磁控濺射鍍膜生產ZnO∶Al（AZO）薄膜的工藝探討 目前主要的薄膜太陽能電池有：碲化鎘（CdTe）系薄膜太陽能電池、硒銦銅（CIS）系薄膜太陽能電池、非晶硅系薄膜太陽能電池、晶硅系薄膜太陽能電池。研究人員研制出了價格低廉、原材料豐富且性能穩(wěn)定的絨面ZnO∶Al陷光結構來作為薄膜太陽能電池的前電極。具有彈坑狀絨面結構的AZO透明導電薄膜可以增強太陽光的散射作用，改善陷光效果，增加電池對太陽能的吸收量，提高薄膜太陽能電池的轉換效率。磁控濺射鍍膜工藝在玻璃襯底上制作AZO透明導電薄膜具有成膜速度快、膜層均勻、成膜面積大等優(yōu)點，是較為合適的生產AZO薄膜的工藝方法。 目前由磁控濺射工藝生產透明導電薄膜AZO時所用靶材有兩種類型：①陶瓷AZO靶材；②合金鋅鋁靶材。應根據實際情況，選擇適合本企業(yè)的靶材產品。 作為一種新的TCO材料，AZO相對于ITO和FTO有很大優(yōu)勢，要大規(guī)模產業(yè)化還必須在如何降低設備及工藝成本上進一步研發(fā)。從根本上說，AZO薄膜的結構性能的好壞決定了其光電性能的優(yōu)劣，必須在工藝參數上多做研究，實現高質量和低成本的雙贏。而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。合肥Fe靶材
真空離子鍍耐高溫性能： 航空零件，特別是許多發(fā)動機零件往往需要在高溫下工作。例如渦輪葉片及導向葉片工作溫度通常在攝氏一千度左右，有的甚至達攝氏一千四百度。神話小說《西游記》里孫悟空被太上老君放在爐內燒煉時，恐怕也達不到這么高的溫度吧?，F代航空發(fā)動機零件在這樣高的溫度下工作，依賴零件基體材料本身的性能是很難滿足要求的。那么，發(fā)動機零件怎樣才能不怕高溫燒蝕呢?目前除在零件結構上采取措施(如采用空心冷卻葉片、發(fā)散冷卻葉片等)以外，大都需用耐熱鍍層進行保護。離子鍍對于沉積耐熱膜有相當多的優(yōu)點，能鍍各種高熔點材料，如氧化鋁、氧化硅、氧化鈹、鉿合金等。合金鍍層的成份也比較容易控制，適合于鍍成分較復雜的耐熱合金，如鐵鉻鋁釔，鈷鉻鋁釔或鎳鉻鋁釔合金等。 目前渦輪葉片是試圖采用離子鍍耐熱鍍層的主要對象。據悉，有一種葉片用此法鍍復一種鎳鉻鋁釔合金后，其高溫工作壽命比鍍鋁提高了三倍。適于采用離子鍍耐熱鍍層的發(fā)動機零件還有渦輪盤、氣缸活塞零件等。有些零件經過這種先進工藝處理后，可在高溫下工作上千小時。成都鐵鎳靶材作用靶面金屬化合物的形成。
等離子預處理工藝在真空鍍鋁膜中的應用。 等離子體是電離了的氣體。它由電子、離子和中性粒子3種成分組成，其中電子和離子的電荷總數基本相等，故整體是電中性的。在基材薄膜鍍鋁前，通過等離子處理裝置將電離的等離子體中的電子或離子打到基材薄膜表面，一方面，可以打開材料的長分子鏈，出現高能基團；另一方面，經打擊使薄膜表面出現細小的凹陷，同時還可使表面雜質離解、重解。電離時放出的臭氧有強氧化性，附著的雜質被氧化而除去，使鍍鋁基材薄膜的表面自由能提高，達到提高鍍鋁層附著牢度的目的。 等離子預處理技術在不同公司其稱呼不同，如英國Bobst公司、德國Leybold Optic萊寶光電等稱之為等離子預處理，美國Applied Material公司稱之為輝光放電，英國Rexam公司為其注冊商標為Camplus技術。另外，不同公司其使用的工藝氣體的組分也有所不同，多數公司使用氧氣和氬氣的組合，也有少數公司使用氮氣或氧氣與氮氣的組合。實踐證明經過等離子處理后的薄膜其鍍鋁層附著牢度可以提高30-50%，且表現為非極性材料提高幅度高于極性材料。
