非晶硅薄膜 多晶硅薄膜具有較高的電遷移率和穩(wěn)定的光電性能,是制備微電子器件、薄膜晶體管、大面積平板液晶顯示的質(zhì)量材料。多晶硅薄膜被公認為是制備低耗、理想的薄膜太陽能電池的材料。因此,如何制備多晶硅薄膜是一個非常有意義的研究課題。固相法是制備多晶硅薄膜的一種常用方法,它是在高溫退火的條件下,使非晶硅薄膜通過固相相變而成為多晶硅薄膜。本文采用固相法,利用X- ray 衍射及拉曼光譜,對用不同方法制備的非晶硅薄膜的晶化過程進行了系統(tǒng)地研究。 在硅薄膜太陽能電池材料中,非晶硅薄膜太陽能電池制造工藝相對簡單,但是存在光電轉(zhuǎn)換效率低,壽命短,穩(wěn)定性不好,并且存在光致衰退效應(yīng)(S-W 效應(yīng))等缺點。單晶硅薄膜太陽能電池因為制作工藝和制作成本等原因始終得不到推廣,而多晶硅薄膜材料在長波段具有光敏性,能有效的吸收可見光并且具有光照穩(wěn)定性。真空鍍膜中靶材中毒會出現(xiàn)哪些想象,如何解決?鎮(zhèn)江Pt靶材價格
鈀,是銀白色過渡金屬,較軟,有良好的延展性和可塑性,能鍛造、壓延和拉絲。塊狀金屬鈀能吸收大量氫氣,使體積脹大,變脆乃至破裂成碎片。 ;原子量:106.4 ;密度(20℃)/g?cm-3:12.02 ;熔點/℃:1552 ;蒸發(fā)溫度/℃:1460 ;沸點/℃:3140 ;汽化溫度/℃:1317 ;比熱容(25℃)J?(g?K)-1:0.2443 ;電阻率(0℃)/uΩ?cm:10.6 ;熔化熱/kJ?mol-1:16.7 ;汽化熱/kJ?mol-1:361.7 ;熱導(dǎo)率(0~100℃)/J?(cm?s?℃)-1:0.753 ;電阻溫度系數(shù)(0~100℃)/℃-1:0.0038 ;外觀:銀白色 ;蒸發(fā)源(絲、片):W(鍍Al2O3) ;坩堝:Al2O3 ;性質(zhì):與難溶金屬形成合金,閃爍蒸發(fā),在EB***內(nèi)激烈飛濺,鈀是銀白色過渡金屬,較軟,有良好的延展性和可塑性,能鍛造、壓延和拉絲。塊狀金屬鈀能吸收大量氫氣,使體積***脹大,變脆乃至破裂成碎片?;瘜W(xué)性質(zhì)不活潑,常溫下在空氣和潮濕環(huán)境中穩(wěn)定,加熱至800℃,鈀表面形成一氧化鈀薄膜。蘇州定制合金靶材作用由金屬靶面通過反應(yīng)濺射工藝形成化合物的過程中,化合物是在哪里形成的呢?
NCVM不導(dǎo)電膜是什么,它有哪些特點? NCVM又稱不連續(xù)鍍膜技術(shù)或不導(dǎo)電電鍍技術(shù),是一種起緣普通真空電鍍的高新技術(shù)。真空電鍍,簡稱VM,是vacuum metallization的縮寫。它是指金屬材料在真空條件下,運用化學(xué)、物理等特定手段進行有機轉(zhuǎn)換,使金屬轉(zhuǎn)換成粒子,沉積或吸附在塑膠材料的表面,形成膜,也就是我們所謂的鍍膜。真空不導(dǎo)電電鍍,又稱NCVM,是英文Non conductive vacuum metallization的縮寫。它的加工工藝高于普通真空電鍍,其加工制程比普通制程要復(fù)雜得多。 NCVM特點是采用鍍出金屬及絕緣化合物等薄膜,利用各相不連續(xù)之特性,得到外觀有金屬質(zhì)感且不影響到無線通訊傳輸之效果。首先要實現(xiàn)不導(dǎo)電,滿足無線通訊產(chǎn)品的正常使用;其次要保證“金屬質(zhì)感”這一重要的外觀要求;通過UV涂料與鍍膜層結(jié)合,保證產(chǎn)品的物性和耐候性,滿足客戶需求。
靶材的比較大厚度為20-30mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu);所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角≤10°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之間;所述平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質(zhì)包括鋁、鉭、鈦或銅中的一種;所述背板的材質(zhì)包括銅和/或鋁。與現(xiàn)有技術(shù)方案相比,本發(fā)明具有以下有益效果:本發(fā)明中,通過調(diào)整靶材表面的高度差及硬度,利用二者之間的協(xié)同效果保證濺射強度,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。下面對本發(fā)明進一步詳細說明。但下述的實例 是本發(fā)明的簡易例子,并不**或限制本發(fā)明的權(quán)利保護范圍,本發(fā)明的保護范圍以權(quán)利要求書為準。具體實施方式為更好地說明本發(fā)明,便于理解本發(fā)明的技術(shù)方案,本發(fā)明的典型但非限制性的實施例如下:實施例1本實施例提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為;所述靶材表面的硬度為23hv對于所有的金屬來說,純度是靶材的主要性能指標之一,靶材的純度對后期產(chǎn)品薄膜的性能影響很大。
