磁控濺射離子鍍 (1)在基體和工件上是否施加(直流或脈沖)負偏壓,利用負偏壓對離子的吸引和加速作用,是離子鍍與其它鍍膜類型的一個主要區(qū)別。蒸發(fā)鍍時基體和工件上加有負偏壓就是蒸發(fā)離子鍍 ;多弧鍍時基體和工件上加有負偏壓就是多弧離子鍍;磁控濺射時基體和工件上加有負偏壓就是磁控濺射離子鍍,這是磁控濺射離子鍍技術(shù)的一個重要特點。 (2)磁控濺射離子鍍是把磁控濺射和離子鍍結(jié)合起來的技術(shù)。在同一個真空腔體內(nèi)既可實現(xiàn)氬離子對磁控靶材的穩(wěn)定濺射,又實現(xiàn)了高能靶材離子在基片負偏壓作用下到達基片進行轟擊、濺射、注入及沉積作用過程。整個鍍膜過程都存在離子對基片和工件表面的轟擊,可有效基片和工件表面的氣體和污物;使成膜過程中,膜層表面始終保持清潔狀態(tài)。 (3) 磁控濺射離子鍍可以在膜-基界面上形成明顯的混合過渡層(偽擴散層),提高膜層附著強度;可以使膜層與工件形成金屬間化合物和固熔體,實現(xiàn)材料表面合金化,甚至出現(xiàn)新的晶相結(jié)構(gòu)。 (4)磁控濺射離子鍍形成膜層的膜基結(jié)合力好、膜層的繞鍍性好、膜層組織可控參數(shù)多、膜層粒子總體能量高,容易進行反應(yīng)沉積,可以在較低溫度下獲得化合物膜層。一般靶材拋光后,濺射速率、電壓等工藝參數(shù)比較穩(wěn)定,容易控制。鎮(zhèn)江鈦酸鑭鋰靶材價格
背景技術(shù):濺射鍍膜屬于物相沉積方法制備薄膜的工藝之一,具體是指利用高能粒子轟擊靶材表面,使得靶材原子或分子獲得足夠的能量逸出,并沉積在基材或工件表面,從而形成薄膜。由于背板具有良好的導(dǎo)電導(dǎo)熱性能,且還可以起到固定支撐作用,因此,靶材在鍍膜前需與背板焊接在一起,然后共同裝配至濺射基臺。一般活性金屬靶材,例如鋁靶材,由于長期暴露在空氣中,靶材表面材料容易氧化形成一層氧化皮。在直流脈沖、中頻濺射過程中,離子撞擊的能量不足以破壞該氧化皮,導(dǎo)致靶材原子或分子難以逸出,因此在將靶材安裝至濺射基臺之前,需要對靶材表面進行拋光。此外,對于活性金屬靶材及非活性金屬靶材,拋光操作有利于改善靶材的濺射速率的穩(wěn)定性,有助于提高濺射鍍膜質(zhì)量。武漢Ga靶材反應(yīng)濺射生成物在靶表面、基片表面、和其他結(jié)構(gòu)表面進行。
電致變色智能玻璃的特點: 電致變色智能玻璃在電場作用下具有光吸收透過的可調(diào)節(jié)性,可選擇性地吸收或反射外界的熱輻射和內(nèi)部的熱的擴散,減少辦公大樓和民用住宅在夏季保持涼爽和冬季保持溫暖而必須消耗的大量能源。同時起到改善自然光照程度、防窺的目的。解決現(xiàn)代不斷惡化的城市光污染問題。是節(jié)能建筑材料的一個發(fā)展方向。 調(diào)光玻璃的調(diào)光原理是:在自然狀態(tài)下(斷電不加電場),它內(nèi)部液晶的排列是無規(guī)則的,液晶的折射率比外面聚合物的折射率低,入射光在聚合物上發(fā)生散射,呈乳白色,即不透明。當加上電場(通電)以后,有彌散分布液晶的聚合物內(nèi)液滴重新排列,液晶從無序排列變?yōu)槎ㄏ蛴行蚺帕?,使液晶的折射率與聚合物的折射率相等,入射光完全可以通過,形成透明狀態(tài)。
鋁鈧合金靶材(AlSc),尺寸按需求定制,比列按需求定制,含鈧比較高能做到AlSc45wt%,質(zhì)量優(yōu)異,雜質(zhì)含量低,歡迎新老客戶來電咨詢洽談。江陰典譽新材料科技有限公司生產(chǎn)的金屬鈧,品質(zhì)優(yōu)異,**全球。鋁鈧合金生產(chǎn)歷史悠久,擁有豐富的經(jīng)驗,目前推出的鋁鈧合金靶材已被微電子行業(yè)大型廠商采用。相關(guān)靶材清單如下:稀土合金靶材:鋁鈧AlSc;鈰釓CeGd;鈰鎂CeMg;鈰釤CeSm;鏑鈷DyCo;鏑鐵DyFe;釓銅GdCu;釓鐵GdFe;鈥銅HoCu;鑭鋁LaAl;鑭鎳LaNi;鋁釹AlNd;釹鐵NdFe;釹鐵硼NdFe;鎳鎂鈰NiMgCe;鎳鎂鐵鈰NiMgFeCe;鋱鏑鐵TbDyFe;鋱鐵TbFe;釔鋁YAl;釔銅YCu;釔鐵YFe;釔鎂YMg;釔鎳YNi;釔鋯ZrY為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。
