無(wú)錫硫化鋅靶費(fèi)用

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2021-10-20

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

  通常靶材為多晶結(jié)構(gòu),晶粒大小可由微米到毫米量級(jí)。對(duì)于同一種靶材,晶粒細(xì)小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快;而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。

4..密度

為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率,還影響著薄膜的電學(xué)和光學(xué)性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和強(qiáng)度使靶材能更好地承受濺射過(guò)程中的熱應(yīng)力。密度也是靶材的關(guān)鍵性能指標(biāo)之一。 通常是放熱反應(yīng),反應(yīng)生成熱必須有傳導(dǎo)出去的途徑,否則,該化學(xué)反應(yīng)無(wú)法繼續(xù)進(jìn)行。無(wú)錫硫化鋅靶費(fèi)用

但下列情況綁定有弊端:

1.熔點(diǎn)低的靶材,像銦、硒等,金屬化的時(shí)候可能會(huì)變軟變形;

2.貴金屬靶材,一是實(shí)際重量易出現(xiàn)分歧,二是金屬化以及解綁的時(shí)候都會(huì)有浪費(fèi)料,建議墊一片銅片。

三.背靶的選擇

對(duì)材質(zhì)的要求:一般選用無(wú)氧銅和鉬靶,厚度在3mm左右;

導(dǎo)電性好:常用無(wú)氧銅,無(wú)氧銅的導(dǎo)熱性比紫銅好;

強(qiáng)度足夠:太薄,易變形,不易真空密封;

結(jié)構(gòu)要求:空心或者實(shí)心結(jié)構(gòu);

厚度適中:3mm左右,太厚,消耗部分磁強(qiáng);太薄,容易變形。 無(wú)錫硫化鋅靶費(fèi)用靶材密度越高,薄膜的性能越好。

常見(jiàn)的PVD裝飾膜主要有幾大色系:1.IP玫瑰金(rosegold)是一種黃金和銅的合金,由于其具有非常時(shí)尚、靚麗的玫瑰紅色彩,因而普遍用于首飾設(shè)計(jì)和加工。又稱(chēng)粉色金(pinkgold)、紅色金(redgold)。2.IP金,用離子鍍膜的方式,讓靶材上的黃金沉積到要鍍的工件之上,一般由仿金層和表面金層兩層,表面金層的顏色與24K黃金一樣,厚度可以根據(jù)客戶的要求鍍不同的厚度。3.仿金系列(包括仿金色和仿玫瑰金),不含黃金,一般成份是由TiNTiCNZrNZrCN等陶瓷化合物組成,但很難達(dá)到真金的亮度。4.銀色系列,一般是鉻的化合物,顏色深淺可調(diào)整,可分冷色系列和暖色系列,冷色系列帶藍(lán)調(diào),金屬光感好,暖色系列帶黃調(diào),接近不銹鋼本色。5.黑色系列,一般是成份是金屬的碳化物,顏色深淺可以調(diào)整,色調(diào)根據(jù)客戶的要求也可以調(diào)整,不同的金屬碳化物具有不同的特性和色調(diào),可以根據(jù)客戶的需要選擇不同的膜系。6.藍(lán)色系列,有天空藍(lán),冰藍(lán)色,海洋藍(lán),深藍(lán)等等,不同色系成份也有所不一樣。

磁控濺射制備非晶硅薄膜   本實(shí)驗(yàn)采用石英玻璃為襯底,實(shí)驗(yàn)前先將玻璃襯底浸泡在溶液中,放到JHN- 4F(200 W)超聲波清洗機(jī)清洗30 min;然后用分析乙醇同樣在超聲波清洗機(jī)中清洗30 min; 放入裝有去離子水的燒杯中在超聲波清洗器中清洗約30 min 后晾干。然后以高純硅為靶材在JGP500型超高真空磁控濺射設(shè)備上,分別采用直流和射頻方式制備了兩塊樣品。在濺射前,預(yù)濺射5 min以除去靶材表面氧化物。1# 樣品采用直流磁控濺射方式, 濺射功率為100 W, 本底真空度6×10- 4 Pa , 濺射時(shí)間20 min,濺射氣壓0.5 Pa,襯底溫度為室溫。2#樣品采用射頻磁控濺射方式,濺射功率150 W,本底真空度6×10- 4 Pa,濺射時(shí)間120 min,濺射氣壓2.0 Pa,襯底溫度為室溫。樣品1# 和2# 均切為3 小塊,其中各保留一小塊不做退火處理,其他的小塊樣品處理情況為1#750℃、1#850℃,2#750℃、2#850℃在馬弗爐中退火1h。將1# 和2#未處理樣品用拉曼激光誘導(dǎo)方法,研究非晶硅薄膜的晶化過(guò)程。濺射靶材安裝過(guò)程中**重要的注意事項(xiàng)是一定要確保在靶材和濺射冷卻壁之間建立很好的導(dǎo)熱連接。

