北京合金靶材定制

來源: 發(fā)布時(shí)間:2022-04-23

磁控濺射離子鍍   (1)在基體和工件上是否施加(直流或脈沖)負(fù)偏壓,利用負(fù)偏壓對離子的吸引和加速作用,是離子鍍與其它鍍膜類型的一個(gè)主要區(qū)別。蒸發(fā)鍍時(shí)基體和工件上加有負(fù)偏壓就是蒸發(fā)離子鍍 ;多弧鍍時(shí)基體和工件上加有負(fù)偏壓就是多弧離子鍍;磁控濺射時(shí)基體和工件上加有負(fù)偏壓就是磁控濺射離子鍍,這是磁控濺射離子鍍技術(shù)的一個(gè)重要特點(diǎn)。   (2)磁控濺射離子鍍是把磁控濺射和離子鍍結(jié)合起來的技術(shù)。在同一個(gè)真空腔體內(nèi)既可實(shí)現(xiàn)氬離子對磁控靶材的穩(wěn)定濺射,又實(shí)現(xiàn)了高能靶材離子在基片負(fù)偏壓作用下到達(dá)基片進(jìn)行轟擊、濺射、注入及沉積作用過程。整個(gè)鍍膜過程都存在離子對基片和工件表面的轟擊,可有效基片和工件表面的氣體和污物;使成膜過程中,膜層表面始終保持清潔狀態(tài)。   (3) 磁控濺射離子鍍可以在膜-基界面上形成明顯的混合過渡層(偽擴(kuò)散層),提高膜層附著強(qiáng)度;可以使膜層與工件形成金屬間化合物和固熔體,實(shí)現(xiàn)材料表面合金化,甚至出現(xiàn)新的晶相結(jié)構(gòu)。   (4)磁控濺射離子鍍形成膜層的膜基結(jié)合力好、膜層的繞鍍性好、膜層組織可控參數(shù)多、膜層粒子總體能量高,容易進(jìn)行反應(yīng)沉積,可以在較低溫度下獲得化合物膜層。


通常靶材為多晶結(jié)構(gòu),晶粒大小可由微米到毫米量級。北京合金靶材定制

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明解決的問題是提供一種靶材拋光裝置,有助于提高作業(yè)效率。為解決上述問題,本發(fā)明提供一種靶材拋光裝置,包括:固定板,所述固定板包括頂板和位于所述頂板一側(cè)的側(cè)板;拋光片,位于所述固定板內(nèi)側(cè)面上,其中位于固定板彎折處的拋光片呈弧狀??蛇x的,所述拋光片表面與靶材側(cè)壁表面及經(jīng)圓角處理的側(cè)棱相匹配。可選的,所述固定板內(nèi)側(cè)面彎折處形成夾角,位于所述固定板彎折處的所述拋光片的厚度不均??蛇x的,所述固定板內(nèi)側(cè)面彎折處呈弧狀,位于所述固定板彎折處的所述拋光片的厚度均勻??蛇x的,所述固定板的材料為金屬或合金??蛇x的,所述拋光片為砂紙??蛇x的,所述靶材拋光裝置還包括:防護(hù)層,所述防護(hù)層位于所述固定板與所述拋光片之間??蛇x的,所述防護(hù)層為彈性材料。可選的,所述防護(hù)層的材料為***、橡膠或棉花??蛇x的,所述靶材拋光裝置還包括:把手,所述把手設(shè)置于所述固定板的外表面上??蛇x的,所述把手的數(shù)量為兩個(gè),其中一個(gè)所述把手設(shè)置于所述固定板的頂部,另一個(gè)所述把手設(shè)置于所述固定板的側(cè)壁上。蘇州鈣鎂鋅靶材費(fèi)用不過在實(shí)際應(yīng)用中,對靶材的純度要求也不盡相同。

濺射靶材的分類有哪些?金屬濺射鍍膜靶材,合金濺射鍍膜靶材,陶瓷濺射鍍膜靶材,硼化物陶瓷濺射靶材,碳化物陶瓷濺射靶材,氟化物陶瓷濺射靶材,氮化物陶瓷濺射靶材,氧化物陶瓷靶材,硒化物陶瓷濺射靶材,硅化物陶瓷濺射靶材,硫化物陶瓷濺射靶材,碲化物陶瓷濺射靶材,其他陶瓷靶材,摻鉻一氧化硅陶瓷靶材(Cr-SiO),磷化銦靶材(InP),砷化鉛靶材(PbAs),砷化銦靶材(InAs)。1.金屬靶材:鎳靶、Ni、鈦靶、T濺射靶材i、鋅靶、Zn、鉻靶、Cr、鎂靶、Mg、鈮靶、Nb、錫靶、Sn、鋁靶、Al、銦靶、In、鐵靶、Fe、鋯鋁靶、ZrAl、鈦鋁靶、TiAl、鋯靶、Zr、鋁硅靶、AlSi、硅靶、Si、銅靶Cu、鉭靶T、a、鍺靶、Ge、銀靶、Ag、鈷靶、Co、金靶、Au、釓靶、Gd、鑭靶、La、釔靶、Y、鈰靶、Ce、鎢靶、w、濺射靶材不銹鋼靶、鎳鉻靶、NiCr、鉿靶、Hf、鉬靶、Mo、鐵鎳靶、FeNi、鎢靶、W等。

