鈦鋁硅靶材價(jià)錢(qián)

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2021-09-09

真空鍍膜設(shè)備維修保養(yǎng)技巧 1、真空鍍膜設(shè)備每完成200個(gè)鍍膜程序以上,應(yīng)清潔工作室一次。 方法:用燒堿(NaOH)飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁,( 注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液,以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發(fā)生反應(yīng),反應(yīng)后膜層脫落,并釋放出氫氣。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。 2、當(dāng)粗抽泵(滑閥泵,旋片泵)連續(xù)工作一個(gè)月(雨季減半),需更換新油。 方法:擰開(kāi)放油螺栓,放掉舊油,再將泵啟動(dòng)數(shù)秒,使泵內(nèi)的舊油完全排放出來(lái)。擰回放油螺栓,加入新油至額定量(油視鏡觀察)。連續(xù)使用半年以上,換油時(shí)應(yīng)將油蓋打開(kāi),用布擦干凈箱內(nèi)污垢。 3、擴(kuò)散泵連續(xù)使用6個(gè)月以上,抽速明顯變慢。 擴(kuò)散泵連續(xù)使用6個(gè)月以上,抽速明顯變慢,或操作失當(dāng),充入大氣,拆去聯(lián)結(jié)水管,卸下電爐盤(pán),將一級(jí)噴嘴擰出,先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍,再用洗衣粉兌水清洗一遍,然后用清水徹底清洗干凈,待水份揮發(fā)干以后,裝好泵膽,加入新擴(kuò)散泵油,并裝回機(jī)體,接好水管,裝好電爐盤(pán),便可以重新開(kāi)機(jī)。在重新開(kāi)機(jī)前,要注意檢漏工作。陽(yáng)極消失:靶中毒時(shí),接地的真空室壁上也沉積了絕緣膜,到達(dá)陽(yáng)極的電子無(wú)法進(jìn)入陽(yáng)極,形成陽(yáng)極消失現(xiàn)象。鈦鋁硅靶材價(jià)錢(qián)

防護(hù)層為彈性材料,所述防護(hù)層的質(zhì)地軟,能夠在所述固定板及靶材間提供緩沖,避免所述固定板觸撞靶材導(dǎo)致靶材受損。

具體實(shí)施方式:

為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更為明顯易懂,下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施例做詳細(xì)的說(shuō)明。

一種靶材拋光裝置100,包括:固定板200,所述固定板200包括頂板210和位于所述頂板210一側(cè)的側(cè)板220;拋光片300,位于所述固定板200內(nèi)側(cè)面上,其中位于固定板200彎折處的拋光片300呈弧狀。固定板200能夠起到支架的作用,以固定支撐所述拋光片300,便于操作人員使用所述靶材拋光裝置100。頂板210呈矩形狀,所述側(cè)板220也呈矩形狀。固定板200內(nèi)側(cè)面彎折處形成夾角。具體的,所述側(cè)板220表面垂直于所述頂板210表面,即所述夾角為90°。在其他實(shí)施例中,所述夾角還可以大于90°且小于180°。 南京鋁摻鈷酸鋰靶材廠家為確保足夠的導(dǎo)熱性,可以在陰極冷卻壁與靶材之間加墊一層石墨紙。

ITO薄膜制作過(guò)程中的影響因素    ITO薄膜在濺鍍過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生不同的特性,有時(shí)候表面光潔度比較低,出現(xiàn)“麻點(diǎn)”的現(xiàn)象,有時(shí)候會(huì)出現(xiàn)高蝕間隔帶,在蝕刻時(shí)還會(huì)出現(xiàn)直線放射型缺劃或電阻偏高帶,有時(shí)候會(huì)出現(xiàn)微晶溝縫。         常用的ITO靶材是通過(guò)燒結(jié)法生產(chǎn)的,就是由氧化銦(In2O3)和氧化錫(SnO2)粉末按照一定的比例進(jìn)行混合,通常質(zhì)量比是90%In2O3和10% SnO2,形成的黑灰色陶瓷半導(dǎo)體(氧化銦錫,ITO)。一般通過(guò)外觀就可以了解ITO靶材的質(zhì)量,深灰色是好的,相反越黑質(zhì)量越差,我國(guó)生產(chǎn)的ITO靶材質(zhì)量還可以的是黑灰色的。         研究顯示,在真空鍍膜機(jī)ITO薄膜濺鍍過(guò)程中,使用磁控濺射的方式,基底溫度控制在200℃左右可以保證薄膜85%以上高可見(jiàn)光透過(guò)率下,電阻率達(dá)到低,而薄膜的結(jié)晶度也隨著基底溫度的提高而提高,晶粒尺寸也逐漸增大,超過(guò)200℃后透射率趨于減弱;使用電子束蒸鍍的方式,隨著退火溫度升高,晶粒尺寸變大,表面形貌均一穩(wěn)定,超過(guò)600℃后顆粒變得大小不一,形狀各異,小顆粒團(tuán)聚現(xiàn)象嚴(yán)重,薄膜表面形貌破壞。

釬焊:一般使用軟釬料的情況下,要求濺射功率小于20W/cm2,釬料常用In、Sn、In-Sn;

導(dǎo)電膠:采用的導(dǎo)電膠要耐高溫,厚度在0.02-0.05um。

二.綁定的適用范圍:

建議綁定的靶材:

ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及燒結(jié)靶材;錫、銦等軟金屬靶;靶材太薄、靶材太貴的情況等。