利用原子力顯微鏡(AFM)和掃描電子顯微鏡(SEM)，對所制備的非晶硅薄膜進行了定性和定量的表征，研究了濺射功率、襯底溫度、濺射時間、氬氣氣壓等因素對非晶硅薄膜表面形貌和厚度的影響。實驗結果表明：非晶硅薄膜的表面粗糙度會隨濺射功率、濺射時間和濺射氣壓的增加而增大，而隨著襯底加熱溫度的增加而減小。 對制備的非晶硅薄膜在不同溫度和時間進行了退火處理。再利用X- 射線衍射儀(XRD)和拉曼光譜儀，對不同退火溫度的樣品進行晶化程度的表征。實驗結果表明：不同條件制備的非晶硅薄膜在750℃退火1 h 后就已發(fā)生不同程度的晶化，并且直流磁控濺射制備的非晶硅薄膜比射頻磁控濺射制備的非晶硅薄膜更容易發(fā)生晶化;退火溫度越高，非晶硅薄膜晶化速率越快。 此外，通過拉曼激光誘導晶化，結果表明：拉曼激光誘導非晶硅晶化為局域晶化，具有晶化速度快的特點;晶化過程中，需要控制激光強度，過強的激光會把非晶硅薄膜燒蝕掉。選擇高純、超細粉末作為原料。
拋光片第二部分320呈弧狀，與經圓角處理的靶材側棱相匹配，可對靶材側棱進行拋光。所述拋光片第三部分330表面為平整的平面，能夠對靶材側壁表面進行拋光。因此所述靶材拋光裝置100能夠同時對靶材側壁表面及經圓角處理的側棱進行拋光，有助于提高拋光作業(yè)效率。由于操作人員同時對靶材側壁表面及經圓角處理的側棱進行拋光，因此操作人員施加在靶材側壁表面及側棱上的力度差異小，拋光工藝結束后，靶材側壁表面及經圓角處理的側棱表面具有相近似甚至完全相同的平整度，使得拋光表面具有良好的均一性，有助于改善濺射鍍膜質量。若分步驟對靶材側壁表面及經圓角處理的側棱表面進行拋光，操作人員在兩個步驟中施加的力度容易差別較大，造成拋光處理后，靶材側壁表面與側棱表面粗糙度差異大，使得靶材側壁表面與側棱表面交接處具有臺階。在濺射鍍膜過程中，所述臺階容易導致前列放電，影響濺射鍍膜的均一性，造成鍍膜質量差。壓靶蓋旋的過緊，沒有和靶材之間留下適當的距離，調整距離即可。無錫銅鉻鎳靶材費用
在直流脈沖、中頻濺射過程中，離子撞擊的能量不足以破壞氧化皮。合肥Fe靶材
NCVM不導電膜是什么，它有哪些特點？ NCVM又稱不連續(xù)鍍膜技術或不導電電鍍技術，是一種起緣普通真空電鍍的高新技術。真空電鍍，簡稱VM，是vacuum metallization的縮寫。它是指金屬材料在真空條件下，運用化學、物理等特定手段進行有機轉換，使金屬轉換成粒子，沉積或吸附在塑膠材料的表面，形成膜，也就是我們所謂的鍍膜。真空不導電電鍍，又稱NCVM，是英文Non conductive vacuum metallization的縮寫。它的加工工藝高于普通真空電鍍，其加工制程比普通制程要復雜得多。 NCVM特點是采用鍍出金屬及絕緣化合物等薄膜，利用各相不連續(xù)之特性，得到外觀有金屬質感且不影響到無線通訊傳輸之效果。首先要實現不導電，滿足無線通訊產品的正常使用；其次要保證“金屬質感”這一重要的外觀要求；通過UV涂料與鍍膜層結合，保證產品的物性和耐候性，滿足客戶需求。合肥Fe靶材
江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市，是一家專業(yè)生產濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司，濺射靶材充分借鑒國外的先進技術，并通過與國內外**研發(fā)機構合作，整合各行業(yè)資源優(yōu)勢，生產出多系列***濺射靶材產品。 公司目前主要生產金屬，合金，陶瓷三大類靶材產品。經過幾年的發(fā)展和技術積累，已經擁有：真空熱壓，冷壓燒結，真空熔煉，熱等靜壓，等離子噴涂等技術。另外也可根據客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材：平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領域。同時也為國內外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺，冷壓燒結爐一臺，真空熔煉設備兩臺，等靜壓設備一臺，等離子噴涂兩套，綁定平臺兩套，各類機加工設備七臺，檢驗設備若干，確保出廠的每件產品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承：“一切以客戶的需求為導向，客戶的所有需求一次做好。”的發(fā)展理念。