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鈀,是銀白色過渡金屬,較軟,有良好的延展性和可塑性,能鍛造、壓延和拉絲。塊狀金屬鈀能吸收大量氫氣,使體積***脹大,變脆乃至破裂成碎片。 原 子 量:106.4 密 度(20℃)/g?cm-3:12.02 熔 點(diǎn)/℃:1552 蒸發(fā)溫度/℃:1460 沸 點(diǎn)/℃:3140 汽化溫度/℃:1317 比 熱 容(25℃)J?(g?K)-1:0.2443 電 阻 率(0℃)/uΩ?cm:10.6 熔 化 熱/kJ?mol-1:16.7 汽 化 熱/ kJ?mol-1:361.7 熱 導(dǎo) 率(0~100℃)/J?(cm?s?℃)-1:0.753 電阻溫度系數(shù)(0~100℃)/℃-1:0.0038 外 觀:銀白色 蒸 發(fā) 源(絲、片):W(鍍Al2O3) 坩 堝:Al2O3 性 質(zhì):與難溶金屬形成合金,閃爍蒸發(fā),在EB內(nèi)激烈飛濺,鈀是銀白色過渡金屬,較軟,有良好的延展性和可塑性,能鍛造、壓延和拉絲。塊狀金屬鈀能吸收大量氫氣,使體積***脹大,變脆乃至破裂成碎片?;瘜W(xué)性質(zhì)不活潑,常溫下在空氣和潮濕環(huán)境中穩(wěn)定,加熱至 800℃,鈀表面形成一氧化鈀薄膜。
靶材的密度不僅影響濺射速率,還影響著薄膜的電學(xué)和光學(xué)性能。南通稀土靶材廠家
靶材600呈長方體狀,其頂部表面為靶材濺射面610,底部表面為靶材焊接面620,所述靶材焊接面620貼合于背板表面上,所述靶材600通過所述靶材焊接面620與背板焊接固定。所述靶材600具有四個側(cè)壁表面630。靶材600具有十二條側(cè)棱601,各條側(cè)棱601均經(jīng)過圓角處理。在圓角處理前,所述靶材600的側(cè)棱601位置較為銳利。如果使用側(cè)棱未經(jīng)圓角處理的靶材600進(jìn)行濺射鍍膜,在濺射鍍膜工藝過程中,所述靶材600的側(cè)棱601位置容易發(fā)生前列放電的現(xiàn)象,導(dǎo)致鍍膜的均勻性差,影響鍍膜質(zhì)量。圓角處理使得靶材側(cè)棱601鈍化,有助于防止前列放電現(xiàn)象的發(fā)生。蘇州TaC靶材廠家許多用戶在采購靶材時(shí)沒有從專業(yè)的角度去考慮,下面為大家指出購買靶材時(shí)需要注意的事項(xiàng)。
由于操作人員同時(shí)對靶材側(cè)壁表面及經(jīng)圓角處理的側(cè)棱進(jìn)行拋光,因此操作人員施加在靶材側(cè)壁表面及側(cè)棱上的力度差異小,拋光工藝結(jié)束后,靶材側(cè)壁表面及經(jīng)圓角處理的側(cè)棱表面具有相近似甚至完全相同的平整度,使得拋光表面具有良好的均一性,有助于改善濺射鍍膜質(zhì)量。若分步驟對靶材側(cè)壁表面及經(jīng)圓角處理的側(cè)棱表面進(jìn)行拋光,操作人員在兩個步驟中施加的力度容易差別較大,造成拋光處理后,靶材側(cè)壁表面與側(cè)棱表面粗糙度差異大,使得靶材側(cè)壁表面與側(cè)棱表面交接處具有臺階。在濺射鍍膜過程中,所述臺階容易導(dǎo)致前列放電,影響濺射鍍膜的均一性,造成鍍膜質(zhì)量差。拋光片部分310的厚度均勻。所述拋光片第三部分330的厚度均勻。位于所述固定板200彎折處的所述拋光片300的厚度不均,即所述拋光片第二部分320的厚度不均。拋光片部分310的厚度與所述拋光片第三部分330的厚度相等,均為2mm~3mm。拋光片部分310、拋光片第二部分320及拋光片第三部分330為分體的。在其他實(shí)施例中,所述拋光片部分、拋光片第二部分及拋光片第三部分還可以為一體成型。
非晶硅薄膜 多晶硅薄膜具有較高的電遷移率和穩(wěn)定的光電性能,是制備微電子器件、薄膜晶體管、大面積平板液晶顯示的質(zhì)量材料。多晶硅薄膜被公認(rèn)為是制備低耗、理想的薄膜太陽能電池的材料。因此,如何制備多晶硅薄膜是一個非常有意義的研究課題。固相法是制備多晶硅薄膜的一種常用方法,它是在高溫退火的條件下,使非晶硅薄膜通過固相相變而成為多晶硅薄膜。本文采用固相法,利用X- ray 衍射及拉曼光譜,對用不同方法制備的非晶硅薄膜的晶化過程進(jìn)行了系統(tǒng)地研究。 在硅薄膜太陽能電池材料中,非晶硅薄膜太陽能電池制造工藝相對簡單,但是存在光電轉(zhuǎn)換效率低,壽命短,穩(wěn)定性不好,并且存在光致衰退效應(yīng)(S-W 效應(yīng))等缺點(diǎn)。單晶硅薄膜太陽能電池因?yàn)橹谱鞴に嚭椭谱鞒杀镜仍蚴冀K得不到推廣,而多晶硅薄膜材料在長波段具有光敏性,能有效的吸收可見光并且具有光照穩(wěn)定性。對于同一種靶材,晶粒細(xì)小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快。
