武漢鈦硅靶材綁定

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2021-12-18

非晶硅薄膜 多晶硅薄膜具有較高的電遷移率和穩(wěn)定的光電性能,是制備微電子器件、薄膜晶體管、大面積平板液晶顯示的質(zhì)量材料。多晶硅薄膜被公認(rèn)為是制備低耗、理想的薄膜太陽(yáng)能電池的材料。因此,如何制備多晶硅薄膜是一個(gè)非常有意義的研究課題。固相法是制備多晶硅薄膜的一種常用方法,它是在高溫退火的條件下,使非晶硅薄膜通過(guò)固相相變而成為多晶硅薄膜。本文采用固相法,利用X- ray 衍射及拉曼光譜,對(duì)用不同方法制備的非晶硅薄膜的晶化過(guò)程進(jìn)行了系統(tǒng)地研究。   在硅薄膜太陽(yáng)能電池材料中,非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池制造工藝相對(duì)簡(jiǎn)單,但是存在光電轉(zhuǎn)換效率低,壽命短,穩(wěn)定性不好,并且存在光致衰退效應(yīng)(S-W 效應(yīng))等缺點(diǎn)。單晶硅薄膜太陽(yáng)能電池因?yàn)橹谱鞴に嚭椭谱鞒杀镜仍蚴冀K得不到推廣,而多晶硅薄膜材料在長(zhǎng)波段具有光敏性,能有效的吸收可見光并且具有光照穩(wěn)定性。如果反應(yīng)氣體量增加過(guò)度,化合物覆蓋面積增加。武漢鈦硅靶材綁定

頂板210與所述側(cè)板220為一體成型。在其他實(shí)施例中,所述頂板與所述側(cè)板還可以采用焊接、螺接或緊密配合方式固定連接。固定板200的材料為合金,具體的,所述固定板200的材料為不銹鋼。在其他實(shí)施例中,所述固定板的材料還可以為金屬。固定板200的厚度為10mm~15mm。若所述固定板200的厚度過(guò)大,使得所述固定板200的重量過(guò)大,不便于使用,影響操作的靈活性。若所述固定板200的厚度過(guò)小,導(dǎo)致所述固定板200的強(qiáng)度和韌性較差,影響所述靶材拋光裝置100的使用壽命。拋光片300表面與靶材側(cè)壁表面及經(jīng)圓角處理的側(cè)棱相匹配。所述拋光片300表面具有磨砂顆粒,用于增加所述拋光片300與靶材表面間的摩擦力,以提高拋光效率。所述拋光片300為砂紙。南通氟化鐿靶材價(jià)格靶材綁定的定義。濺射靶材的分類有哪些?

直流磁控濺射制備鋅-銻熱電薄膜的技術(shù)探討 熱電材料是一種能夠?qū)崿F(xiàn)熱能和電能直接相互轉(zhuǎn)換的綠色環(huán)保型功能材料。近年來(lái)研究發(fā)現(xiàn),熱電薄膜化有助于熱電材料減低熱導(dǎo)率,從而能夠有效的提高材料的熱電轉(zhuǎn)換效率,因此具有十分重要的科學(xué)研究?jī)r(jià)值。Zn-Sb合金是采用的P 型熱電半導(dǎo)體材料之一,但由于其較低的熱電優(yōu)值,所以沒有得到普遍的應(yīng)用。   但近幾年研究發(fā)現(xiàn),在263 K~767K 溫度區(qū)間穩(wěn)定存在的β-Zn4Sb3 具有非常優(yōu)異的熱電性能,材料少含稀土材料以及可適用于中溫,被國(guó)內(nèi)外認(rèn)為是具有前景的中溫?zé)犭姴牧现?。因此,本文選取純度為99.99%的Zn 和Sb 金屬靶作為靶材,采用直流磁控共濺射技術(shù),制備Zn-Sb 合金熱電薄膜,研究不同熱處理?xiàng)l件下合成的Zn-Sb 化合物熱電薄膜的結(jié)構(gòu)與熱電特性變化規(guī)律。   結(jié)果表明,選取適當(dāng)?shù)臑R射Zn和Sb的功率條件,濺射完成合金薄膜后在Ar 氣氛下進(jìn)行623 K 退火熱處理,可形成具有單一β-Zn4Sb3相結(jié)構(gòu)的Zn-Sb 熱電薄膜,且薄膜顆粒大,較致密,所制備的熱電薄膜具有優(yōu)良的熱電性能。

