廣東Hf靶材

來源: 發(fā)布時(shí)間:2022-05-12

磁控靶濺射沉積率的影響因素 濺射沉積率是表征成膜速度的參數(shù),其沉積率高低除了與工作氣體的種類與壓力、靶材種類與“濺射刻蝕區(qū)“的面積大小、靶面溫度與靶面磁場(chǎng)強(qiáng)度、靶源與基片的間距等影響因素外,還受靶面的功率密度,亦即靶電源輸出的“濺射電壓與電流”兩個(gè)重要因素的直接影響。 1、濺射電壓與沉積率   在影響濺射系數(shù)的諸因數(shù)中,當(dāng)靶材、濺射氣體等業(yè)已選定之后,比較起作用的就是磁控靶的放電電壓。一般來說,在磁控濺射正常工藝范圍內(nèi),放電電壓越高,磁控靶的濺射系數(shù)就越大。 2、濺射電流與沉積率 磁控靶的濺射電流與靶面離子流成正比,因此對(duì)沉積率的影響比電壓要大得多。增加濺射電流的辦法有兩個(gè):一個(gè)是提高工作電壓;另一個(gè)是適當(dāng)提高工作氣體壓力。 3、濺射功率與沉積率   一般來說,磁控靶的濺射功率增高時(shí),薄膜的沉積率速率也會(huì)變大;這里有一個(gè)先決條件,就是:加在磁控靶的濺射電壓足夠高,使工作氣體離子在陰-陽極間電場(chǎng)中獲得的能量,足以大過靶材的“濺射能量閥值”。


濺射的時(shí)候會(huì)先濺射凸起,濺射時(shí)間長(zhǎng)了,靶材自己就平了。所以物理不均勻的狀態(tài)不需要拋光。廣東Hf靶材

鋁鈧合金靶材(AlSc),尺寸按需求定制,比列按需求定制,含鈧比較高能做到AlSc45wt%,質(zhì)量?jī)?yōu)異,雜質(zhì)含量低,歡迎新老客戶來電咨詢洽談。江陰典譽(yù)新材料科技有限公司生產(chǎn)的金屬鈧,品質(zhì)優(yōu)異,**全球。鋁鈧合金生產(chǎn)歷史悠久,擁有豐富的經(jīng)驗(yàn),目前推出的鋁鈧合金靶材已被微電子行業(yè)大型廠商采用。相關(guān)靶材清單如下:稀土合金靶材:鋁鈧AlSc;鈰釓CeGd;鈰鎂CeMg;鈰釤CeSm;鏑鈷DyCo;鏑鐵DyFe;釓銅GdCu;釓鐵GdFe;鈥銅HoCu;鑭鋁LaAl;鑭鎳LaNi;鋁釹AlNd;釹鐵NdFe;釹鐵硼NdFe;鎳鎂鈰NiMgCe;鎳鎂鐵鈰NiMgFeCe;鋱鏑鐵TbDyFe;鋱鐵TbFe;釔鋁YAl;釔銅YCu;釔鐵YFe;釔鎂YMg;釔鎳YNi;釔鋯ZrY四川鐵靶材濺射過程不影響靶材合金、混合材質(zhì)的比例和性質(zhì)。

電解錳片狀99.7%1-10mm真空熔煉Co-F3501電解鈷片狀99.95%1-10mm真空熔煉Co-I3504電積鈷塊狀99.95%40*40*5mm真空熔煉Co-G3533鈷顆粒99.95%φ3*3mm真空熔煉W-G3536m真空熔煉Ta-G3533鉭顆粒99.95%φ3*3mm真空熔煉Nb-G3533鈮顆粒99.95%φ3*3mm真空熔煉Mo-G3533m真空熔煉Si-I5011多晶硅塊狀99.999%不規(guī)則塊狀真空熔煉In-G4501銦顆粒99.995%1-3mm真空熔煉Zr-I2402海綿鋯塊狀99.4%3-25mm真空熔煉Hf-I2402海m真空熔煉Ge-G5006鍺顆粒99.999%3-5mm真空熔煉La-I3011鑭塊狀99.9%不規(guī)則塊狀真空熔煉Er-I3011鉺塊狀99.9%不規(guī)則塊狀真空熔煉Dy-I3011鏑塊狀99.9%不規(guī)則塊狀真空熔煉W-P3504鎢粉末99.95%325目粉末冶金Al-P3504&nbs5目粉末冶金TiC-P2514碳化鈦粉末99.5%3-5μm粉末冶金HfC-P2514碳化鉿粉末99.5%3-5μm粉末冶金ZrB2-P2519二硼化鋯粉末99.5%10μm粉末冶金Ti-F2612.2*L耗材配件Ta-F3513鉭0*0.2mm耗材配件Nb-F3513*100*0.2mm耗材配件合金定制流程:1.客戶提供需要的配比、塊材大小和用量要求;

