成都碳化鎢靶材

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2021-12-17

真空離子鍍?cè)诤娇蘸教旆矫娴膽?yīng)用: 在現(xiàn)代飛機(jī)、航空發(fā)動(dòng)機(jī)或航空儀表中,特別是在航宇器,如宇宙飛船、人造衛(wèi)星中,有不少旋轉(zhuǎn)零件都要求有良好的潤(rùn)滑,但往往由于封存過(guò)久、環(huán)境溫度過(guò)高或太空揮發(fā)等原因,普通油脂潤(rùn)滑劑已不再適用,從而提出以固體潤(rùn)滑劑代替。試驗(yàn)表明,用離子鍍來(lái)制作固體潤(rùn)滑膜,比現(xiàn)有其他方法為優(yōu)。不但附著力強(qiáng),鍍層又薄又勻,不影響零件的尺寸精度和公差配合。經(jīng)濟(jì)性也好,少許潤(rùn)滑材料即可鍍很大面積。潤(rùn)滑膜的質(zhì)量也較好,摩擦系數(shù)小,使用壽命也長(zhǎng)。例如有一個(gè)人造衛(wèi)星上的精密軸承,未鍍前工作壽命為幾分鐘,根本無(wú)法使用;但是經(jīng)離子鍍固體潤(rùn)滑膜后,則可在飛行中可靠地工作數(shù)千小時(shí)之久。離子鍍不能夠鍍?cè)S多種常溫固體潤(rùn)滑材料,而且還能鍍復(fù)各種高溫固體潤(rùn)滑材料,有的甚至可以在攝氏八百度以上的高溫下發(fā)揮良好的潤(rùn)滑作用。可鍍的固體潤(rùn)滑材料有銀、金、銅、鉛、鉛錫合金、氟化物等。濺射的時(shí)候會(huì)先濺射凸起,濺射時(shí)間長(zhǎng)了,靶材自己就平了。所以物理不均勻的狀態(tài)不需要拋光。成都碳化鎢靶材

作為本發(fā)明 的技術(shù)方案,所述靶材的比較大厚度為28-30mm,例如可以是28mm、28.1mm、28.2mm、28.3mm、28.4mm、28.5mm、28.6mm、28.7mm、28.8mm、28.9mm、29mm、29.1mm、29.2mm、29.3mm、29.4mm、29.5mm、29.6mm、29.7mm、29.8mm、29.9mm或30mm等,但不限于所列舉的數(shù)值,該范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用。作為本發(fā)明 的技術(shù)方案,所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板。作為本發(fā)明 的技術(shù)方案,所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu)。作為本發(fā)明 的技術(shù)方案,所述靶材包括用于濺射的濺射面。 地,所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面。作為本發(fā)明 的技術(shù)方案,所述斜面與水平面的夾角≤10°,例如可以是10°、9°、8°、7°、6°、5°、4°、3°、2°或1°等,但不限于所列舉的數(shù)值,該范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用。作為本發(fā)明 的技術(shù)方案,所述斜面位于所述***平面和第二平面之間。 地,所述平面為圓形。 地,所述第二平面為環(huán)形。南京鋅錫靶材作用純度是靶材的主要性能指標(biāo)之一,因?yàn)榘胁牡募兌葘?duì)薄膜的性能影響很大。

真空鍍膜機(jī)在塑膠行業(yè)的應(yīng)用  真空鍍膜機(jī)應(yīng)該普遍,在塑料行業(yè)的應(yīng)該也很普遍。而塑膠在生活,工業(yè),電器,航空等領(lǐng)域都有涉及。塑膠具有易成型,價(jià)格便宜,質(zhì)量輕,防腐蝕等優(yōu)點(diǎn),但塑膠的缺點(diǎn)也比較突出,其缺點(diǎn)也制約了塑膠的應(yīng)用范圍,如不美觀、易老化、機(jī)械性能差、易碎易變型、耐熱差等。通過(guò)真空鍍膜機(jī)的應(yīng)用,使塑膠表面鍍上特定膜層,東莞匯成真空自主研發(fā)生產(chǎn)的蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備將鍍膜機(jī)材料和塑膠產(chǎn)呂完美結(jié)合,提高了塑膠制品的物理、化學(xué)性能。 一、改善表面硬度,原塑膠表面比金屬軟而易受損害,通過(guò)真空鍍膜,硬度及耐磨性增加; 二、使塑料表面有導(dǎo)電性; 三、容易清洗,不吸塵; 四、改善塑膠外觀,表面光滑,金屬感強(qiáng),色澤光鮮,裝飾性提高。

