合肥鉻鎳靶材型號

來源: 發(fā)布時間:2021-12-07

有一部分靶材在安裝之前需要拋光,比如鋁靶材等活性金屬靶材,長期暴露在大氣中,表面容易形成一層氧化皮,在直流脈沖、中頻濺射過程中,離子撞擊的能量不足以破壞氧化皮,所以一般在濺射的時候進(jìn)行物理拋光。一般靶材拋光后,濺射速率、電壓等工藝參數(shù)比較穩(wěn)定,容易控制。所以結(jié)論就是,活性金屬靶材要求表面拋光,不活潑金屬靶材不一定非要求表面拋光。其他非金屬的靶材不需要拋光。靶材安裝及注意事項有哪些?濺射靶材安裝過程中重要的注意事項是一定要確保在靶材和濺射頭冷卻壁之間建立很好的導(dǎo)熱連接。如果用冷卻壁的翹曲程度嚴(yán)重或背板翹曲嚴(yán)重會造成靶材安裝時發(fā)生開裂或彎曲,背靶到靶材的導(dǎo)熱性能就會受到很大的影響,導(dǎo)致在濺射過程中熱量無法散發(fā)終會造成靶材開裂或脫靶。濺射過程不影響靶材合金、混合材質(zhì)的比例和性質(zhì)。合肥鉻鎳靶材型號

靶材拋光裝置100對所述靶材600進(jìn)行拋光時,將所述靶材拋光裝置100放置于所述靶材600上,使所述拋光片第二部分320表面與所述靶材600的側(cè)棱601表面相貼合,并使所述拋光片部分310表面與所述靶材濺射面610相貼合,且所述拋光片第三部分330表面與所述靶材600的側(cè)壁表面630相貼合。操作人員利用所述把手推動所述靶材拋光裝置100,所述靶材拋光裝置100相對所述靶材600移動,移動方向平行與被拋光的所述側(cè)棱601延伸方向。所述拋光片300表面的磨砂顆粒與靶材600表面相摩擦,以獲得光亮、平整的靶材600表面。此外,還可以通過所述靶材拋光裝置100同時對所述靶材600相交接的兩個側(cè)壁表面630進(jìn)行拋光。具體的,所述拋光片***部分310與所述靶材600的一個側(cè)壁表面630相貼合,所述拋光片第三部分330表面與所述靶材600的另一個側(cè)壁表面630相貼合,所述拋光片第二部分320表面與位于兩個側(cè)壁表面630間的側(cè)棱601表面相貼合。操作人員相對所述靶材600移動所述靶材拋光裝置100,移動方向平行與被拋光的所述側(cè)棱601延伸方向,從而可同時對所述靶材600的兩個側(cè)壁表面630進(jìn)行拋光,且還同時對位于兩個側(cè)壁表面630間的側(cè)棱601表面進(jìn)行拋光,有助于提高拋光作業(yè)效率。上海硫化鎢靶材圖片一般靶材拋光后,濺射速率、電壓等工藝參數(shù)比較穩(wěn)定,容易控制。

陰-陽極間距對靶濺射電壓的影響   真空氣體放電陰-陽極間距能夠?qū)Π袨R射電壓造成一定的影響。在陰-陽極間距偏大時,等效氣體放電的內(nèi)阻主要由等離子體等效內(nèi)阻決定,反之,在陰-陽極間距偏小時,將會導(dǎo)致等離子體放電的內(nèi)阻呈現(xiàn)較小數(shù)值。由于在磁控靶點(diǎn)火起輝后進(jìn)入正常濺射時,如果陰-陽極間距過小,由于靶電源輸出的濺射電壓具有一定的軟負(fù)載特性,就有可能出現(xiàn)在濺射電流已達(dá)工藝設(shè)定值時,靶濺射電壓始終很低又調(diào)不起來的狀況。“工藝型”靶電源可以改善和彌補(bǔ)這種狀況;而“經(jīng)濟(jì)型”靶電源對這種狀況無能為力。   1. 孿生靶(或雙磁控靶)陰-陽極間距   對稱雙極脈沖中頻靶電源和正弦波中頻靶電源帶孿生靶或雙磁控靶運(yùn)行時,建議其兩交變陰-陽極的小極間距不應(yīng)小于2英2口寸;   2. 單磁控靶陰-陽極間距   靶電源帶單磁控靶運(yùn)行時,一般都不存在這方面問題;但是,在小真空室?guī)чL矩形平面磁控單靶時容易忽略這個問題,磁控靶面與真空室金屬殼體內(nèi)壁的小極間距一般亦建議不小于2英2口寸。

