PVD技術(shù)簡介PVD技術(shù)是在真空中將鈦、金、石墨、水晶等金屬或非金屬、氣體等材料利用濺射、蒸發(fā)或離子鍍等技術(shù),在基材上形成薄膜的一種表面處理過程。與傳統(tǒng)化學鍍膜方法相比,PVD有很多優(yōu)點:如對環(huán)境無污染,是綠色環(huán)保工藝;對操作者無傷害;膜層牢固、致密性好、抗腐蝕性強,膜厚均勻。PVD技術(shù)中經(jīng)常使用的方法主要有:蒸發(fā)鍍膜(包括電弧蒸發(fā)、電子蒸發(fā)、電阻絲蒸發(fā)等技術(shù))、濺射鍍膜(包括直流磁控濺射、中頻磁控濺射、射頻濺射等技術(shù)),這些方法統(tǒng)稱物相沉積(PhysicalVaporDeposition),簡稱為PVD。行業(yè)內(nèi)通常所說的“IP”(ionplating)離子鍍膜,是因為在PVD技術(shù)中各種氣體離子和金屬離子參與成膜過程并起到重要作用,為了強調(diào)離子的作用,而統(tǒng)稱為離子鍍膜。靶材密度越高,薄膜的性能越好。鎮(zhèn)江氟化鋇靶
陽光控制鍍膜玻璃的優(yōu)點 陽光控制鍍膜玻璃主要就是為了遮光隔熱,根據(jù)它的物理特性也叫做熱反射鍍膜玻璃,在普通的透明玻璃上通過磁控濺射真空鍍膜機鍍上一層或多層薄膜,在這里我們簡稱反射玻璃。 反射玻璃相對于普通透明玻璃而言,在太陽能的反射性能上,反射玻璃一次的反射比普通玻璃高出4.3倍,第二次的反射高出3.1倍,總的反射就高出3.6倍了;在遮蔽系數(shù)上,反射玻璃比普通玻璃減少0.18,系數(shù)越少,遮光效果就會越好的,減少太陽輻射和熱能的透射;在可見光的反射和透射上,反射玻璃比普通玻璃反射增加了20%~38%,透射減少了55%~70%,具有良好的遮光性能;在傳熱系數(shù)上,反射玻璃比普通玻璃降低了0.4W(m2.K),具有良好的隔熱性能。 利用其良好的遮光和隔熱性能,可以大降低在室內(nèi)制冷和保暖的花費,是一種非常好的節(jié)能產(chǎn)品,而且可以通過不同的金屬或金屬化合物為靶材,鍍制出不同顏色的反射膜,常見的顏色有茶色、灰色、金黃色、古銅色、褐色、珊瑚黃色,通過不同的配搭,達到裝飾的效果,即美觀又節(jié)能。武漢平面靶費用壓靶蓋旋的過緊,沒有和靶材之間留下適當?shù)木嚯x,調(diào)整距離即可。
磁控濺射鍍膜中出現(xiàn)膜層不良的表現(xiàn)有哪些,如何改善? 1.脫膜主要表現(xiàn):點狀/片狀膜層脫落 原因分析:雜質(zhì)附著,清洗殘留,真空室臟,臟污、油斑、灰點、口水點, 膜層局部附著不良等。 改善:加強清洗,加強烘烤,環(huán)境管控(清潔干燥),對于多層膜系,底層須與基材匹配(吸附力、硬度、熱膨脹)。 2.裂紋/暴膜主要表現(xiàn): 網(wǎng)狀裂痕/龜裂/起泡脫膜,出爐外觀OK,放置一段時間后爆裂/起泡脫膜。 原因分析:鍍膜過程基材加熱不充分,成膜后及出爐后降溫過快,膜層應力累積, 膜層與基材不匹配,多層膜之間參數(shù)不匹配。 改善: 基材充分預熱加熱;增加離子輔助,減小應力;鍍膜緩慢降溫;底層須與基材匹配;多層膜之間參數(shù)不突變。 3,色差主要表現(xiàn):同爐產(chǎn)品顏色不一致 原因分析及改善:靶材分布;布氣;磁場;遮擋。