與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn):本發(fā)明提供的靶材拋光裝置的技術(shù)方案中,所述靶材拋光裝置包括:固定板,所述固定板包括頂板和位于所述頂板一側(cè)的側(cè)板;拋光片,位于所述固定板內(nèi)側(cè)面上,其中位于固定板彎折處的拋光片呈弧狀。位于固定板彎折處的拋光片表面適于對(duì)靶材經(jīng)圓角處理的側(cè)棱進(jìn)行拋光,位于側(cè)板上的所述拋光片表面適于對(duì)靶材側(cè)壁表面進(jìn)行拋光。所述靶材拋光裝置能夠?qū)Π胁膫?cè)壁表面及經(jīng)圓角處理的側(cè)棱同時(shí)進(jìn)行拋光,因此所述靶材拋光裝置有助于提高對(duì)靶材表面進(jìn)行拋光的作業(yè)效率??蛇x方案中,所述防護(hù)層為彈性材料,所述防護(hù)層的質(zhì)地軟,能夠在所述固定板及靶材間提供緩沖,避免所述固定板觸撞靶材導(dǎo)致靶材受損。真空鍍膜中靶材中毒會(huì)出現(xiàn)哪些想象,如何解決?

在上述具體實(shí)施方式中所描述的各個(gè)具體技術(shù)特征,在不矛盾的情況下,可以通過(guò)任何合適的方式進(jìn)行組合,為了避免不必要的重復(fù),本發(fā)明對(duì)各種可能的組合方式不再另行說(shuō)明。此外,本發(fā)明的各種不同的實(shí)施方式之間也可以進(jìn)行任意組合,只要其不違背本發(fā)明的思想,其同樣應(yīng)當(dāng)視為本發(fā)明所公開(kāi)的內(nèi)容。本發(fā)明涉及靶材領(lǐng)域,具體涉及一種長(zhǎng)壽命靶材組件。目前,現(xiàn)有的半導(dǎo)體濺射用ilc1013系列靶材的濺射壽命已經(jīng)到了一個(gè)極限,為提高靶材的使用壽命,節(jié)省多次更換靶材的重復(fù)性。現(xiàn)有的技術(shù)都是通過(guò)磁場(chǎng)強(qiáng)度,把靶材表面設(shè)計(jì)成曲面來(lái)延長(zhǎng)壽命,包括靶材本體及基體,所述基體的至少一面設(shè)有所述靶材本體,所述靶材本體是由高純度靶材合金粉末通過(guò)等離子弧噴涂機(jī)噴涂熔焊在所述基體上。所述基體與所述靶材本體的結(jié)合面為呈內(nèi)凹的圓弧面。所述基體為矩形體或圓形。所述靶材的制造方法步驟如下:(1)準(zhǔn)備合金粉體;(2)準(zhǔn)備基體;(3)等離子轉(zhuǎn)移弧噴涂成型;(4)、清理被噴涂層表面,按照步驟(3)的要求再次噴涂處理,直至獲得要求厚度的靶材。本發(fā)明有益效果在于:一是生產(chǎn)的靶材無(wú)氣孔殘留;二是生產(chǎn)設(shè)備簡(jiǎn)單、投資?。蝗前胁目梢孕迯?fù)再利用。ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及燒結(jié)靶材。無(wú)錫FeNi靶材工廠

主要由三種方式:壓接、釬焊和導(dǎo)電膠。成都碳化鎢靶材

PECVD 制備氫化非晶硅薄膜   本實(shí)驗(yàn)采用單晶硅片為襯底,按石英玻璃基片的清洗步驟清洗后烘干,然后置于PECVD系統(tǒng)中。樣品制備條件為襯底溫度250℃,工作氣壓120 Pa, 射頻功率100 W, 氣體流量SiH4/H2=15/5 sccm, 沉積時(shí)間30min, 制備得到a- Si:H 薄膜樣品。   (1) 非晶硅薄膜的表面粗糙度會(huì)隨著濺射功率的增大而增大,膜的均勻性將會(huì)變差;   (2) 非晶硅薄膜的表面粗糙度隨著襯底加熱溫度的增大而減小,非晶硅薄膜均勻性變好;   (3) 在0.5 Pa 至2.0 Pa范圍內(nèi),隨著氬氣氣壓的增加非晶硅薄膜的表面粗糙度稍微變大;   (4) 隨著濺射時(shí)間的增加, 膜的厚度成非線性增加,沉積速率開(kāi)始較快,之后逐漸減慢,膜的表面粗糙度逐漸變大;   (5)隨著濺射氣壓的增大,沉積速率有所降低。成都碳化鎢靶材

江陰典譽(yù)新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國(guó)外的先進(jìn)技術(shù),并通過(guò)與國(guó)內(nèi)外**研發(fā)機(jī)構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢(shì),生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過(guò)幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽(yù)新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽(yáng)能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時(shí)也為國(guó)內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗(yàn)用靶材。 江陰典譽(yù)目前擁有真空熱壓爐兩臺(tái),冷壓燒結(jié)爐一臺(tái),真空熔煉設(shè)備兩臺(tái),等靜壓設(shè)備一臺(tái),等離子噴涂?jī)商?,綁定平臺(tái)兩套,各類機(jī)加工設(shè)備七臺(tái),檢驗(yàn)設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達(dá)到甚至超過(guò)客戶的預(yù)期。 江陰典譽(yù)秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好。”的發(fā)展理念。

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