靶材磁控濺射的原理是什么?磁控濺射原理:在被濺射的靶極(陰極)與陽(yáng)極之間加一個(gè)正交磁場(chǎng)和電場(chǎng),濺射靶材在高真空室中充入所需要的惰性氣體(通常為Ar氣),磁鐵在靶材料表面形成250~350高斯的磁場(chǎng),同高壓電場(chǎng)組成正交電磁場(chǎng)。在電場(chǎng)的作用下,Ar氣電離成正離子和電子,靶上加有一定的負(fù)高壓,從靶極發(fā)出的電子受磁場(chǎng)的作用與工作氣體的電離幾率增大,在陰極附近形成高密度的等離子體,Ar離子在洛侖茲力的作用下加速飛向靶面,以很高的速度轟擊靶面,使靶上被濺射出來(lái)的原子遵循動(dòng)量轉(zhuǎn)換原理以較高的動(dòng)能脫離靶面飛向基片淀積成膜。磁控濺射一般分為二種:直流濺射和射頻濺射,其中直流濺射設(shè)備原理簡(jiǎn)單,在濺射金屬時(shí),其速率也快。而射頻濺射的使用范圍更大,除可濺射導(dǎo)電材料外,也可濺射非導(dǎo)電的材料,同時(shí)還司進(jìn)行反應(yīng)濺射制備氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。濺射靶材射頻的頻率提高后就成為微波等離子體濺射,目前常用的有電子回旋共振(ECR)型微波等離子體濺射。在受到離子轟擊之后,釋放的二次電子數(shù)量增加,提高空間的導(dǎo)通能力,降低等離子體阻抗,導(dǎo)致濺射電壓降低。

濺射鍍膜不良膜層分析,改善方法: 1.白霧主要表現(xiàn):膜層外觀一層白霧。 原因分析及改善:(白霧可擦拭):外層膜松散粗糙;出爐溫差大;潮氣吸附;膜層結(jié)構(gòu)不均勻;反應(yīng)氣體不足/不均勻;外層膜應(yīng)力大等。     (白霧不可擦拭):殘留臟污;材腐蝕污染;膜層之間不匹配;反應(yīng)氣體不足/不均勻;基材受潮污染;真空室臟有水汽;環(huán)境溫差大。 2.發(fā)蒙主要表現(xiàn):膜層表面粗糙無(wú)光。 原因分析及改善:設(shè)備漏氣;反應(yīng)氣體故障;膜層過(guò)厚;偏壓故障;       3.色斑主要表現(xiàn):局部膜色變異。 原因分析及改善:腐蝕,局部折射率改變;前道工程夾具加工方法痕跡(形狀規(guī)則、部位一致、界限分明); 周轉(zhuǎn)運(yùn)輸庫(kù)存過(guò)程留下痕跡;研磨拋光殘留;多層膜系中,部分膜層過(guò)??;機(jī)組微量返油。 4.打火 5.碰擦傷主要表現(xiàn):劃痕碰傷。 原因分析及改善:劃痕有膜層:鍍前碰擦傷;劃痕無(wú)膜層(漏基材):鍍后碰擦傷。靶面金屬化合物的形成。上海鎳鉻銅靶材調(diào)試

磁控濺射一定要求靶材表面要拋光嗎?武漢鈦硅靶材綁定

非晶硅薄膜的制備方法   非晶硅薄膜的制備方法有很多,如低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD),等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD),直流(射頻)磁控濺射等。生長(zhǎng)多晶硅薄膜的方法有:化學(xué)氣相沉積包括低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)、大氣壓強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(APCVD)、等離子體化學(xué)氣相沉積(PCVD)以及液相生長(zhǎng)、激光再晶化和固相晶化法(SPC)等。固相晶化法是指在(高溫)退火的條件下,使固態(tài)非晶硅薄膜的硅原子被、重組,從而轉(zhuǎn)化為多晶硅薄膜。它的特點(diǎn)是非晶固體發(fā)生晶化的溫度低于其熔融后結(jié)晶的溫度。常規(guī)高溫爐退火、快速熱退火、金屬誘導(dǎo)晶化、微波誘導(dǎo)晶化等都屬于固相晶化的范疇。本文采用PECVD 和磁控濺射方法在不同的條件下制備了a- Si: H 和a- Si 薄膜,并采取高溫退火和激光誘導(dǎo)晶化的方式,利用X- 射線衍射及拉曼光譜,對(duì)制備的非晶硅薄膜晶化過(guò)程進(jìn)行了系統(tǒng)地研究。武漢鈦硅靶材綁定

江陰典譽(yù)新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國(guó)外的先進(jìn)技術(shù),并通過(guò)與國(guó)內(nèi)外**研發(fā)機(jī)構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢(shì),生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過(guò)幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽(yù)新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽(yáng)能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時(shí)也為國(guó)內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗(yàn)用靶材。 江陰典譽(yù)目前擁有真空熱壓爐兩臺(tái),冷壓燒結(jié)爐一臺(tái),真空熔煉設(shè)備兩臺(tái),等靜壓設(shè)備一臺(tái),等離子噴涂?jī)商?,綁定平臺(tái)兩套,各類機(jī)加工設(shè)備七臺(tái),檢驗(yàn)設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達(dá)到甚至超過(guò)客戶的預(yù)期。 江陰典譽(yù)秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。

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