高純金屬的概念: 任何金屬都不能達(dá)到純。“高純”和“超純”具有相對的含義,是指技術(shù)上達(dá)到的標(biāo)準(zhǔn)。由于技術(shù)的發(fā)展,也常使“超純”的標(biāo)準(zhǔn)升級。例如過去高純金屬的雜質(zhì)為 ppm級(即百萬分之幾),而超純半導(dǎo)體材料的雜質(zhì)達(dá)ppb級(十億分之幾),并將逐步發(fā)展到以ppt級(一萬億分之幾)表示。實際上純度以幾個“9”(N)來表示(如雜質(zhì)總含量為百萬分之一,即稱為6個“9”或6N),是不完整概念,如電子器件用的超純硅以金屬雜質(zhì)計算,其純度相當(dāng)于9 個“9”。 但如計入碳,則可能不到6個“9”?!俺儭钡南鄬γ~是指“雜質(zhì)”,廣義的雜質(zhì)是指化學(xué)雜質(zhì)(元素)及“物理雜質(zhì)”,后者是指位錯及空位等,而化學(xué)雜質(zhì)是指基體以外的原子以代位或填隙等形式摻入。但只當(dāng)金屬純度達(dá)到很高的標(biāo)準(zhǔn)時(如純度 9N 以上的金屬),物理雜質(zhì)的概念才是有意義的, 因此目前工業(yè)生產(chǎn)的金屬仍是以化學(xué)雜質(zhì)的含量作為標(biāo)準(zhǔn),即以金屬中雜質(zhì)總含量為百萬分之幾表示。通常靶材為多晶結(jié)構(gòu),晶粒大小可由微米到毫米量級。南通碳化鉬靶價錢
玫瑰金靶材有哪些? PVD玫瑰金是靠濺射玫瑰金靶形成的,不同的玫瑰金靶配方顏色上有一些區(qū)別,大概分為以下幾種: 1、皇冠金(crown gold),黃金含量在22K(91.667%),由英國亨利八世(1526年)將此比例的黃金用于金幣的鑄造 2、常見的也是典型的18K玫瑰金,黃金含量也在18K(75%),但其它另含有約4%的銀和21%的銅,呈現(xiàn)美麗的淡粉玫瑰色 3、14K紅金,黃金含量在14K(58.33%),其它添加金屬為銅(41.67%)。 有的PVD鍍膜廠玫瑰金靶也有添加一些其它的稀有元素,用來達(dá)到不同的色調(diào)或用來改變鍍層的性能,這也是市面上每一家PVD廠鍍出的色調(diào)都有一些差異的原因之一。南通碳化鉬靶價錢一般情況下,金屬化合物的二次電子發(fā)射系數(shù)比金屬的高,靶中毒后,靶材表面都是金屬化合物。
真空離子鍍厚功能鍍膜代替現(xiàn)行電鍍 真空離子鍍厚特性: (1)不用酸堿鹽、不用物、不產(chǎn)生六價鉻,沒有三廢排放,對環(huán)境沒有污染,對人體旡害。 (2)鍍膜附著性好不易脫落,有過渡層。 (3)可鍍制厚功能鍍膜有耐磨、耐蝕、耐熱及特殊性能等鍍膜。 (4)鍍膜硬度可達(dá)Hv2000左右, 可據(jù)要求而定。 (5)鍍膜厚度可達(dá)40微米以上,可據(jù)要求而定。 (6)工件基材鋼鐵為主,有色金屬及其合金也可據(jù)要求采用。 應(yīng)用領(lǐng)域:活塞環(huán)、軸承軸瓦、葉片、搬手、篩具、壓鑄模具、 量具、絞刀、絲錐、 板牙、五金工具、機(jī)床頂針、一般耐磨件、鉗子口、零件修復(fù)等等。
影響磁控靶濺射電壓的主要因素有:靶面磁場、靶材材質(zhì)、氣體壓強(qiáng)、陰-陽極間距等。本文詳細(xì)分析這些因素距對靶濺射電壓的影響。 一、 靶面磁場對靶濺射電壓的影響 1. 磁控靶的陰極工作電壓,隨著靶面磁場的增加而降低,也隨著靶面的濺射刻蝕槽加深而降低。濺射電流也隨著靶面的濺射刻蝕槽加深而加大。這是因為靶的濺射刻蝕槽面會越來越接近靶材后面的磁鋼的強(qiáng)磁場。因此,靶材的厚度是有限制的。較厚的非磁性靶材能夠在較強(qiáng)的磁場中使用。 2. 鐵磁性靶材會對磁控靶的濺射造成影響,由于大部分磁力線從鐵磁性材料內(nèi)部通過,使靶材表面磁場減少,需要很高電壓才能讓靶面點火起輝。除非磁場非常的強(qiáng),否則磁性材靶材必須比非磁性材料要薄,才能起輝和正常運行(永磁結(jié)構(gòu)的Ni靶的典型值<0.16cm,磁控靶非特殊設(shè)計最大值一般不宜超過3mm,F(xiàn)e,co靶的最大值不超過2mm;電磁結(jié)構(gòu)的靶可以濺射厚一些的靶材,甚至可達(dá)6mm厚)才能起輝和正常運行。正常工作時,磁控靶靶材表面的磁場強(qiáng)度為0.025T~0.05T左右;靶材濺射刻蝕即將穿孔時,其靶材表面的磁場強(qiáng)度大為提高,接近或大于0.1T左右。濺射出靶材的原子、原子團(tuán)、離子、電子、光子等,原子、離子、原子團(tuán)沉積到基材上形成薄膜。