什么是電致變色,它有哪些分類:   電致變色是指材料的光學(xué)屬性(反射率、透過率、吸收率等)在外加電場的作用下發(fā)生穩(wěn)定、可逆的顏色變化的現(xiàn)象,在外觀上表現(xiàn)為顏色和透明度的可逆變化。具有電致變色性能的材料稱為電致變色材料,用電致變色材料做成的器件稱為電致變色器件。 電致變色材料分類: 一、無機(jī)電致變色材料   無機(jī)電致變色材料的典型是三氧化鎢,目前,以WO3為功能材料的電致變色器件已經(jīng)產(chǎn)業(yè)化。 二、有機(jī)電致變色材料   有機(jī)電致變色材料主要有聚噻吩類及其衍生物、紫羅精類、四硫富瓦烯、金屬酞菁類化合物等。以紫羅精類為功能材料的電致變色材料已經(jīng)得到實(shí)際應(yīng)用。導(dǎo)電膠:采用的導(dǎo)電膠要耐高溫,厚度在0.02-0.05um。

高純金屬的概念: 任何金屬都不能達(dá)到純?!案呒儭焙汀俺儭本哂邢鄬Φ暮x,是指技術(shù)上達(dá)到的標(biāo)準(zhǔn)。由于技術(shù)的發(fā)展,也常使“超純”的標(biāo)準(zhǔn)升級。例如過去高純金屬的雜質(zhì)為 ppm級(即百萬分之幾),而超純半導(dǎo)體材料的雜質(zhì)達(dá)ppb級(十億分之幾),并將逐步發(fā)展到以ppt級(一萬億分之幾)表示。實(shí)際上純度以幾個“9”(N)來表示(如雜質(zhì)總含量為百萬分之一,即稱為6個“9”或6N),是不完整概念,如電子器件用的超純硅以金屬雜質(zhì)計算,其純度相當(dāng)于9 個“9”。 但如計入碳,則可能不到6個“9”?!俺儭钡南鄬γ~是指“雜質(zhì)”,廣義的雜質(zhì)是指化學(xué)雜質(zhì)(元素)及“物理雜質(zhì)”,后者是指位錯及空位等,而化學(xué)雜質(zhì)是指基體以外的原子以代位或填隙等形式摻入。但只當(dāng)金屬純度達(dá)到很高的標(biāo)準(zhǔn)時(如純度 9N 以上的金屬),物理雜質(zhì)的概念才是有意義的, 因此目前工業(yè)生產(chǎn)的金屬仍是以化學(xué)雜質(zhì)的含量作為標(biāo)準(zhǔn),即以金屬中雜質(zhì)總含量為百萬分之幾表示。陽極消失:靶中毒時,接地的真空室壁上也沉積了絕緣膜,到達(dá)陽極的電子無法進(jìn)入陽極,形成陽極消失現(xiàn)象。揚(yáng)州WC+Co靶材工廠

為確保足夠的導(dǎo)熱性,可以在陰極冷卻壁與靶材之間加墊一層石墨紙。合肥鉻鎳靶材型號

靶材的比較大厚度為30mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu);所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為8°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之間;所述***平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質(zhì)包括鈦;所述背板的材質(zhì)包括銅。所得靶材組件濺射強(qiáng)度好,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。本實(shí)施例提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點(diǎn)和比較低點(diǎn)的垂直距離為5.8mm;所述靶材表面的硬度為22hv;其中,所述靶材的比較大厚度為28mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu);所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為3°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之間;所述***平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質(zhì)包括鉭;所述背板的材質(zhì)包括銅。合肥鉻鎳靶材型號

江陰典譽(yù)新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進(jìn)技術(shù),并通過與國內(nèi)外**研發(fā)機(jī)構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽(yù)新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時也為國內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽(yù)目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結(jié)爐一臺,真空熔煉設(shè)備兩臺,等靜壓設(shè)備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機(jī)加工設(shè)備七臺,檢驗設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達(dá)到甚至超過客戶的預(yù)期。 江陰典譽(yù)秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好。”的發(fā)展理念。

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