真空離子鍍在航空航天方面的應用: 在現(xiàn)代飛機、航空發(fā)動機或航空儀表中,特別是在航宇器,如宇宙飛船、人造衛(wèi)星中,有不少旋轉(zhuǎn)零件都要求有良好的潤滑,但往往由于封存過久、環(huán)境溫度過高或太空揮發(fā)等原因,普通油脂潤滑劑已不再適用,從而提出以固體潤滑劑代替。試驗表明,用離子鍍來制作固體潤滑膜,比現(xiàn)有其他方法為優(yōu)。不但附著力強,鍍層又薄又勻,不影響零件的尺寸精度和公差配合。經(jīng)濟性也好,少許潤滑材料即可鍍很大面積。潤滑膜的質(zhì)量也較好,摩擦系數(shù)小,使用壽命也長。例如有一個人造衛(wèi)星上的精密軸承,未鍍前工作壽命為幾分鐘,根本無法使用;但是經(jīng)離子鍍固體潤滑膜后,則可在飛行中可靠地工作數(shù)千小時之久。離子鍍不能夠鍍許多種常溫固體潤滑材料,而且還能鍍復各種高溫固體潤滑材料,有的甚至可以在攝氏八百度以上的高溫下發(fā)揮良好的潤滑作用??慑兊墓腆w潤滑材料有銀、金、銅、鉛、鉛錫合金、氟化物等。為確保足夠的導熱性,可以在陰極冷卻壁與靶材之間加墊一層石墨紙。
濺射過程不影響靶材合金、混合材質(zhì)的比例和性質(zhì),所以如果是表面容易變質(zhì)的靶材,如果不拋光去除表面變質(zhì)部分,沉積到基材上的膜層性質(zhì)就是表面變質(zhì)的雜質(zhì)。
有一部分靶材在安裝之前需要拋光,比如鋁靶材等活性金屬靶材,長期暴露在大氣中,表面容易形成一層氧化皮,在直流脈沖、中頻濺射過程中,離子撞擊的能量不足以破壞氧化皮,所以一般在濺射的時候進行物理拋光。
一般靶材拋光后,濺射速率、電壓等工藝參數(shù)比較穩(wěn)定,容易控制。
所以結(jié)論就是,活性金屬靶材要求表面拋光,不活潑金屬靶材不一定非要求表面拋光。其他非金屬的靶材不需要拋光。 靶中毒的解決辦法:采用孿生靶。無錫鋅鋁靶選型
一般情況下磁控濺射的濺射電壓在400V-600V之間,當發(fā)生靶中毒時,濺射電壓會***降低。鎮(zhèn)江氟化鋇靶
真空鍍膜設備替代電鍍設備是發(fā)展的必然 2012年全國化學電鍍產(chǎn)生的污水和重金屬排放量達到3.5億噸,固體廢物達到4.1萬噸,酸性氣體達到2.3萬立方米,由于真空鍍膜設備逐漸應用到市場上,污染排放量比2011年有所下降,但仍是一個不可忽視的數(shù)據(jù),為處理這大量的污染,大部分企業(yè)已投放了共5868.1億元在污水治理方面,464.8億元在固體廢物治理方面,974.9億元在酸性氣體治理方面,但仍然有部分企業(yè)沒有完善治理措施,造成大量污染。 使用真空鍍膜設備進行電鍍可以有效改善污染情況,它不像化學電鍍需要使用重金屬溶液和酸性溶液進行鍍膜,而是在真空環(huán)境下利用蒸發(fā)或濺射方式進行鍍膜,完全沒有污染產(chǎn)生,是一種綠色低碳、符合可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略的產(chǎn)業(yè),已經(jīng)越來越多企業(yè)淘汰了舊方式化學電鍍而轉(zhuǎn)用真空電鍍,但還有很多企業(yè)沒意識到環(huán)保的重要性,不懂得綠色生產(chǎn)其實是為自己和后代創(chuàng)建美好生存環(huán)境的道理。 綠色環(huán)保產(chǎn)業(yè)是必然的發(fā)展趨勢,造成嚴重污染的化學電鍍終會退出歷史舞臺,取而代之的是真空電鍍,利用真空鍍膜機鍍膜成為主流是不可質(zhì)疑的。鎮(zhèn)江氟化鋇靶
江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術(shù),并通過與國內(nèi)外**研發(fā)機構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領域。同時也為國內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結(jié)爐一臺,真空熔煉設備兩臺,等靜壓設備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設備七臺,檢驗設備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。