南通GZO靶材工廠

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明解決的問(wèn)題是提供一種靶材拋光裝置，有助于提高作業(yè)效率。

為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種靶材拋光裝置，包括：固定板，所述固定板包括頂板和位于所述頂板一側(cè)的側(cè)板；拋光片，位于所述固定板內(nèi)側(cè)面上，其中位于固定板彎折處的拋光片呈弧狀。

可選的，所述拋光片表面與靶材側(cè)壁表面及經(jīng)圓角處理的側(cè)棱相匹配。

可選的，所述固定板內(nèi)側(cè)面彎折處形成夾角，位于所述固定板彎折處的所述拋光片的厚度不均。

可選的，所述固定板內(nèi)側(cè)面彎折處呈弧狀，位于所述固定板彎折處的所述拋光片的厚度均勻。

可選的，所述固定板的材料為金屬或合金。

可選的，所述拋光片為砂紙。

可選的，所述靶材拋光裝置還包括：防護(hù)層，所述防護(hù)層位于所述固定板與所述拋光片之間。

可選的，所述防護(hù)層為彈性材料。

可選的，所述防護(hù)層的材料為***、橡膠或棉花。

可選的，所述靶材拋光裝置還包括：把手，所述把手設(shè)置于所述固定板的外表面上。

可選的，所述把手的數(shù)量為兩個(gè)，其中一個(gè)所述把手設(shè)置于所述固定板的頂部，另一個(gè)所述把手設(shè)置于所述固定板的側(cè)壁上。 靶材固體中的雜質(zhì)和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。南通GZO靶材工廠

磁控濺射鍍膜中出現(xiàn)膜層不良的表現(xiàn)有哪些，如何改善？ 1.脫膜主要表現(xiàn)：點(diǎn)狀/片狀膜層脫落 原因分析：雜質(zhì)附著，清洗殘留，真空室臟，臟污、油斑、灰點(diǎn)、口水點(diǎn)， 膜層局部附著不良等。 改善：加強(qiáng)清洗，加強(qiáng)烘烤，環(huán)境管控（清潔干燥），對(duì)于多層膜系，底層須與基材匹配（吸附力、硬度、熱膨脹）。 2.裂紋/暴膜主要表現(xiàn)： 網(wǎng)狀裂痕/龜裂/起泡脫膜，出爐外觀OK，放置一段時(shí)間后爆裂/起泡脫膜。 原因分析：鍍膜過(guò)程基材加熱不充分，成膜后及出爐后降溫過(guò)快，膜層應(yīng)力累積， 膜層與基材不匹配，多層膜之間參數(shù)不匹配。 改善： 基材充分預(yù)熱加熱；增加離子輔助，減小應(yīng)力；鍍膜緩慢降溫；底層須與基材匹配；多層膜之間參數(shù)不突變。 3，色差主要表現(xiàn)：同爐產(chǎn)品顏色不一致 原因分析及改善：靶材分布；布?xì)猓淮艌?chǎng)；遮擋。常州鈦酸鋰靶材工廠靶材綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來(lái)。

所述把手510包括桿狀部511和第二桿狀部512，所述桿狀部511的一端連接所述頂板210，另一端連接所述第二桿狀部512。所述桿狀部511延伸方向與所述頂板210表面相垂直，所述第二桿狀部512延伸方向與所述頂板210表面相平行。所述把手510的結(jié)構(gòu)有利于操作人員牢固的抓握所述把手510，防止從所述把手510上滑脫。

在其他實(shí)施例中，所述固定板200內(nèi)側(cè)面彎折處呈弧狀，所述防護(hù)層400彎折處呈弧狀，位于所述固定板200彎折處的所述拋光片300的厚度均勻。

此外，與前一實(shí)施例不同的是，所述拋光片部分310、拋光片第二部分320及拋光片第三部分330為一體成型。且所述拋光片部分310、拋光片第二部分320及拋光片第三部分330厚度相等。

防護(hù)層為彈性材料，所述防護(hù)層的質(zhì)地軟，能夠在所述固定板及靶材間提供緩沖，避免所述固定板觸撞靶材導(dǎo)致靶材受損。

具體實(shí)施方式：

為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更為明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施例做詳細(xì)的說(shuō)明。

一種靶材拋光裝置100，包括：固定板200，所述固定板200包括頂板210和位于所述頂板210一側(cè)的側(cè)板220；拋光片300，位于所述固定板200內(nèi)側(cè)面上，其中位于固定板200彎折處的拋光片300呈弧狀。固定板200能夠起到支架的作用，以固定支撐所述拋光片300，便于操作人員使用所述靶材拋光裝置100。頂板210呈矩形狀，所述側(cè)板220也呈矩形狀。固定板200內(nèi)側(cè)面彎折處形成夾角。具體的，所述側(cè)板220表面垂直于所述頂板210表面，即所述夾角為90°。在其他實(shí)施例中，所述夾角還可以大于90°且小于180°。 許多用戶在采購(gòu)靶材時(shí)沒(méi)有從專(zhuān)業(yè)的角度去考慮，下面為大家指出購(gòu)買(mǎi)靶材時(shí)需要注意的事項(xiàng)。