靶材拋光裝置100還包括:防護層400,所述防護層400位于所述固定板200與所述拋光片300之間。防護層400為彈性材料,能夠在所述固定板200及靶材間提供緩沖,避免所述固定板200觸撞靶材導(dǎo)致靶材受損。防護層400的厚度為30mm~35mm。若所述防護層400的厚度過小,所述防護層400起到的緩沖效果差,難以有效的保護靶材。若所述防護層400的厚度過大,使得所述防護層400的體積過大,進而造成所述靶材拋光裝置100的體積過大,對操作者使用所述靶材拋光裝置100帶來不必要的困難。防護層400的材料。在其他實施例中,所述防護層的材料還可以為橡膠或棉花。防護層400與所述固定板200間通過粘結(jié)劑相粘接。所述防護層400與所述拋光片300間也通過粘結(jié)劑相粘接。在其他實施例中,所述拋光片朝向所述防護層的表面上具有勾刺結(jié)構(gòu),所述防護層與所述拋光片間通過所述勾刺結(jié)構(gòu)相固定。濺射靶材的制備按工藝可分為熔融鑄造和粉末冶金兩大類。成都五元合金靶材廠家
而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。鎮(zhèn)江鈦酸鑭鋰靶材價格
陽光控制鍍膜玻璃的優(yōu)點 陽光控制鍍膜玻璃主要就是為了遮光隔熱,根據(jù)它的物理特性也叫做熱反射鍍膜玻璃,在普通的透明玻璃上通過磁控濺射真空鍍膜機鍍上一層或多層薄膜,在這里我們簡稱反射玻璃。 反射玻璃相對于普通透明玻璃而言,在太陽能的反射性能上,反射玻璃一次的反射比普通玻璃高出4.3倍,第二次的反射高出3.1倍,總的反射就高出3.6倍了;在遮蔽系數(shù)上,反射玻璃比普通玻璃減少0.18,系數(shù)越少,遮光效果就會越好的,減少太陽輻射和熱能的透射;在可見光的反射和透射上,反射玻璃比普通玻璃反射增加了20%~38%,透射減少了55%~70%,具有良好的遮光性能;在傳熱系數(shù)上,反射玻璃比普通玻璃降低了0.4W(m2.K),具有良好的隔熱性能。 利用其良好的遮光和隔熱性能,可以大降低在室內(nèi)制冷和保暖的花費,是一種非常好的節(jié)能產(chǎn)品,而且可以通過不同的金屬或金屬化合物為靶材,鍍制出不同顏色的反射膜,常見的顏色有茶色、灰色、金黃色、古銅色、褐色、珊瑚黃色,通過不同的配搭,達到裝飾的效果,即美觀又節(jié)能。鎮(zhèn)江鈦酸鑭鋰靶材價格
江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術(shù),并通過與國內(nèi)外**研發(fā)機構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時也為國內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結(jié)爐一臺,真空熔煉設(shè)備兩臺,等靜壓設(shè)備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設(shè)備七臺,檢驗設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達到甚至超過客戶的預(yù)期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。