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技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本發(fā)明解決的問題是提供一種靶材拋光裝置,有助于提高作業(yè)效率。
為解決上述問題,本發(fā)明提供一種靶材拋光裝置,包括:固定板,所述固定板包括頂板和位于所述頂板一側(cè)的側(cè)板;拋光片,位于所述固定板內(nèi)側(cè)面上,其中位于固定板彎折處的拋光片呈弧狀。
可選的,所述拋光片表面與靶材側(cè)壁表面及經(jīng)圓角處理的側(cè)棱相匹配。
可選的,所述固定板內(nèi)側(cè)面彎折處形成夾角,位于所述固定板彎折處的所述拋光片的厚度不均。
可選的,所述固定板內(nèi)側(cè)面彎折處呈弧狀,位于所述固定板彎折處的所述拋光片的厚度均勻。
可選的,所述固定板的材料為金屬或合金。
可選的,所述拋光片為砂紙。
可選的,所述靶材拋光裝置還包括:防護(hù)層,所述防護(hù)層位于所述固定板與所述拋光片之間。
可選的,所述防護(hù)層為彈性材料。
可選的,所述防護(hù)層的材料為***、橡膠或棉花。
可選的,所述靶材拋光裝置還包括:把手,所述把手設(shè)置于所述固定板的外表面上。
可選的,所述把手的數(shù)量為兩個(gè),其中一個(gè)所述把手設(shè)置于所述固定板的頂部,另一個(gè)所述把手設(shè)置于所述固定板的側(cè)壁上。 靶材固體中的雜質(zhì)和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。南通GZO靶材工廠
磁控濺射鍍膜中出現(xiàn)膜層不良的表現(xiàn)有哪些,如何改善? 1.脫膜主要表現(xiàn):點(diǎn)狀/片狀膜層脫落 原因分析:雜質(zhì)附著,清洗殘留,真空室臟,臟污、油斑、灰點(diǎn)、口水點(diǎn), 膜層局部附著不良等。 改善:加強(qiáng)清洗,加強(qiáng)烘烤,環(huán)境管控(清潔干燥),對(duì)于多層膜系,底層須與基材匹配(吸附力、硬度、熱膨脹)。 2.裂紋/暴膜主要表現(xiàn): 網(wǎng)狀裂痕/龜裂/起泡脫膜,出爐外觀OK,放置一段時(shí)間后爆裂/起泡脫膜。 原因分析:鍍膜過程基材加熱不充分,成膜后及出爐后降溫過快,膜層應(yīng)力累積, 膜層與基材不匹配,多層膜之間參數(shù)不匹配。 改善: 基材充分預(yù)熱加熱;增加離子輔助,減小應(yīng)力;鍍膜緩慢降溫;底層須與基材匹配;多層膜之間參數(shù)不突變。 3,色差主要表現(xiàn):同爐產(chǎn)品顏色不一致 原因分析及改善:靶材分布;布?xì)猓淮艌?chǎng);遮擋。常州鈦酸鋰靶材工廠靶材綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。
所述把手510包括桿狀部511和第二桿狀部512,所述桿狀部511的一端連接所述頂板210,另一端連接所述第二桿狀部512。所述桿狀部511延伸方向與所述頂板210表面相垂直,所述第二桿狀部512延伸方向與所述頂板210表面相平行。所述把手510的結(jié)構(gòu)有利于操作人員牢固的抓握所述把手510,防止從所述把手510上滑脫。
在其他實(shí)施例中,所述固定板200內(nèi)側(cè)面彎折處呈弧狀,所述防護(hù)層400彎折處呈弧狀,位于所述固定板200彎折處的所述拋光片300的厚度均勻。
此外,與前一實(shí)施例不同的是,所述拋光片部分310、拋光片第二部分320及拋光片第三部分330為一體成型。且所述拋光片部分310、拋光片第二部分320及拋光片第三部分330厚度相等。
防護(hù)層為彈性材料,所述防護(hù)層的質(zhì)地軟,能夠在所述固定板及靶材間提供緩沖,避免所述固定板觸撞靶材導(dǎo)致靶材受損。
具體實(shí)施方式:
為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更為明顯易懂,下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施例做詳細(xì)的說明。
一種靶材拋光裝置100,包括:固定板200,所述固定板200包括頂板210和位于所述頂板210一側(cè)的側(cè)板220;拋光片300,位于所述固定板200內(nèi)側(cè)面上,其中位于固定板200彎折處的拋光片300呈弧狀。固定板200能夠起到支架的作用,以固定支撐所述拋光片300,便于操作人員使用所述靶材拋光裝置100。頂板210呈矩形狀,所述側(cè)板220也呈矩形狀。固定板200內(nèi)側(cè)面彎折處形成夾角。具體的,所述側(cè)板220表面垂直于所述頂板210表面,即所述夾角為90°。在其他實(shí)施例中,所述夾角還可以大于90°且小于180°。 許多用戶在采購靶材時(shí)沒有從專業(yè)的角度去考慮,下面為大家指出購買靶材時(shí)需要注意的事項(xiàng)。
