常州Ca靶材貼合

來源: 發(fā)布時間:2022-02-18

什么是電致變色,它有哪些分類:   電致變色是指材料的光學屬性(反射率、透過率、吸收率等)在外加電場的作用下發(fā)生穩(wěn)定、可逆的顏色變化的現(xiàn)象,在外觀上表現(xiàn)為顏色和透明度的可逆變化。具有電致變色性能的材料稱為電致變色材料,用電致變色材料做成的器件稱為電致變色器件。 電致變色材料分類: 一、無機電致變色材料   無機電致變色材料的典型是三氧化鎢,目前,以WO3為功能材料的電致變色器件已經(jīng)產(chǎn)業(yè)化。 二、有機電致變色材料   有機電致變色材料主要有聚噻吩類及其衍生物、紫羅精類、四硫富瓦烯、金屬酞菁類化合物等。以紫羅精類為功能材料的電致變色材料已經(jīng)得到實際應用。


所以如果是表面容易變質(zhì)的靶材,如果不拋光去除表面變質(zhì)部分,沉積到基材上的膜層性質(zhì)就是表面變質(zhì)的雜質(zhì)。常州Ca靶材貼合

靶材的雜質(zhì)含量。在經(jīng)過一系列的靶材工藝處理后靶材固體中的雜質(zhì)和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。因為用處不一樣,所以不同用途的靶材對不同雜質(zhì)含量的要求也不同。比如現(xiàn)在的半導體工業(yè)用的純鋁及鋁合金靶材,對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。密度也是靶材的關(guān)鍵性能指標之一.在靶材的技術(shù)工藝中為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,一般是要求靶材必須具有較高的密度。因為靶材主要特性密度對濺射速率有著很大的影響,并且影響著薄膜的電學和光學性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。杭州硫化鋅靶材圖片為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。

中頻雙靶反應磁控濺射與直流反應磁控濺射相比具有以下幾個顯巨優(yōu)點:   (1)消除了靶面打弧放電現(xiàn)象,中頻反應磁控濺射鍍制的絕緣薄膜與直流反應磁控濺射鍍制的同種膜相比,膜面缺 陷要少幾個數(shù)量級;   (2)可以得到比直流反應磁控濺射高出數(shù)倍的濺射沉積速率;   (3)中頻雙靶反應磁控濺射的整個濺射沉積過程,可以始終穩(wěn)定在所設定的工作點上,為大規(guī)模工業(yè)化穩(wěn)定生產(chǎn)提供了條件。   選用非對稱雙極脈沖靶電源與選用“雙靶-中頻靶電源”不同,使用單個磁控靶進行反應磁控濺射,調(diào)節(jié)相應的鍍膜工藝參數(shù),可以消除磁控靶面打弧放電現(xiàn)象和實現(xiàn)長時間穩(wěn)定的薄膜沉積,可以達到上述“中頻-雙靶反應磁控濺射”的同樣效果。



在上述具體實施方式中所描述的各個具體技術(shù)特征,在不矛盾的情況下,可以通過任何合適的方式進行組合,為了避免不必要的重復,本發(fā)明對各種可能的組合方式不再另行說明。此外,本發(fā)明的各種不同的實施方式之間也可以進行任意組合,只要其不違背本發(fā)明的思想,其同樣應當視為本發(fā)明所公開的內(nèi)容。本發(fā)明涉及靶材領(lǐng)域,具體涉及一種長壽命靶材組件。目前,現(xiàn)有的半導體濺射用ilc1013系列靶材的濺射壽命已經(jīng)到了一個極限,為提高靶材的使用壽命,節(jié)省多次更換靶材的重復性?,F(xiàn)有的技術(shù)都是通過磁場強度,把靶材表面設計成曲面來延長壽命,包括靶材本體及基體,所述基體的至少一面設有所述靶材本體,所述靶材本體是由高純度靶材合金粉末通過等離子弧噴涂機噴涂熔焊在所述基體上。所述基體與所述靶材本體的結(jié)合面為呈內(nèi)凹的圓弧面。所述基體為矩形體或圓形。所述靶材的制造方法步驟如下:(1)準備合金粉體;(2)準備基體;(3)等離子轉(zhuǎn)移弧噴涂成型;(4)、清理被噴涂層表面,按照步驟(3)的要求再次噴涂處理,直至獲得要求厚度的靶材。本發(fā)明有益效果在于:一是生產(chǎn)的靶材無氣孔殘留;二是生產(chǎn)設備簡單、投資小;三是靶材可以修復再利用。靶材磁控濺射的原理是什么?

高純金屬的純度分析原則: 高純金屬材料的純度一般用減量法衡量。減量計算的雜質(zhì)元素主要是金屬雜質(zhì),不包括C ,O ,N ,H等間隙元素,但是間隙元素的含量也是重要的衡量指標,一般單獨提出。依應用背景的不同,要求進行分析的雜質(zhì)元素種類少則十幾種, 多則70多種。簡單的說高純金屬是幾個N(九) 并不能真正的表達其純度, 只有提供雜質(zhì)元素和間隙元素的種類及其含量才能明確表達高純金屬的純度水平。 高純金屬的純度檢測應以實際應用需要作為主要標準,例如目前工業(yè)電解鈷的純度一般接99.99 % ,而且檢測的雜質(zhì)元素種類較少。我國電解鈷的有色金屬行業(yè)標準(YS/ T25522000)要求分析C ,S ,Mn , Fe, Ni , Cu , As , Pb , Zn , Si , Cd , Mg , P , Al , Sn ,Sb , Bi等17 個雜質(zhì)元素, Co9998電解鈷的雜質(zhì)總量不超過0.02,但這仍然不能滿足功能薄膜材料材料的要求[2]。


因為用處不一樣,所以不同用途的靶材對不同雜質(zhì)含量的要求也不同。常州Ca靶材貼合

如果化合物的生成速率大于化合物被剝離的速率,化合物覆蓋面積增加。常州Ca靶材貼合

磁控濺射鍍膜中出現(xiàn)膜層不良的表現(xiàn)有哪些,如何改善? 1.脫膜主要表現(xiàn):點狀/片狀膜層脫落 原因分析:雜質(zhì)附著,清洗殘留,真空室臟,臟污、油斑、灰點、口水點, 膜層局部附著不良等。 改善:加強清洗,加強烘烤,環(huán)境管控(清潔干燥),對于多層膜系,底層須與基材匹配(吸附力、硬度、熱膨脹)。 2.裂紋/暴膜主要表現(xiàn): 網(wǎng)狀裂痕/龜裂/起泡脫膜,出爐外觀OK,放置一段時間后爆裂/起泡脫膜。 原因分析:鍍膜過程基材加熱不充分,成膜后及出爐后降溫過快,膜層應力累積, 膜層與基材不匹配,多層膜之間參數(shù)不匹配。 改善: 基材充分預熱加熱;增加離子輔助,減小應力;鍍膜緩慢降溫;底層須與基材匹配;多層膜之間參數(shù)不突變。 3,色差主要表現(xiàn):同爐產(chǎn)品顏色不一致 原因分析及改善:靶材分布;布氣;磁場;遮擋。


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江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術(shù),并通過與國內(nèi)外**研發(fā)機構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時也為國內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結(jié)爐一臺,真空熔煉設備兩臺,等靜壓設備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設備七臺,檢驗設備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導向,客戶的所有需求一次做好。”的發(fā)展理念。

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