真空離子鍍的耐腐蝕性: 金屬零件是要銹蝕的,但如果零件上鍍有一層防蝕鍍層,就能防止零件生銹。由于離子鍍所獲得的鍍層致密度高,少,耐腐蝕性能好,并能沉積許多其他工藝至今不能沉積的優(yōu)良防腐蝕鍍層。因此,離子鍍目前在鍍防腐蝕材料方面應(yīng)用廣。如水上飛機的壁板及其...
真空離子鍍耐高溫性能: 航空零件,特別是許多發(fā)動機零件往往需要在高溫下工作。例如渦輪葉片及導(dǎo)向葉片工作溫度通常在攝氏一千度左右,有的甚至達攝氏一千四百度。神話小說《西游記》里孫悟空被太上老君放在爐內(nèi)燒煉時,恐怕也達不到這么高的溫度吧?,F(xiàn)代航空發(fā)動機零件在這...
影響磁控靶濺射電壓的主要因素有:靶面磁場、靶材材質(zhì)、氣體壓強、陰-陽極間距等。本文詳細(xì)分析這些因素距對靶濺射電壓的影響。 一、 靶面磁場對靶濺射電壓的影響 1. 磁控靶的陰極工作電壓,隨著靶面磁場的增加而降低,也隨著靶面的濺射刻蝕槽加深而降低。濺射電流...
玫瑰金靶材有哪些? PVD玫瑰金是靠濺射玫瑰金靶形成的,不同的玫瑰金靶配方顏色上有一些區(qū)別,大概分為以下幾種: 1、皇冠金(crown gold),黃金含量在22K(91.667%),由英國亨利八世(1526年)將此比例的黃金用于金幣的鑄造 2、常見的也是...
本實施例提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.95mm;所述靶材表面的硬度為23hv;其中,所述靶材的比較大厚度為27mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu);所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括...
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種靶材拋光裝置。背景技術(shù):濺射鍍膜屬于物相沉積方法制備薄膜的工藝之一,具體是指利用高能粒子轟擊靶材表面,使得靶材原子或分子獲得足夠的能量逸出,并沉積在基材或工件表面,從而形成薄膜。由于背板具有良好的導(dǎo)電導(dǎo)熱性能,且還可以...
靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.75-6mm,例如可以是5.75mm、5.76mm、5.77mm、5.78mm、5.79mm、5.8mm、5.81mm、5.82mm、5.83mm、5.84mm、5.85mm、5.86mm、5.87mm、5.88mm...
靶材的比較大厚度為25mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu);所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為5°;所述斜面位于所述平面和第二平面之間;所述平面為圓形;所述第二平面為環(huán)...
什么是電致變色,它有哪些分類: 電致變色是指材料的光學(xué)屬性(反射率、透過率、吸收率等)在外加電場的作用下發(fā)生穩(wěn)定、可逆的顏色變化的現(xiàn)象,在外觀上表現(xiàn)為顏色和透明度的可逆變化。具有電致變色性能的材料稱為電致變色材料,用電致變色材料做成的器件稱為電致變色器...
什么是真空鍍鋁膜,應(yīng)用在哪些領(lǐng)域? 真空鍍鋁薄膜是在薄膜基材的表面附著而形成復(fù)合薄膜的一種工藝,我國鍍鋁膜產(chǎn)能已達到40萬噸。主要用于風(fēng)味食品、日用品、農(nóng)產(chǎn)品、藥品、化妝品的包裝。 真空鍍鋁薄膜是在高真空條件下,以電阻、高頻或電子束等加熱方式使鋁熔化蒸發(fā),在薄...
而射頻濺射的使用范圍更為***,除可濺射導(dǎo)電材料外,也可濺射非導(dǎo)電的材料,同時還司進行反應(yīng)濺射制備氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。濺射靶材射頻的頻率提高后就成為微波等離子體濺射,目前常用的有電子回旋共振(ECR)型微波等離子體濺射。三.真空鍍膜中靶材中毒會...
