無(wú)錫鎳鉻銅靶材費(fèi)用

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-05-22

靶材的比較大厚度為25mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu);所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為5°;所述斜面位于所述平面和第二平面之間;所述平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質(zhì)包括鋁;所述背板的材質(zhì)包括鋁。所得靶材組件濺射強(qiáng)度好,使得濺射過(guò)程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。實(shí)施例2提供一種長(zhǎng)壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點(diǎn)和比較低點(diǎn)的垂直距離為6mm;所述靶材表面的硬度為30hv;其中,所述靶材的比較大厚度為30mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu);所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為8°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之間;所述***平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質(zhì)包括鈦;所述背板的材質(zhì)包括銅。在直流脈沖、中頻濺射過(guò)程中,離子撞擊的能量不足以破壞氧化皮。無(wú)錫鎳鉻銅靶材費(fèi)用

鋁鈧合金靶材(AlSc),尺寸按需求定制,比列按需求定制,含鈧比較高能做到AlSc45wt%,質(zhì)量?jī)?yōu)異,雜質(zhì)含量低,歡迎新老客戶來(lái)電咨詢洽談。江陰典譽(yù)新材料科技有限公司生產(chǎn)的金屬鈧,品質(zhì)優(yōu)異,**全球。鋁鈧合金生產(chǎn)歷史悠久,擁有豐富的經(jīng)驗(yàn),目前推出的鋁鈧合金靶材已被微電子行業(yè)大型廠商采用。相關(guān)靶材清單如下:稀土合金靶材:鋁鈧AlSc;鈰釓CeGd;鈰鎂CeMg;鈰釤CeSm;鏑鈷DyCo;鏑鐵DyFe;釓銅GdCu;釓鐵GdFe;鈥銅HoCu;鑭鋁LaAl;鑭鎳LaNi;鋁釹AlNd;釹鐵NdFe;釹鐵硼NdFe;鎳鎂鈰NiMgCe;鎳鎂鐵鈰NiMgFeCe;鋱鏑鐵TbDyFe;鋱鐵TbFe;釔鋁YAl;釔銅YCu;釔鐵YFe;釔鎂YMg;釔鎳YNi;釔鋯ZrY無(wú)錫鎳鉻銅靶材費(fèi)用不過(guò)在實(shí)際應(yīng)用中,對(duì)靶材的純度要求也不盡相同。

靶材表面的比較高點(diǎn)和比較低點(diǎn)的垂直距離為5.75-6mm,例如可以是5.75mm、5.76mm、5.77mm、5.78mm、5.79mm、5.8mm、5.81mm、5.82mm、5.83mm、5.84mm、5.85mm、5.86mm、5.87mm、5.88mm、5.89mm、5.9mm、5.91mm、5.92mm、5.93mm、5.94mm、5.95mm、5.96mm、5.97mm、5.98mm、5.99mm或6mm等,但不限于所列舉的數(shù)值,該范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用。本發(fā)明中,所述靶材表面的硬度為20-30hv,例如可以是20hv、21hv、22hv、23hv、24hv、25hv、26hv、27hv、28hv、29hv或30hv等,但不限于所列舉的數(shù)值,該范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用。本發(fā)明中,通過(guò)調(diào)整靶材表面的高度差及硬度,保證濺射強(qiáng)度,使得濺射過(guò)程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。作為本發(fā)明 的技術(shù)方案,所述靶材的比較大厚度為28-30mm,例如可以是28mm、28.1mm、28.2mm、28.3mm、28.4mm、28.5mm、28.6mm、28.7mm、28.8mm、28.9mm、29mm、29.1mm、29.2mm、29.3mm、29.4mm、29.5mm、29.6mm、29.7mm、29.8mm、29.9mm或30mm等,但不限于所列舉的數(shù)值,該范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用。

拋光片部分310的厚度均勻。所述拋光片第三部分330的厚度均勻。位于所述固定板200彎折處的所述拋光片300的厚度不均,即所述拋光片第二部分320的厚度不均。拋光片部分310的厚度與所述拋光片第三部分330的厚度相等,均為2mm~3mm。拋光片部分310、拋光片第二部分320及拋光片第三部分330為分體的。在其他實(shí)施例中,所述拋光片部分、拋光片第二部分及拋光片第三部分還可以為一體成型。靶材拋光裝置100還包括:防護(hù)層400,所述防護(hù)層400位于所述固定板200與所述拋光片300之間。所述防護(hù)層400為彈性材料,能夠在所述固定板200及靶材間提供緩沖,避免所述固定板200觸撞靶材導(dǎo)致靶材受損。本實(shí)施例中,所述防護(hù)層400的厚度為30mm~35mm。若所述防護(hù)層400的厚度過(guò)小,所述防護(hù)層400起到的緩沖效果差,難以有效的保護(hù)靶材。若所述防護(hù)層400的厚度過(guò)大,使得所述防護(hù)層400的體積過(guò)大,進(jìn)而造成所述靶材拋光裝置100的體積過(guò)大,對(duì)操作者使用所述靶材拋光裝置100帶來(lái)不必要的困難。正離子到達(dá)陰極靶面時(shí)由于絕緣層的阻擋,堆積在靶面上,容易產(chǎn)生冷場(chǎng)致弧光放電,使陰極濺射無(wú)法進(jìn)行下去。

