸。主要用于風味食品、日用品、農(nóng)產(chǎn)品、藥品、化妝品的包裝。 真空鍍鋁薄膜是在高真空條件下,以電阻、高頻或電子束等加熱方式使鋁熔化蒸發(fā),在薄膜基材的表面附著而形成復(fù)合薄膜的一種工藝。在塑料薄膜或紙張表面鍍上一層極薄的金屬鋁即成為鍍鋁薄膜或鍍鋁紙。 用于包裝上的真空鍍鋁薄膜具有鋁材用量少、耐折疊性高、阻隔性能高、抗靜電等特點,使鍍鋁薄膜成為一種性能優(yōu)良、經(jīng)濟美觀的新型復(fù)合薄膜,在許多方面已取代了鋁箔復(fù)合材料。主要用于風味食品、日用品、農(nóng)產(chǎn)品、藥品、化妝品等的包裝。靶材綁定的定義...
作為本發(fā)明 的技術(shù)方案,所述靶材的材質(zhì)包括鋁、鉭、鈦或銅中的一種。作為本發(fā)明 的技術(shù)方案,所述背板的材質(zhì)包括銅和/或鋁。作為本發(fā)明 的技術(shù)方案,所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.75-6mm;所述靶材表面的硬度為20-30hv;其中,所述靶材的比較大厚度為20-30mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu);所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角≤10°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之間;所述***平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質(zhì)包括鋁、鉭、鈦或銅中的一種;所述背板的材質(zhì)包...
靶材的比較大厚度為30mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu);所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為8°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之間;所述***平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質(zhì)包括鈦;所述背板的材質(zhì)包括銅。所得靶材組件濺射強度好,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。本實施例提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.8mm;所述靶材表面的硬度為22hv;其中,所述靶材的比較大厚度為28mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形...
鈀,是銀白色過渡金屬,較軟,有良好的延展性和可塑性,能鍛造、壓延和拉絲。塊狀金屬鈀能吸收大量氫氣,使體積***脹大,變脆乃至破裂成碎片。 原 子 量:106.4 密 度(20℃)/g?cm-3:12.02 熔 點/℃:1552 蒸發(fā)溫度/℃:1460 沸 點/℃:3140 汽化溫度/℃:1317 比 熱 容(25℃)J?(g?K)-1:0.2443 電 阻 率(0℃)/uΩ?cm:10.6 熔 化 熱/kJ?mol-1:16.7 汽 化 熱/ kJ?mol-1:361.7 熱 導 率(0~100℃)/J?(cm?s?℃)-1:0.753 電阻溫度系數(shù)(0~100℃)/℃-1:0.00...
鋁鈧合金靶材(AlSc),尺寸按需求定制,比列按需求定制,含鈧比較高能做到AlSc45wt%,質(zhì)量優(yōu)異,雜質(zhì)含量低,歡迎新老客戶來電咨詢洽談。江陰典譽新材料科技有限公司生產(chǎn)的金屬鈧,品質(zhì)優(yōu)異,**全球。鋁鈧合金生產(chǎn)歷史悠久,擁有豐富的經(jīng)驗,目前推出的鋁鈧合金靶材已被微電子行業(yè)大型廠商采用。相關(guān)靶材清單如下:稀土合金靶材:鋁鈧AlSc;鈰釓CeGd;鈰鎂CeMg;鈰釤CeSm;鏑鈷DyCo;鏑鐵DyFe;釓銅GdCu;釓鐵GdFe;鈥銅HoCu;鑭鋁LaAl;鑭鎳LaNi;鋁釹AlNd;釹鐵NdFe;釹鐵硼NdFe;鎳鎂鈰NiMgCe;鎳鎂鐵鈰NiMgFeCe;鋱鏑鐵TbDyFe;鋱鐵TbFe;...
PVD顏色膜之玫瑰金 玫瑰金,單從她那浪漫的名字,就能引起人們無數(shù)美妙的聯(lián)想。在閃閃發(fā)光的黃金飾品與經(jīng)典高雅的鉑金飾品之后,色調(diào)柔和迷人的玫瑰金飾品漸成為時尚人士的“新寵”,以她特有的風格與文化,演繹出貴金屬飾品的又一片嶄新天地。通常玫瑰金由75%的黃金與其它合金組成(俗稱三色金)。 硬度較純金高,與傳統(tǒng)的黃金和鉑金相比,粉紅色的玫瑰金不但能使有色寶石的色彩更加濃重,還體現(xiàn)了金屬材質(zhì)的精致、細膩。其粉紅、玫瑰等暖色調(diào)給人們帶來溫暖與愉快;在款式上也是千姿百態(tài),有心形、欖尖形、橢圓形、梨形、祖母綠形。各種風格迥異的飾品,可謂璀璨耀眼,女性無論是著職業(yè)裝,還是晚禮服及吊帶裙,與之相配都顯出高雅...