但下列情況綁定有弊端:

1.熔點(diǎn)低的靶材,像銦、硒等,金屬化的時(shí)候可能會(huì)變軟變形;

2.貴金屬靶材,一是實(shí)際重量易出現(xiàn)分歧,二是金屬化以及解綁的時(shí)候都會(huì)有浪費(fèi)料,建議墊一片銅片。

三.背靶的選擇

對(duì)材質(zhì)的要求:一般選用無(wú)氧銅和鉬靶,厚度在3mm左右;

導(dǎo)電性好:常用無(wú)氧銅,無(wú)氧銅的導(dǎo)熱性比紫銅好;

強(qiáng)度足夠:太薄,易變形,不易真空密封;

結(jié)構(gòu)要求:空心或者實(shí)心結(jié)構(gòu);

厚度適中:3mm左右,太厚,消耗部分磁強(qiáng);太薄,容易變形。 正離子到達(dá)陰極靶面時(shí)由于絕緣層的阻擋,堆積在靶面上,容易產(chǎn)生冷場(chǎng)致弧光放電,使陰極濺射無(wú)法進(jìn)行下去。

拋光片第二部分320呈弧狀,與經(jīng)圓角處理的靶材側(cè)棱相匹配,可對(duì)靶材側(cè)棱進(jìn)行拋光。所述拋光片第三部分330表面為平整的平面,能夠?qū)Π胁膫?cè)壁表面進(jìn)行拋光。因此所述靶材拋光裝置100能夠同時(shí)對(duì)靶材側(cè)壁表面及經(jīng)圓角處理的側(cè)棱進(jìn)行拋光,有助于提高拋光作業(yè)效率。

由于操作人員同時(shí)對(duì)靶材側(cè)壁表面及經(jīng)圓角處理的側(cè)棱進(jìn)行拋光,因此操作人員施加在靶材側(cè)壁表面及側(cè)棱上的力度差異小,拋光工藝結(jié)束后,靶材側(cè)壁表面及經(jīng)圓角處理的側(cè)棱表面具有相近似甚至完全相同的平整度,使得拋光表面具有良好的均一性,有助于改善濺射鍍膜質(zhì)量。若分步驟對(duì)靶材側(cè)壁表面及經(jīng)圓角處理的側(cè)棱表面進(jìn)行拋光,操作人員在兩個(gè)步驟中施加的力度容易差別較大,造成拋光處理后,靶材側(cè)壁表面與側(cè)棱表面粗糙度差異大,使得靶材側(cè)壁表面與側(cè)棱表面交接處具有臺(tái)階。在濺射鍍膜過(guò)程中,所述臺(tái)階容易導(dǎo)致前列放電,影響濺射鍍膜的均一性,造成鍍膜質(zhì)量差。 由于活性反應(yīng)氣體粒子與靶面原子相碰撞產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)生成化合物原子。TiZr靶材型號(hào)

而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。鈦鋁硅靶材價(jià)錢(qián)

什么是3D玻璃? 現(xiàn)在數(shù)碼產(chǎn)品使用的玻璃蓋板分為:2D玻璃,2.5D玻璃,還有3D玻璃。2D玻璃就是普通的純平面玻璃,沒(méi)有任何弧形設(shè)計(jì);2.5D玻璃則為中間是平面的,但邊緣是弧形設(shè)計(jì);而3D屏幕,無(wú)論是中間還是邊緣都采用弧形設(shè)計(jì)。 3D曲面玻璃的特色符合 3C 產(chǎn)品設(shè)計(jì)需求。3C 產(chǎn)品設(shè)計(jì)如智能手機(jī)、智能手表、平板計(jì)算機(jī)、可穿戴式智能產(chǎn)品、儀表板等陸續(xù)出現(xiàn) 3D 產(chǎn)品,已經(jīng)明確引導(dǎo)3D曲面玻璃發(fā)展方向。3D曲面玻璃輕薄、透明潔凈、抗指紋、防眩光、堅(jiān)硬、耐刮傷、耐候性佳等優(yōu)點(diǎn),可型塑做出3D多形狀外觀具有產(chǎn)品特殊設(shè)計(jì)新穎性與質(zhì)感佳,又可增加弧形邊緣觸控功能帶來(lái)出色的觸控手感、無(wú)線充電機(jī)能,并能解決天線布置空間不足及增強(qiáng)收訊功能,使產(chǎn)品更美觀出色,產(chǎn)品設(shè)計(jì)差異化使消費(fèi)者更能青睞。鈦鋁硅靶材價(jià)錢(qián)

江陰典譽(yù)新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國(guó)外的先進(jìn)技術(shù),并通過(guò)與國(guó)內(nèi)外**研發(fā)機(jī)構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢(shì),生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類(lèi)靶材產(chǎn)品。經(jīng)過(guò)幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽(yù)新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽(yáng)能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車(chē)玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時(shí)也為國(guó)內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗(yàn)用靶材。 江陰典譽(yù)目前擁有真空熱壓爐兩臺(tái),冷壓燒結(jié)爐一臺(tái),真空熔煉設(shè)備兩臺(tái),等靜壓設(shè)備一臺(tái),等離子噴涂?jī)商祝壎ㄆ脚_(tái)兩套,各類(lèi)機(jī)加工設(shè)備七臺(tái),檢驗(yàn)設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達(dá)到甚至超過(guò)客戶的預(yù)期。 江陰典譽(yù)秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。

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