靶材材質(zhì)對靶濺射電壓的影響:1.在真空條件不變的條件下,不同材質(zhì)與種類靶材對磁控靶的正常濺射電壓會產(chǎn)生一定的影響。2.常用的靶材(如銅Cu、鋁Al、鈦Ti?)的正常濺射電壓一般在400~600V的范圍內(nèi)。3.有的難濺射的靶材(如錳Mn、鉻Cr等)的濺射電壓比較高,一般需>700V以上才能完成正常磁控濺射過程;而有的靶材(如氧化銦錫ITO)的濺射電壓比較低,可以在200多伏電壓時(shí)實(shí)現(xiàn)正常的磁控濺射沉積鍍膜。4.實(shí)際鍍膜過程中,由于工作氣體壓力變化,或陰極與陽極間距偏小(使真空腔體內(nèi)阻抗特性發(fā)生變化),或真空腔體與磁控靶的機(jī)械尺寸不匹配,同時(shí)選用了輸出特性較軟的靶電源等原因,導(dǎo)致磁控靶的濺射電壓(即靶電源輸出電壓)遠(yuǎn)低于正常濺射示值,則可能會出現(xiàn)靶前存雖然呈現(xiàn)出很亮的光圈,就是不能見到靶材離子相應(yīng)顏色的泛光,以至不能濺射成膜的狀況。


正離子堆積:靶中毒時(shí),靶面形成一層絕緣膜。

NCVM不導(dǎo)電膜是什么,它有哪些特點(diǎn)? NCVM又稱不連續(xù)鍍膜技術(shù)或不導(dǎo)電電鍍技術(shù),是一種起緣普通真空電鍍的高新技術(shù)。真空電鍍,簡稱VM,是vacuum metallization的縮寫。它是指金屬材料在真空條件下,運(yùn)用化學(xué)、物理等特定手段進(jìn)行有機(jī)轉(zhuǎn)換,使金屬轉(zhuǎn)換成粒子,沉積或吸附在塑膠材料的表面,形成膜,也就是我們所謂的鍍膜。真空不導(dǎo)電電鍍,又稱NCVM,是英文Non conductive vacuum metallization的縮寫。它的加工工藝高于普通真空電鍍,其加工制程比普通制程要復(fù)雜得多。 NCVM特點(diǎn)是采用鍍出金屬及絕緣化合物等薄膜,利用各相不連續(xù)之特性,得到外觀有金屬質(zhì)感且不影響到無線通訊傳輸之效果。首先要實(shí)現(xiàn)不導(dǎo)電,滿足無線通訊產(chǎn)品的正常使用;其次要保證“金屬質(zhì)感”這一重要的外觀要求;通過UV涂料與鍍膜層結(jié)合,保證產(chǎn)品的物性和耐候性,滿足客戶需求。


靶材安裝及注意事項(xiàng)有哪些?北京合金靶材定制

正離子到達(dá)陰極靶面時(shí)由于絕緣層的阻擋,堆積在靶面上,容易產(chǎn)生冷場致弧光放電,使陰極濺射無法進(jìn)行下去。北京合金靶材定制

真空離子鍍耐高溫性能:   航空零件,特別是許多發(fā)動機(jī)零件往往需要在高溫下工作。例如渦輪葉片及導(dǎo)向葉片工作溫度通常在攝氏一千度左右,有的甚至達(dá)攝氏一千四百度。神話小說《西游記》里孫悟空被太上老君放在爐內(nèi)燒煉時(shí),恐怕也達(dá)不到這么高的溫度吧?,F(xiàn)代航空發(fā)動機(jī)零件在這樣高的溫度下工作,依賴零件基體材料本身的性能是很難滿足要求的。那么,發(fā)動機(jī)零件怎樣才能不怕高溫?zé)g呢?目前除在零件結(jié)構(gòu)上采取措施(如采用空心冷卻葉片、發(fā)散冷卻葉片等)以外,大都需用耐熱鍍層進(jìn)行保護(hù)。離子鍍對于沉積耐熱膜有相當(dāng)多的優(yōu)點(diǎn),能鍍各種高熔點(diǎn)材料,如氧化鋁、氧化硅、氧化鈹、鉿合金等。合金鍍層的成份也比較容易控制,適合于鍍成分較復(fù)雜的耐熱合金,如鐵鉻鋁釔,鈷鉻鋁釔或鎳鉻鋁釔合金等。   目前渦輪葉片是試圖采用離子鍍耐熱鍍層的主要對象。據(jù)悉,有一種葉片用此法鍍復(fù)一種鎳鉻鋁釔合金后,其高溫工作壽命比鍍鋁提高了三倍。適于采用離子鍍耐熱鍍層的發(fā)動機(jī)零件還有渦輪盤、氣缸活塞零件等。有些零件經(jīng)過這種先進(jìn)工藝處理后,可在高溫下工作上千小時(shí)。北京合金靶材定制

江陰典譽(yù)新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進(jìn)技術(shù),并通過與國內(nèi)外**研發(fā)機(jī)構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽(yù)新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時(shí)也為國內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗(yàn)用靶材。 江陰典譽(yù)目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結(jié)爐一臺,真空熔煉設(shè)備兩臺,等靜壓設(shè)備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機(jī)加工設(shè)備七臺,檢驗(yàn)設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達(dá)到甚至超過客戶的預(yù)期。 江陰典譽(yù)秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好。”的發(fā)展理念。

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