氦質譜檢漏儀使用液氮步驟:1、加液氮:在冷規(guī)指針過1×10-2Pa以后,加入液氮。2、停機前必須將殘余液氮排除后,才能關機:關機前先關“冷規(guī)”,關抽速閥,將總電源轉到“前級泵”,將冷阱內殘余液氮排出,再加入熱水,等20分鐘左右,擴散泵已冷,將總電源轉到“關”。3、加液氮時應注意防護,加液氮每次不一定加滿,使用中如不夠,可再加。4、第二天(或定期)將液氮冷阱取下,清洗冷阱內、外筒,再用吹風吹干,安裝好后按正常程序開機。適時對氦質譜檢漏儀可能出現的泄漏處(如放氣閥)進行清洗,排除漏點。氦質譜儀電氣部分的中心是質譜室的供電和測量。江蘇氣密檢漏設備
選購氦質譜檢漏儀的注意事項:1、注意可測范圍。由于氦質譜檢漏儀的工作原理以及型號和規(guī)格不同,所以它的可測范圍有著明顯的區(qū)別,各位在選擇氦質譜檢漏儀時,要根據實際使用需求選擇適合的產品。2、看氦質譜檢漏儀是否具有穩(wěn)定性。這是必須考慮的因素,零點偏移和全幅偏移的數值越小越好,因為可能有其他氣體來干擾感應器,所以要抗干擾,穩(wěn)定性好的。3、看氦質譜檢漏儀可靠度是否良好。應定期檢查氦質譜檢漏儀是否處于正常工作狀態(tài),避免氦質譜檢漏儀失靈情況的發(fā)生。蘇州氣密性檢漏儀費用嚴禁在高溫的環(huán)境中使用氦質譜檢漏儀。
選購氦質譜檢漏儀要注意哪些方面的問題?1.正規(guī)性,氦質譜檢漏儀多種型號可選在不確定其是否為好的時,可通過互聯網等手段,查詢其商家提供的注冊商標、產地、生產廠家及原廠網址等資料是否真實清晰、有效合法,另外,凡性能可靠的氦質譜檢漏儀都會提供原廠質量保證書。2.質量,在氦質譜檢漏儀的測試過程中,一定不要輕信商家的樣品,不應一味只看樣品數據參數,可以進行多家的貨物進行對比,將不同品牌的樣品放一起對比,這樣氦質譜檢漏儀儀質量好與壞一眼便看得出來。除了光看樣品的質量,建議用戶盡可能監(jiān)督安裝的全過程,同時并索要樣品驗貨,在安裝完后,可以要求商家在再測試一遍。
氦質譜檢漏儀真空系統(tǒng)一般包括:1、主泵:一般用護散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-4Pa,其抽速應導氣載匹配。2、前級真空泵:一般采用旋片式機械真空泵,在以分子泵為主泵的系統(tǒng)中也有采用薄膜泵或干泵的。極限壓力小于1×10-1Pa,抽速導主泵匹配。3、預抽真空泵:一般與前級真空泵共用一個泵,也有特定預抽真空泵的。預抽真空泵一般采用旋片式機械真空泵,其抽速視被檢件大小而定,因此預抽真空泵大都由用戶自配。4、真空規(guī):一般采用冷陰極磁控放電直空規(guī)(潘寧規(guī),又稱冷規(guī))來測量質譜室中的壓力。也有用電阻規(guī)或熱偶規(guī)測量被檢件的預抽壓力和系統(tǒng)的前級壓力的。要保持氦質譜檢漏儀的干燥,嚴禁接觸水,并避免直接接觸腐蝕性液體。
氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,氦氣具有質量數小重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點,達到了細檢漏的目的。氦質譜檢漏儀是根據被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。對產品檢漏前首先要對工件的結構和制造工業(yè)有所了解,了解有哪些漏源,才能快,準,狠的完成檢漏。需要進行前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng),以及電磁閥組的超聲清洗,此外質譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵也建議定期進行保養(yǎng)維護,避免因設備保養(yǎng)不及時導致設備使用壽命縮短。放置好氦質譜檢漏儀,以避免儀器有傾斜或傾倒的危險。臺式檢漏設備多少錢一臺
氦質譜檢漏儀及接線端子不要放置在易遭受碰撞或易進水處。江蘇氣密檢漏設備
氦質譜檢漏儀漏率的校準方法:一、環(huán)境條件,校準環(huán)境溫度為(23±5)℃,校準過程中室溫變化不超過±1℃,環(huán)境相對濕度不大于80%。校準設備周圍應無明顯的溫差、氣流和強電磁場等外部干擾。環(huán)境溫度要控制在23℃附近,因為標準漏孔的出廠標稱漏率對應的環(huán)境溫度一般為23℃。二、標準器的選擇,標準器采用滲氦型標準漏孔,漏率標稱值在(10-6~10-10)Pa·m3/s,不確定度不大于10%。精密玻璃溫度計,測量范圍(0~50)℃,不確定度U=0.04℃,k=2。江蘇氣密檢漏設備
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