所述防護層400包括防護層和第二防護層,所述防護層覆蓋所述頂板210底部表面;所述第二防護層覆蓋所述側(cè)板220的內(nèi)側(cè)面。所述防護層表面與第二防護層表面相垂直。本實施例中,所述防護層與第二防護層厚度相等。本實施例中,所述防護層與第二防護層為一體成型。在其他實施例中,所述防護層及第二防護層還可以為分體的。本實施例中,所述靶材拋光裝置100還包括:把手,所述把手設(shè)置于所述固定板200的外表面上。為便于操作人員雙手抓握,所述把手的數(shù)量為兩個,其中一個所述把手設(shè)置于所述固定板200的頂部,另一個所述把手設(shè)置于所述固定板200的側(cè)壁上,該設(shè)置方式有利于提高操作人員手持所述靶材拋光裝置100進行拋光作業(yè)的便捷性。本實施例中,兩個所述把手分別為把手510和第二把手520,所述把手510設(shè)置于所述頂板210上,所述第二把手520設(shè)置于所述側(cè)板220上。選擇能實現(xiàn)快速致密化的成形燒結(jié)技術(shù),以保證靶材的低孔隙率,并控制晶粒度。蘇州定制合金靶材作用
采用閉環(huán)控制反應(yīng)氣體的通入量。鎮(zhèn)江Pt靶材價格
磁控濺射鍍膜生產(chǎn)ZnO∶Al(AZO)薄膜的工藝探討 目前主要的薄膜太陽能電池有:碲化鎘(CdTe)系薄膜太陽能電池、硒銦銅(CIS)系薄膜太陽能電池、非晶硅系薄膜太陽能電池、晶硅系薄膜太陽能電池。研究人員研制出了價格低廉、原材料豐富且性能穩(wěn)定的絨面ZnO∶Al陷光結(jié)構(gòu)來作為薄膜太陽能電池的前電極。具有彈坑狀絨面結(jié)構(gòu)的AZO透明導(dǎo)電薄膜可以增強太陽光的散射作用,改善陷光效果,增加電池對太陽能的吸收量,提高薄膜太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率。磁控濺射鍍膜工藝在玻璃襯底上制作AZO透明導(dǎo)電薄膜具有成膜速度快、膜層均勻、成膜面積大等優(yōu)點,是較為合適的生產(chǎn)AZO薄膜的工藝方法。 目前由磁控濺射工藝生產(chǎn)透明導(dǎo)電薄膜AZO時所用靶材有兩種類型:①陶瓷AZO靶材;②合金鋅鋁靶材。應(yīng)根據(jù)實際情況,選擇適合本企業(yè)的靶材產(chǎn)品。 作為一種新的TCO材料,AZO相對于ITO和FTO有很大優(yōu)勢,要大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化還必須在如何降低設(shè)備及工藝成本上進一步研發(fā)。從根本上說,AZO薄膜的結(jié)構(gòu)性能的好壞決定了其光電性能的優(yōu)劣,必須在工藝參數(shù)上多做研究,實現(xiàn)高質(zhì)量和低成本的雙贏。鎮(zhèn)江Pt靶材價格
江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術(shù),并通過與國內(nèi)外**研發(fā)機構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時也為國內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結(jié)爐一臺,真空熔煉設(shè)備兩臺,等靜壓設(shè)備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設(shè)備七臺,檢驗設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達到甚至超過客戶的預(yù)期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好。”的發(fā)展理念。