PVD顏色膜之玫瑰金 玫瑰金,單從她那浪漫的名字,就能引起人們無數(shù)美妙的聯(lián)想。在閃閃發(fā)光的黃金飾品與經(jīng)典高雅的鉑金飾品之后,色調(diào)柔和迷人的玫瑰金飾品漸成為時尚人士的“新寵”,以她特有的風(fēng)格與文化,演繹出貴金屬飾品的又一片嶄新天地。通常玫瑰金由75%的黃金與...
靶材的比較大厚度為30mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu);所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為8°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之間;所述***平面為圓形...
釬焊:一般使用軟釬料的情況下,要求濺射功率小于20W/cm2,釬料常用In、Sn、In-Sn;導(dǎo)電膠:采用的導(dǎo)電膠要耐高溫,厚度在0.02-0.05um。二.綁定的適用范圍:建議綁定的靶材:ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及燒結(jié)靶材;錫、銦等軟金屬靶;靶材太薄、...
其他服務(wù):打穿的鈀靶材、鈀殘料可提供回收再加工服務(wù)。回收流程如下:稱重----清洗、提純---熔煉加工---靶材等成品江陰典譽新材料科技有限公司,是專業(yè)從事鍍膜材料、合金制備等相關(guān)材料研發(fā)、銷售、服務(wù)為一體的全球化高科技綜合性公司。以業(yè)內(nèi) 企業(yè)為支撐,整合技術(shù)...
真空鍍膜機分類真空鍍膜機在近二十年內(nèi)發(fā)展迅速,其涉足的行業(yè)包括:塑料、五金、建筑、模具、裝飾、陶瓷、汽車等行業(yè),而真空鍍膜設(shè)備根據(jù)各大個行業(yè)的功能需求,發(fā)展為蒸發(fā)真空鍍膜機、多弧離子真空鍍膜機、磁控濺射真空鍍膜機。其中蒸發(fā)機主要應(yīng)用于塑料、五金等行業(yè)。表面進行...
什么是3D玻璃? 現(xiàn)在數(shù)碼產(chǎn)品使用的玻璃蓋板分為:2D玻璃,2.5D玻璃,還有3D玻璃。2D玻璃就是普通的純平面玻璃,沒有任何弧形設(shè)計;2.5D玻璃則為中間是平面的,但邊緣是弧形設(shè)計;而3D屏幕,無論是中間還是邊緣都采用弧形設(shè)計。 3D曲面玻璃的特色符合 ...
由于操作人員同時對靶材側(cè)壁表面及經(jīng)圓角處理的側(cè)棱進行拋光,因此操作人員施加在靶材側(cè)壁表面及側(cè)棱上的力度差異小,拋光工藝結(jié)束后,靶材側(cè)壁表面及經(jīng)圓角處理的側(cè)棱表面具有相近似甚至完全相同的平整度,使得拋光表面具有良好的均一性,有助于改善濺射鍍膜質(zhì)量。若分步驟對靶材...
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布。通常靶材為多晶結(jié)構(gòu),晶粒大小可由微米到毫米量級。對于同一種靶材,晶粒細(xì)小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快;而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。九.什么是靶材綁定主要從靶材綁定的定義,適用范圍和背...
磁控靶濺射沉積率的影響因素 濺射沉積率是表征成膜速度的參數(shù),其沉積率高低除了與工作氣體的種類與壓力、靶材種類與“濺射刻蝕區(qū)“的面積大小、靶面溫度與靶面磁場強度、靶源與基片的間距等影響因素外,還受靶面的功率密度,亦即靶電源輸出的“濺射電壓與電流”兩個重要因素...
PECVD 制備氫化非晶硅薄膜 本實驗采用單晶硅片為襯底,按石英玻璃基片的清洗步驟清洗后烘干,然后置于PECVD系統(tǒng)中。樣品制備條件為襯底溫度250℃,工作氣壓120 Pa, 射頻功率100 W, 氣體流量SiH4/H2=15/5 sccm, 沉積時間...