靶材的比較大厚度為30mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu);所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為8°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之間;所述***平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質(zhì)包括鈦;所述背板的材質(zhì)包括銅。所得靶材組件濺射強度好,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。本實施例提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.8mm;所述靶材表面的硬度為22hv;其中,所述靶材的比較大厚度為28mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形...
釬焊:一般使用軟釬料的情況下,要求濺射功率小于20W/cm2,釬料常用In、Sn、In-Sn;導電膠:采用的導電膠要耐高溫,厚度在0.02-0.05um。二.綁定的適用范圍:建議綁定的靶材:ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及燒結(jié)靶材;錫、銦等軟金屬靶;靶材太薄、靶材太貴的情況等。但下列情況綁定有弊端:1.熔點低的靶材,像銦、硒等,金屬化的時候可能會變軟變形;2.貴金屬靶材,一是實際重量易出現(xiàn)分歧,二是金屬化以及解綁的時候都會有浪費料,建議墊一片銅片。三.背靶的選擇對材質(zhì)的要求:一般選用無氧銅和鉬靶,厚度在3mm左右;導電性好:常用無氧銅,無氧銅的導熱性比紫銅好;強度足夠:太薄,易變形,不易真空密...
其他服務(wù):打穿的鈀靶材、鈀殘料可提供回收再加工服務(wù)?;厥樟鞒倘缦?稱重----清洗、提純---熔煉加工---靶材等成品江陰典譽新材料科技有限公司,是專業(yè)從事鍍膜材料、合金制備等相關(guān)材料研發(fā)、銷售、服務(wù)為一體的全球化高科技綜合性公司。以業(yè)內(nèi) 企業(yè)為支撐,整合技術(shù)資源,擁有自主進出口經(jīng)營權(quán)和成熟的運營管理團隊,科學化管理運營,為公司向化、高新化發(fā)展奠定了基礎(chǔ)。典譽新材料在光電器件、芯片半導體、太陽能電池、光學鍍膜、航空航天、 、冶金、功能材料、新能源等行業(yè)產(chǎn)品開發(fā)、創(chuàng)新方面,有著得天獨厚的優(yōu)勢。以客戶需求為導向,以前沿技術(shù)為基礎(chǔ),開發(fā)了多個產(chǎn)品系列,涵蓋濺射靶材、蒸鍍膜料、高純合金、金屬粉末、耗材...
真空鍍膜機分類真空鍍膜機在近二十年內(nèi)發(fā)展迅速,其涉足的行業(yè)包括:塑料、五金、建筑、模具、裝飾、陶瓷、汽車等行業(yè),而真空鍍膜設(shè)備根據(jù)各大個行業(yè)的功能需求,發(fā)展為蒸發(fā)真空鍍膜機、多弧離子真空鍍膜機、磁控濺射真空鍍膜機。其中蒸發(fā)機主要應(yīng)用于塑料、五金等行業(yè)。表面進行蒸發(fā)鍍鋁、鉻、一氧化硅的設(shè)備,所鍍膜層特點:牢固且細密,是工業(yè)化生產(chǎn)的理想設(shè)備,其大的優(yōu)點是它的環(huán)保性,真空鍍膜設(shè)備屬于無三廢、無污染的清潔生產(chǎn)設(shè)備,無須環(huán)保部門審批。多弧離子真空鍍膜機主要應(yīng)用于表面涂裝PVD膜層,是目前世界上先進涂裝PVD膜層設(shè)備,真空所自主研發(fā)生產(chǎn)的多弧離子真空鍍膜設(shè)備運用PLC及觸摸屏實現(xiàn)自動化邏輯程序控制操作,設(shè)...
什么是3D玻璃? 現(xiàn)在數(shù)碼產(chǎn)品使用的玻璃蓋板分為:2D玻璃,2.5D玻璃,還有3D玻璃。2D玻璃就是普通的純平面玻璃,沒有任何弧形設(shè)計;2.5D玻璃則為中間是平面的,但邊緣是弧形設(shè)計;而3D屏幕,無論是中間還是邊緣都采用弧形設(shè)計。 3D曲面玻璃的特色符合 3C 產(chǎn)品設(shè)計需求。3C 產(chǎn)品設(shè)計如智能手機、智能手表、平板計算機、可穿戴式智能產(chǎn)品、儀表板等陸續(xù)出現(xiàn) 3D 產(chǎn)品,已經(jīng)明確引導3D曲面玻璃發(fā)展方向。3D曲面玻璃輕薄、透明潔凈、抗指紋、防眩光、堅硬、耐刮傷、耐候性佳等優(yōu)點,可型塑做出3D多形狀外觀具有產(chǎn)品特殊設(shè)計新穎性與質(zhì)感佳,又可增加弧形邊緣觸控功能帶來出色的觸控手感、無線充電機能,并...