非晶硅薄膜的制備方法 非晶硅薄膜的制備方法有很多,如低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD),等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD),直流(射頻)磁控濺射等。生長多晶硅薄膜的方法有:化學(xué)氣相沉積包括低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)、大氣壓強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(APCVD)、等離子體化學(xué)氣相沉積(PCVD)以及液相生長、激光再晶化和固相晶化法(SPC)等。固相晶化法是指在(高溫)退火的條件下,使固態(tài)非晶硅薄膜的硅原子被、重組,從而轉(zhuǎn)化為多晶硅薄膜。它的特點是非晶固體發(fā)生晶化的溫度低于其熔融后結(jié)晶的溫度。常規(guī)高溫爐退火、快速熱退火、金屬誘導(dǎo)晶化、微波誘導(dǎo)晶化等都屬于固相晶化的范疇。本文采用PECVD 和磁控濺射方法在不同的條件下制備了a- Si: H 和a- Si 薄膜,并采取高溫退火和激光誘導(dǎo)晶化的方式,利用X- 射線衍射及拉曼光譜,對制備的非晶硅薄膜晶化過程進(jìn)行了系統(tǒng)地研究。不同用途的靶材對不同雜質(zhì)含量的要求也不同。南通碳化鉬靶價錢
有一部分靶材在安裝之前需要拋光。南通碳化鉬靶價錢
購買靶材的注意事項有哪些許多用戶在采購靶材時沒有從專業(yè)的角度去考慮,下面為大家指出購買靶材時需要注意的事項。
對于所有的金屬來說,純度是靶材的主要性能指標(biāo)之一,靶材的純度對后期產(chǎn)品薄膜的性能影響很大。但是每一個產(chǎn)品對靶材的純度要求也有不相同的地方。
其次就是靶材的雜質(zhì)含量。在經(jīng)過一系列的靶材工藝處理后靶材固體中的雜質(zhì)和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。因為用處不一樣,所以不同用途的靶材對不同雜質(zhì)含量的要求也不同。比如現(xiàn)在的半導(dǎo)體工業(yè)用的純鋁及鋁合金靶材,對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。 南通碳化鉬靶價錢
江陰典譽(yù)新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進(jìn)技術(shù),并通過與國內(nèi)外**研發(fā)機(jī)構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽(yù)新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時也為國內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽(yù)目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結(jié)爐一臺,真空熔煉設(shè)備兩臺,等靜壓設(shè)備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機(jī)加工設(shè)備七臺,檢驗設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達(dá)到甚至超過客戶的預(yù)期。 江陰典譽(yù)秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。