磁控濺射離子鍍 (1)在基體和工件上是否施加(直流或脈沖)負(fù)偏壓,利用負(fù)偏壓對離子的吸引和加速作用,是離子鍍與其它鍍膜類型的一個主要區(qū)別。蒸發(fā)鍍時基體和工件上加有負(fù)偏壓就是蒸發(fā)離子鍍 ;多弧鍍時基體和工件上加有負(fù)偏壓就是多弧離子鍍;磁控濺射時基體和工件...
真空鍍膜設(shè)備替代電鍍設(shè)備是發(fā)展的必然 2012年全國化學(xué)電鍍產(chǎn)生的污水和重金屬排放量達到3.5億噸,固體廢物達到4.1萬噸,酸性氣體達到2.3萬立方米,由于真空鍍膜設(shè)備逐漸應(yīng)用到市場上,污染排放量比2011年有所下降,但仍是一個不可忽視的數(shù)據(jù),為處理這...
所述把手510包括桿狀部511和第二桿狀部512,所述桿狀部511的一端連接所述頂板210,另一端連接所述第二桿狀部512。所述桿狀部511延伸方向與所述頂板210表面相垂直,所述第二桿狀部512延伸方向與所述頂板210表面相平行。所述把手510的結(jié)構(gòu)有利于操...
靶材拋光裝置100還包括:把手,所述把手設(shè)置于所述固定板200的外表面上。為便于操作人員雙手抓握,所述把手的數(shù)量為兩個,其中一個所述把手設(shè)置于所述固定板200的頂部,另一個所述把手設(shè)置于所述固定板200的側(cè)壁上,該設(shè)置方式有利于提高操作人員手持所述靶材拋光...
陰-陽極間距對靶濺射電壓的影響 真空氣體放電陰-陽極間距能夠?qū)Π袨R射電壓造成一定的影響。在陰-陽極間距偏大時,等效氣體放電的內(nèi)阻主要由等離子體等效內(nèi)阻決定,反之,在陰-陽極間距偏小時,將會導(dǎo)致等離子體放電的內(nèi)阻呈現(xiàn)較小數(shù)值。由于在磁控靶點火起輝后進入正常濺...
有一部分靶材在安裝之前需要拋光,比如鋁靶材等活性金屬靶材,長期暴露在大氣中,表面容易形成一層氧化皮,在直流脈沖、中頻濺射過程中,離子撞擊的能量不足以破壞氧化皮,所以一般在濺射的時候進行物理拋光。一般靶材拋光后,濺射速率、電壓等工藝參數(shù)比較穩(wěn)定,容易控制。所以結(jié)...
電致變色智能玻璃的特點: 電致變色智能玻璃在電場作用下具有光吸收透過的可調(diào)節(jié)性,可選擇性地吸收或反射外界的熱輻射和內(nèi)部的熱的擴散,減少辦公大樓和民用住宅在夏季保持涼爽和冬季保持溫暖而必須消耗的大量能源。同時起到改善自然光照程度、防窺的目的。解決現(xiàn)代不斷惡化的城...
鈀,是銀白色過渡金屬,較軟,有良好的延展性和可塑性,能鍛造、壓延和拉絲。塊狀金屬鈀能吸收大量氫氣,使體積脹大,變脆乃至破裂成碎片。 ;原子量:106.4 ;密度(20℃)/g?cm-3:12.02 ;熔點/℃:1552 ;蒸發(fā)溫度/℃:1460 ;沸點/℃:3...
常見的PVD裝飾膜主要有幾大色系: 1.IP玫瑰金(rose gold)是一種黃金和銅的合金,由于其具有非常時尚、靚麗的玫瑰紅色彩,因而普遍用于首飾設(shè)計和加工。又稱粉色金(pink gold)、紅色金(red gold)。 2. IP金,用離子鍍膜的方式,...