作為本發(fā)明推薦的技術(shù)方案,所述靶材的材質(zhì)包括鋁、鉭、鈦或銅中的一種。
作為本發(fā)明推薦的技術(shù)方案,所述背板的材質(zhì)包括銅和/或鋁。
作為本發(fā)明推薦的技術(shù)方案,所述靶材表面的比較高點(diǎn)和比較低點(diǎn)的垂直距離為5.75-6mm;所述靶材表面的硬度為20-30hv;
其中,所述靶材的比較大厚度為20-30mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu);所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角≤10°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之間;所述***平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質(zhì)包括鋁、鉭、鈦或銅中的一種;所述背板的材質(zhì)包括銅和/或鋁。
與現(xiàn)有技術(shù)方案相比,本發(fā)明具有以下有益效果:
本發(fā)明中,通過調(diào)整靶材表面的高度差及硬度,利用二者之間的協(xié)同效果保證濺射強(qiáng)度,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。 壓靶蓋旋的過緊,沒有和靶材之間留下適當(dāng)?shù)木嚯x,調(diào)整距離即可。南京FeNi靶材型號(hào)
熔融鑄造法是制作濺射靶材的基本方法之一。南通GZO靶材工廠
氧化物鍍膜技術(shù)在真空鍍鋁膜中的應(yīng)用 近年來,迅速發(fā)展微波加熱技術(shù)給微波食品包裝及需經(jīng)微波殺 菌消毒的一類商品的包裝提出了新的要求,即包裝材料不要具有優(yōu)良的阻隔性能,而且還要耐高溫、微波透過性好等特性,傳統(tǒng)的包裝材料很難具備這些特點(diǎn)。因此,近年來日本、德國(guó)、美國(guó)等國(guó)家大力研究開發(fā)新型的高阻隔性包裝材料——SiOX和其它金屬氧化物鍍膜復(fù)合材料。這類材料除了阻隔性能可以與鋁塑復(fù)合材料相媲美外,同時(shí)還具有微波透過性好、耐高溫、透明、受環(huán)境溫度濕度影響小等優(yōu)點(diǎn)。 非金屬鍍膜可采用蒸鍍?cè)峡刹捎肧iOX、SiO2,也可以采用其它氧化物如Al2O3、 MgO、Y2O3、TiO2、Gd2O3等,其中常用的是SiOX、AlOx。氧化物鍍膜的蒸發(fā)源有電阻式和電子束兩種,電阻式蒸發(fā)源以電阻通過發(fā)熱的原理來加熱蒸鍍?cè)希呒訜釡囟瓤蛇_(dá)1700℃。電子束蒸發(fā)源利用加速電子碰撞蒸鍍?cè)隙蛊湔舭l(fā),蒸發(fā)源配有電子,在材料局部位置上而形成加熱束斑,束斑溫度可達(dá)3000~6000℃,能量密度高可達(dá)20KW/cm2。 實(shí)驗(yàn)表明只有PP、PET、PA等材料才能較適合氧化物鍍膜加工。南通GZO靶材工廠
江陰典譽(yù)新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國(guó)外的先進(jìn)技術(shù),并通過與國(guó)內(nèi)外**研發(fā)機(jī)構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢(shì),生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽(yù)新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時(shí)也為國(guó)內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗(yàn)用靶材。 江陰典譽(yù)目前擁有真空熱壓爐兩臺(tái),冷壓燒結(jié)爐一臺(tái),真空熔煉設(shè)備兩臺(tái),等靜壓設(shè)備一臺(tái),等離子噴涂?jī)商祝壎ㄆ脚_(tái)兩套,各類機(jī)加工設(shè)備七臺(tái),檢驗(yàn)設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達(dá)到甚至超過客戶的預(yù)期。 江陰典譽(yù)秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。