無錫硼化鐵靶材工廠

來源: 發(fā)布時(shí)間:2021-07-14

磁控濺射一定要求靶材表面要拋光嗎?磁控濺射過程中,等離子體的離子撞擊靶材,濺射出靶材的原子、原子團(tuán)、離子、電子、光子等,原子、離子、原子團(tuán)沉積到基材上形成薄膜。

濺射發(fā)生在靶材表面,靶材表面物理狀態(tài)不均勻也沒有關(guān)系,濺射的時(shí)候會(huì)先濺射凸起,濺射時(shí)間長了,靶材自己就平了。所以物理不均勻的狀態(tài)不需要拋光。

濺射過程不影響靶材合金、混合材質(zhì)的比例和性質(zhì),所以如果是表面容易變質(zhì)的靶材,如果不拋光去除表面變質(zhì)部分,沉積到基材上的膜層性質(zhì)就是表面變質(zhì)的雜質(zhì)。 正離子到達(dá)陰極靶面時(shí)由于絕緣層的阻擋,堆積在靶面上,容易產(chǎn)生冷場致弧光放電,使陰極濺射無法進(jìn)行下去。無錫硼化鐵靶材工廠

PVD顏色膜之玫瑰金 玫瑰金,單從她那浪漫的名字,就能引起人們無數(shù)美妙的聯(lián)想。在閃閃發(fā)光的黃金飾品與經(jīng)典高雅的鉑金飾品之后,色調(diào)柔和迷人的玫瑰金飾品漸成為時(shí)尚人士的“新寵”,以她特有的風(fēng)格與文化,演繹出貴金屬飾品的又一片嶄新天地。通常玫瑰金由75%的黃金與其它合金組成(俗稱三色金)。 硬度較純金高,與傳統(tǒng)的黃金和鉑金相比,粉紅色的玫瑰金不但能使有色寶石的色彩更加濃重,還體現(xiàn)了金屬材質(zhì)的精致、細(xì)膩。其粉紅、玫瑰等暖色調(diào)給人們帶來溫暖與愉快;在款式上也是千姿百態(tài),有心形、欖尖形、橢圓形、梨形、祖母綠形。各種風(fēng)格迥異的飾品,可謂璀璨耀眼,女性無論是著職業(yè)裝,還是晚禮服及吊帶裙,與之相配都顯出高雅的氣質(zhì)。 玫瑰金顏色近幾年在手表行業(yè)非常流行,很多品牌都采用PVD在不銹鋼表殼和表帶上沉積玫瑰金涂層的方式進(jìn)行,行業(yè)內(nèi)叫IP玫瑰金,其工藝已經(jīng)非常成熟。玫瑰金鍍層一般有仿金層和玫瑰金層構(gòu)成,底層的仿金層一般為TiCN,主要是增加玫瑰金的硬度和耐磨度。無錫硼化鐵靶材工廠在靶材的技術(shù)工藝中為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布。通常靶材為多晶結(jié)構(gòu),晶粒大小可由微米到毫米量級。對于同一種靶材,晶粒細(xì)小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快;而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。九.什么是靶材綁定

主要從靶材綁定的定義,適用范圍和背靶的選擇三個(gè)方面來為大家介紹一下靶材綁定。

一.靶材綁定的定義

靶材綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要由三種方式:壓接、釬焊和導(dǎo)電膠。

1.壓接:采用壓條,一般為了提高接觸的良好性,會(huì)增加石墨紙、Pb或In皮;

一種靶材拋光裝置100,包括:固定板200,所述固定板200包括頂板210和位于所述頂板210一側(cè)的側(cè)板220;拋光片300,位于所述固定板200內(nèi)側(cè)面上,其中位于固定板200彎折處的拋光片300呈弧狀。

所述固定板200能夠起到支架的作用,以固定支撐所述拋光片300,便于操作人員使用所述靶材拋光裝置100。

頂板210呈矩形狀,所述側(cè)板220也呈矩形狀。

述固定板200內(nèi)側(cè)面彎折處形成夾角。具體的,所述側(cè)板220表面垂直于所述頂板210表面,即所述夾角為90°。在其他實(shí)施例中,所述夾角還可以大于90°且小于180°。

頂板210與所述側(cè)板220為一體成型。在其他實(shí)施例中,所述頂板與所述側(cè)板還可以采用焊接、螺接或緊密配合方式固定連接。

固定板200的材料為合金,具體的,所述固定板200的材料為不銹鋼。在其他實(shí)施例中,所述固定板的材料還可以為金屬。 不拋光去除表面變質(zhì)部分,沉積到基材上的膜層性質(zhì)就是表面變質(zhì)的雜質(zhì)。

拋光片300包括拋光片部分310、拋光片第二部分320及拋光片第三部分330。所述拋光片部分310設(shè)置于所述頂板210的底部。所述拋光片第二部分320設(shè)置于所述頂板210與所述側(cè)板220的拐角處,且在所述拋光片部分310及拋光片第三部分330間平滑的過渡。所述拋光片第三部分330設(shè)置于所述側(cè)板220的內(nèi)側(cè)面上,所述拋光片第三部分330表面與拋光片部分310表面垂直。拋光片第二部分320呈弧狀,與經(jīng)圓角處理的靶材側(cè)棱相匹配,可對靶材側(cè)棱進(jìn)行拋光。所述拋光片第三部分330表面為平整的平面,能夠?qū)Π胁膫?cè)壁表面進(jìn)行拋光。因此所述靶材拋光裝置100能夠同時(shí)對靶材側(cè)壁表面及經(jīng)圓角處理的側(cè)棱進(jìn)行拋光,有助于提高拋光作業(yè)效率。 厚度適中:3mm左右,太厚,消耗部分磁強(qiáng);太薄,容易變形。無錫硼化鐵靶材工廠

晶粒細(xì)小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快。無錫硼化鐵靶材工廠

所述靶材的比較大厚度為24mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu);所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為3°;所述斜面位于所述平面和第二平面之間;所述平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質(zhì)包括鋁;所述背板的材質(zhì)包括銅。

所得靶材組件濺射強(qiáng)度好,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。

實(shí)施例5

本實(shí)施例提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點(diǎn)和比較低點(diǎn)的垂直距離為5.82mm;所述靶材表面的硬度為21hv;

其中,所述靶材的比較大厚度為23mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu);所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為1°;所述斜面位于所述平面和第二平面之間;所述***平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質(zhì)包括鋁;所述背板的材質(zhì)包括銅和鋁。

所得靶材組件濺射強(qiáng)度好,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。 無錫硼化鐵靶材工廠

江陰典譽(yù)新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進(jìn)技術(shù),并通過與國內(nèi)外**研發(fā)機(jī)構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽(yù)新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時(shí)也為國內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗(yàn)用靶材。 江陰典譽(yù)目前擁有真空熱壓爐兩臺(tái),冷壓燒結(jié)爐一臺(tái),真空熔煉設(shè)備兩臺(tái),等靜壓設(shè)備一臺(tái),等離子噴涂兩套,綁定平臺(tái)兩套,各類機(jī)加工設(shè)備七臺(tái),檢驗(yàn)設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達(dá)到甚至超過客戶的預(yù)期。 江陰典譽(yù)秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好。”的發(fā)展理念。

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