作為本發(fā)明推薦的技術(shù)方案，所述靶材的材質(zhì)包括鋁、鉭、鈦或銅中的一種。

作為本發(fā)明推薦的技術(shù)方案，所述背板的材質(zhì)包括銅和/或鋁。

作為本發(fā)明推薦的技術(shù)方案，所述靶材表面的比較高點(diǎn)和比較低點(diǎn)的垂直距離為5.75-6mm；所述靶材表面的硬度為20-30hv；

其中，所述靶材的比較大厚度為20-30mm；所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板；所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu)；所述靶材包括用于濺射的濺射面；所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面；所述斜面與水平面的夾角≤10°；所述斜面位于所述***平面和第二平面之間；所述***平面為圓形；所述第二平面為環(huán)形；所述靶材的材質(zhì)包括鋁、鉭、鈦或銅中的一種；所述背板的材質(zhì)包括銅和/或鋁。

與現(xiàn)有技術(shù)方案相比，本發(fā)明具有以下有益效果：

本發(fā)明中，通過(guò)調(diào)整靶材表面的高度差及硬度，利用二者之間的協(xié)同效果保證濺射強(qiáng)度，使得濺射過(guò)程中薄膜厚度均勻，使用壽命增加。 壓靶蓋旋的過(guò)緊，沒(méi)有和靶材之間留下適當(dāng)?shù)木嚯x，調(diào)整距離即可。南京FeNi靶材型號(hào)

熔融鑄造法是制作濺射靶材的基本方法之一。南通GZO靶材工廠

氧化物鍍膜技術(shù)在真空鍍鋁膜中的應(yīng)用 近年來(lái)，迅速發(fā)展微波加熱技術(shù)給微波食品包裝及需經(jīng)微波殺 菌消毒的一類(lèi)商品的包裝提出了新的要求，即包裝材料不要具有優(yōu)良的阻隔性能，而且還要耐高溫、微波透過(guò)性好等特性，傳統(tǒng)的包裝材料很難具備這些特點(diǎn)。因此，近年來(lái)日本、德國(guó)、美國(guó)等國(guó)家大力研究開(kāi)發(fā)新型的高阻隔性包裝材料——SiOX和其它金屬氧化物鍍膜復(fù)合材料。這類(lèi)材料除了阻隔性能可以與鋁塑復(fù)合材料相媲美外，同時(shí)還具有微波透過(guò)性好、耐高溫、透明、受環(huán)境溫度濕度影響小等優(yōu)點(diǎn)。 非金屬鍍膜可采用蒸鍍?cè)峡刹捎肧iOX、SiO2，也可以采用其它氧化物如Al2O3、 MgO、Y2O3、TiO2、Gd2O3等，其中常用的是SiOX、AlOx。氧化物鍍膜的蒸發(fā)源有電阻式和電子束兩種，電阻式蒸發(fā)源以電阻通過(guò)發(fā)熱的原理來(lái)加熱蒸鍍?cè)?，高加熱溫度可達(dá)1700℃。電子束蒸發(fā)源利用加速電子碰撞蒸鍍?cè)隙蛊湔舭l(fā)，蒸發(fā)源配有電子，在材料局部位置上而形成加熱束斑，束斑溫度可達(dá)3000～6000℃，能量密度高可達(dá)20KW/cm2。 實(shí)驗(yàn)表明只有PP、PET、PA等材料才能較適合氧化物鍍膜加工。南通GZO靶材工廠

江陰典譽(yù)新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市，是一家專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司，濺射靶材充分借鑒國(guó)外的先進(jìn)技術(shù)，并通過(guò)與國(guó)內(nèi)外**研發(fā)機(jī)構(gòu)合作，整合各行業(yè)資源優(yōu)勢(shì)，生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬，合金，陶瓷三大類(lèi)靶材產(chǎn)品。經(jīng)過(guò)幾年的發(fā)展和技術(shù)積累，已經(jīng)擁有：真空熱壓，冷壓燒結(jié)，真空熔煉，熱等靜壓，等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽(yù)新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材：平面顯示、裝飾與工具、太陽(yáng)能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車(chē)玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時(shí)也為國(guó)內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗(yàn)用靶材。 江陰典譽(yù)目前擁有真空熱壓爐兩臺(tái)，冷壓燒結(jié)爐一臺(tái)，真空熔煉設(shè)備兩臺(tái)，等靜壓設(shè)備一臺(tái)，等離子噴涂?jī)商?，綁定平臺(tái)兩套，各類(lèi)機(jī)加工設(shè)備七臺(tái)，檢驗(yàn)設(shè)備若干，確保出廠的每件產(chǎn)品都能達(dá)到甚至超過(guò)客戶的預(yù)期。 江陰典譽(yù)秉承：“一切以客戶的需求為導(dǎo)向，客戶的所有需求一次做好。”的發(fā)展理念。