氣體壓強(qiáng)對(duì)靶濺射電壓的影響   在磁控濺射或反應(yīng)磁控濺射鍍膜的工藝過程中,工作氣體或反應(yīng)氣體壓強(qiáng)對(duì)磁控靶濺射電壓能夠造成一定的影響。   1.工作氣體壓強(qiáng)對(duì)靶濺射電壓的影響   一般的規(guī)律是:在真空設(shè)備環(huán)境條件確定和靶電源的控制面板設(shè)置參數(shù)不變時(shí),隨著工作氣體(如氬氣)壓強(qiáng)(0.1~10Pa)的逐步增加,氣體放電等離子體的密度也會(huì)同步增加,致使等離子體等效阻抗減小,磁控靶的濺射電流會(huì)逐步上升,濺射工作電壓亦會(huì)同步下降。   2. 反應(yīng)氣體壓強(qiáng)對(duì)靶濺射電壓的影響   在反應(yīng)磁控濺射鍍膜的工藝過程中,在真空設(shè)備環(huán)境條件確定和靶電源的控制面板設(shè)置參數(shù)不變時(shí),隨著反應(yīng)氣體(如氮?dú)?、氧?壓強(qiáng)(或流量)的逐步增加(一般應(yīng)注意不要超過工藝設(shè)定值的上限值),隨著磁控靶面和基片(工件)表面逐步被絕緣膜層覆蓋,陰-陽極間放電的等效阻抗也會(huì)同步增高,磁控靶的濺射電流會(huì)逐步下降(直至“陰極中毒”和“陽極消失”為止),濺射工作電壓亦會(huì)同步上升。


在受到離子轟擊之后,釋放的二次電子數(shù)量增加,提高空間的導(dǎo)通能力,降低等離子體阻抗,導(dǎo)致濺射電壓降低。

磁控濺射一定要求靶材表面要拋光嗎?磁控濺射過程中,等離子體的離子撞擊靶材,濺射出靶材的原子、原子團(tuán)、離子、電子、光子等,原子、離子、原子團(tuán)沉積到基材上形成薄膜。濺射發(fā)生在靶材表面,靶材表面物理狀態(tài)不均勻也沒有關(guān)系,濺射的時(shí)候會(huì)先濺射凸起,濺射時(shí)間長(zhǎng)了,靶材自己就平了。所以物理不均勻的狀態(tài)不需要拋光。濺射過程不影響靶材合金、混合材質(zhì)的比例和性質(zhì),所以如果是表面容易變質(zhì)的靶材,如果不拋光去除表面變質(zhì)部分,沉積到基材上的膜層性質(zhì)就是表面變質(zhì)的雜質(zhì)。


厚度適中:3mm左右,太厚,消耗部分磁強(qiáng);太薄,容易變形。常州鈦鈮靶材貼合

一般靶材拋光后,濺射速率、電壓等工藝參數(shù)比較穩(wěn)定,容易控制。廣東Hf靶材

3D玻璃漸變色的應(yīng)用 3D玻璃漸變色主要應(yīng)用于3C產(chǎn)品,特別是手機(jī)領(lǐng)域。隨著雙玻璃加金屬邊框的盛行,3D后蓋裝飾工藝需要不斷革新。現(xiàn)有的裝飾工藝主要是在裝飾防爆膜上進(jìn)行鍍膜絲印,再與3D玻璃貼合實(shí)現(xiàn)裝飾效果,外觀裝飾主要還是防爆膜紋理和鍍膜顏色搭配實(shí)現(xiàn)。漸變色效果可以通過多種途徑實(shí)現(xiàn),包括:印刷、轉(zhuǎn)印、真空鍍膜、噴涂等。由于技術(shù)的瓶頸問題,現(xiàn)在量產(chǎn)的3D玻璃漸變主要有印刷和真空鍍膜兩種途徑。 漸變效果可大致分為同色漸變、鄰近色漸變、對(duì)比色漸變。漸變顏色的選擇對(duì)于印刷工藝的限制會(huì)小一些,選擇范圍更加寬。印刷工藝可以選擇對(duì)應(yīng)顏色及對(duì)應(yīng)顏色帶范圍進(jìn)行印刷,能夠?qū)崿F(xiàn)較為多元化的色彩沖撞效果,滿足設(shè)計(jì)者的不同變色需求;作為手機(jī)多會(huì)選擇的真空鍍膜裝飾工藝,對(duì)于漸變色的裝飾效果也可以達(dá)到夢(mèng)幻流暢的效果,但色彩變化會(huì)有一定限制。 真空鍍膜漸變只能遵循顏色光譜變化規(guī)律:紅橙黃綠藍(lán)靛紫順序漸變,難以實(shí)現(xiàn)顏色的跨越,當(dāng)然,有的設(shè)計(jì)者也會(huì)通過其他工藝的疊加實(shí)現(xiàn)更多元化的漸變效果。


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江陰典譽(yù)新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國(guó)外的先進(jìn)技術(shù),并通過與國(guó)內(nèi)外**研發(fā)機(jī)構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢(shì),生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽(yù)新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時(shí)也為國(guó)內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗(yàn)用靶材。 江陰典譽(yù)目前擁有真空熱壓爐兩臺(tái),冷壓燒結(jié)爐一臺(tái),真空熔煉設(shè)備兩臺(tái),等靜壓設(shè)備一臺(tái),等離子噴涂?jī)商?,綁定平臺(tái)兩套,各類機(jī)加工設(shè)備七臺(tái),檢驗(yàn)設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達(dá)到甚至超過客戶的預(yù)期。 江陰典譽(yù)秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好。”的發(fā)展理念。

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