中頻雙靶反應(yīng)磁控濺射與直流反應(yīng)磁控濺射相比具有以下幾個(gè)顯巨優(yōu)點(diǎn):   (1)消除了靶面打弧放電現(xiàn)象,中頻反應(yīng)磁控濺射鍍制的絕緣薄膜與直流反應(yīng)磁控濺射鍍制的同種膜相比,膜面缺 陷要少幾個(gè)數(shù)量級(jí);   (2)可以得到比直流反應(yīng)磁控濺射高出數(shù)倍的濺射沉積速率;   (3)中頻雙靶反應(yīng)磁控濺射的整個(gè)濺射沉積過(guò)程,可以始終穩(wěn)定在所設(shè)定的工作點(diǎn)上,為大規(guī)模工業(yè)化穩(wěn)定生產(chǎn)提供了條件。   選用非對(duì)稱(chēng)雙極脈沖靶電源與選用“雙靶-中頻靶電源”不同,使用單個(gè)磁控靶進(jìn)行反應(yīng)磁控濺射,調(diào)節(jié)相應(yīng)的鍍膜工藝參數(shù),可以消除磁控靶面打弧放電現(xiàn)象和實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定的薄膜沉積,可以達(dá)到上述“中頻-雙靶反應(yīng)磁控濺射”的同樣效果。



濺射靶材的制備按工藝可分為熔融鑄造和粉末冶金兩大類(lèi)。無(wú)錫鎳鉻銅靶材費(fèi)用

靶材安裝及注意事項(xiàng)有哪些?無(wú)錫鎳鉻銅靶材費(fèi)用

真空鍍膜設(shè)備替代電鍍?cè)O(shè)備是發(fā)展的必然     2012年全國(guó)化學(xué)電鍍產(chǎn)生的污水和重金屬排放量達(dá)到3.5億噸,固體廢物達(dá)到4.1萬(wàn)噸,酸性氣體達(dá)到2.3萬(wàn)立方米,由于真空鍍膜設(shè)備逐漸應(yīng)用到市場(chǎng)上,污染排放量比2011年有所下降,但仍是一個(gè)不可忽視的數(shù)據(jù),為處理這大量的污染,大部分企業(yè)已投放了共5868.1億元在污水治理方面,464.8億元在固體廢物治理方面,974.9億元在酸性氣體治理方面,但仍然有部分企業(yè)沒(méi)有完善治理措施,造成大量污染。         使用真空鍍膜設(shè)備進(jìn)行電鍍可以有效改善污染情況,它不像化學(xué)電鍍需要使用重金屬溶液和酸性溶液進(jìn)行鍍膜,而是在真空環(huán)境下利用蒸發(fā)或?yàn)R射方式進(jìn)行鍍膜,完全沒(méi)有污染產(chǎn)生,是一種綠色低碳、符合可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略的產(chǎn)業(yè),已經(jīng)越來(lái)越多企業(yè)淘汰了舊方式化學(xué)電鍍而轉(zhuǎn)用真空電鍍,但還有很多企業(yè)沒(méi)意識(shí)到環(huán)保的重要性,不懂得綠色生產(chǎn)其實(shí)是為自己和后代創(chuàng)建美好生存環(huán)境的道理。         綠色環(huán)保產(chǎn)業(yè)是必然的發(fā)展趨勢(shì),造成嚴(yán)重污染的化學(xué)電鍍終會(huì)退出歷史舞臺(tái),取而代之的是真空電鍍,利用真空鍍膜機(jī)鍍膜成為主流是不可質(zhì)疑的。無(wú)錫鎳鉻銅靶材費(fèi)用

江陰典譽(yù)新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國(guó)外的先進(jìn)技術(shù),并通過(guò)與國(guó)內(nèi)外**研發(fā)機(jī)構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢(shì),生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類(lèi)靶材產(chǎn)品。經(jīng)過(guò)幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽(yù)新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽(yáng)能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車(chē)玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時(shí)也為國(guó)內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗(yàn)用靶材。 江陰典譽(yù)目前擁有真空熱壓爐兩臺(tái),冷壓燒結(jié)爐一臺(tái),真空熔煉設(shè)備兩臺(tái),等靜壓設(shè)備一臺(tái),等離子噴涂?jī)商?,綁定平臺(tái)兩套,各類(lèi)機(jī)加工設(shè)備七臺(tái),檢驗(yàn)設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達(dá)到甚至超過(guò)客戶的預(yù)期。 江陰典譽(yù)秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。

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