為確保足夠的導(dǎo)熱性,可以在陰極冷卻壁與靶材之間加墊一層石墨紙。請注意一定要仔細(xì)檢查和明確所使用濺射頭冷卻壁的平整度,同時(shí)確保O型密封圈始終在位置上。由于所使用冷卻水的潔凈程度和設(shè)備運(yùn)行過程中可能會產(chǎn)生的污垢會沉積在陰極冷卻水槽內(nèi),所以在安裝靶材時(shí)需要對陰極冷卻水槽進(jìn)行檢查和清理,確保冷卻水循環(huán)的順暢和進(jìn)出水口不會被堵塞。有些陰極設(shè)計(jì)是與陽極的空隙較小,所以在安裝靶材時(shí)需要確保陰極與陽極之間沒有接觸也不能存在導(dǎo)體,否則會產(chǎn)生短路。請參考設(shè)備商操作手冊中關(guān)于如何正確安裝靶材的相關(guān)信息。在收緊靶材夾具時(shí),請先用手轉(zhuǎn)緊一顆鏍栓,再用手轉(zhuǎn)緊對角線上的另外一顆鏍栓,如此重復(fù)直到安裝上所有鏍栓后,再用工具收緊。反應(yīng)濺射氣體的濺射效率本來就比惰性氣體的濺射效率低,所以反應(yīng)氣體比例增加后,綜合濺射速率降低。安徽BiFeO3靶材
一般情況下磁控濺射的濺射電壓在400V-600V之間,當(dāng)發(fā)生靶中毒時(shí),濺射電壓會降低。南通稀土靶材廠家
鈀,是銀白色過渡金屬,較軟,有良好的延展性和可塑性,能鍛造、壓延和拉絲。塊狀金屬鈀能吸收大量氫氣,使體積脹大,變脆乃至破裂成碎片。 ;原子量:106.4 ;密度(20℃)/g?cm-3:12.02 ;熔點(diǎn)/℃:1552 ;蒸發(fā)溫度/℃:1460 ;沸點(diǎn)/℃:3140 ;汽化溫度/℃:1317 ;比熱容(25℃)J?(g?K)-1:0.2443 ;電阻率(0℃)/uΩ?cm:10.6 ;熔化熱/kJ?mol-1:16.7 ;汽化熱/kJ?mol-1:361.7 ;熱導(dǎo)率(0~100℃)/J?(cm?s?℃)-1:0.753 ;電阻溫度系數(shù)(0~100℃)/℃-1:0.0038 ;外觀:銀白色 ;蒸發(fā)源(絲、片):W(鍍Al2O3) ;坩堝:Al2O3 ;性質(zhì):與難溶金屬形成合金,閃爍蒸發(fā),在EB***內(nèi)激烈飛濺,鈀是銀白色過渡金屬,較軟,有良好的延展性和可塑性,能鍛造、壓延和拉絲。塊狀金屬鈀能吸收大量氫氣,使體積***脹大,變脆乃至破裂成碎片。化學(xué)性質(zhì)不活潑,常溫下在空氣和潮濕環(huán)境中穩(wěn)定,加熱至800℃,鈀表面形成一氧化鈀薄膜。南通稀土靶材廠家
江陰典譽(yù)新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進(jìn)技術(shù),并通過與國內(nèi)外**研發(fā)機(jī)構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽(yù)新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時(shí)也為國內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗(yàn)用靶材。 江陰典譽(yù)目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結(jié)爐一臺,真空熔煉設(shè)備兩臺,等靜壓設(shè)備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機(jī)加工設(shè)備七臺,檢驗(yàn)設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達(dá)到甚至超過客戶的預(yù)期。 江陰典譽(yù)秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。