有些陰極設(shè)計(jì)是與陽(yáng)極的空隙較小,所以在安裝靶材時(shí)需要確保陰極與陽(yáng)極之間沒(méi)有接觸也不能存在導(dǎo)體,否則會(huì)產(chǎn)生短路。

請(qǐng)參考設(shè)備商操作手冊(cè)中關(guān)于如何正確安裝靶材的相關(guān)信息。在收緊靶材夾具時(shí),請(qǐng)先用手轉(zhuǎn)緊一顆鏍栓,再用手轉(zhuǎn)緊對(duì)角線上的另外一顆鏍栓,如此重復(fù)直到安裝上所有鏍栓后,再用工具收緊。七.濺射靶材的制備方法有哪些?濺射靶材是指通過(guò)磁控濺射、多弧離子鍍或其他類(lèi)型的鍍膜設(shè)備在適當(dāng)工藝條件下濺射沉積在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。濺射靶材廣泛應(yīng)用于裝飾、工模具、玻璃、電子器件、半導(dǎo)體、磁記錄、平面顯示、太陽(yáng)能電池等眾多領(lǐng)域,不同領(lǐng)域需要的靶材各不相同。 此外,提高靶材的密度和強(qiáng)度使靶材能更好地承受濺射過(guò)程中的熱應(yīng)力。密度也是靶材的關(guān)鍵性能指標(biāo)之一。無(wú)錫硫化鋅靶費(fèi)用

所以在安裝靶材時(shí)需要對(duì)陰極冷卻水槽進(jìn)行檢查和清理,確保冷卻水循環(huán)的順暢和進(jìn)出水口不會(huì)被堵塞。無(wú)錫硫化鋅靶費(fèi)用

PVD技術(shù)簡(jiǎn)介PVD技術(shù)是在真空中將鈦、金、石墨、水晶等金屬或非金屬、氣體等材料利用濺射、蒸發(fā)或離子鍍等技術(shù),在基材上形成薄膜的一種表面處理過(guò)程。與傳統(tǒng)化學(xué)鍍膜方法相比,PVD有很多優(yōu)點(diǎn):如對(duì)環(huán)境無(wú)污染,是綠色環(huán)保工藝;對(duì)操作者無(wú)傷害;膜層牢固、致密性好、抗腐蝕性強(qiáng),膜厚均勻。PVD技術(shù)中經(jīng)常使用的方法主要有:蒸發(fā)鍍膜(包括電弧蒸發(fā)、電子蒸發(fā)、電阻絲蒸發(fā)等技術(shù))、濺射鍍膜(包括直流磁控濺射、中頻磁控濺射、射頻濺射等技術(shù)),這些方法統(tǒng)稱(chēng)物相沉積(PhysicalVaporDeposition),簡(jiǎn)稱(chēng)為PVD。行業(yè)內(nèi)通常所說(shuō)的“IP”(ionplating)離子鍍膜,是因?yàn)樵赑VD技術(shù)中各種氣體離子和金屬離子參與成膜過(guò)程并起到重要作用,為了強(qiáng)調(diào)離子的作用,而統(tǒng)稱(chēng)為離子鍍膜。無(wú)錫硫化鋅靶費(fèi)用

江陰典譽(yù)新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國(guó)外的先進(jìn)技術(shù),并通過(guò)與國(guó)內(nèi)外**研發(fā)機(jī)構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢(shì),生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類(lèi)靶材產(chǎn)品。經(jīng)過(guò)幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽(yù)新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽(yáng)能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車(chē)玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時(shí)也為國(guó)內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗(yàn)用靶材。 江陰典譽(yù)目前擁有真空熱壓爐兩臺(tái),冷壓燒結(jié)爐一臺(tái),真空熔煉設(shè)備兩臺(tái),等靜壓設(shè)備一臺(tái),等離子噴涂?jī)商?,綁定平臺(tái)兩套,各類(lèi)機(jī)加工設(shè)備七臺(tái),檢驗(yàn)設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達(dá)到甚至超過(guò)客戶的預(yù)期。 江陰典譽(yù)秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好。”的發(fā)展理念。

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