氦質(zhì)譜檢漏儀的進展,在科學技術的不斷發(fā)展的時代,氦質(zhì)譜檢漏儀也在不斷的發(fā)展與完善。這主要由兩方面的因素所決定:一方面,檢漏應用技術不斷的對檢漏儀提出新的要求,迫使氦質(zhì)譜檢漏儀自身的更新;另一方面,檢漏技術也在隨時隨地補充現(xiàn)有氦質(zhì)譜檢漏儀在應用過程中存在的某些不足,因此二者的關系是相互補充、相互促進的。自動校準氦峰,自動調(diào)節(jié)零點,量程自動轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。現(xiàn)今生產(chǎn)的氦質(zhì)譜檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不但可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。氦質(zhì)譜檢漏儀需根據(jù)設備的使用頻率、被測品工藝要求定期使用標準漏孔對設備自身進行校準。江蘇臺式氦質(zhì)譜檢漏儀一臺多少錢
氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標:1、可檢漏率:即氦質(zhì)譜檢漏儀所能檢出的漏孔的漏率。2、響應(消除)時間:指一定流量的探索氣體進入氦質(zhì)譜檢漏儀后,電子和真空系統(tǒng)需要一定的響應時間,漏率指示才能達到較大值;反之,停止供氣后,漏率指示不能立即回零,需要一定時間的下降過程,通常由于氦氣的吸附和脫附作用,消除時間稍長于響應時間。3、啟動時間:指氦質(zhì)譜檢漏儀自接通電源到能進行檢漏的時間。要注意使用的環(huán)境。標準漏孔的生產(chǎn)、檢測,都是在20-25℃的室溫下進行。尤其有些標準漏孔,對溫度特別敏感。溫度每變化1℃,標準漏孔的漏率就有3%以上的誤差。例如,夏天,室溫達到30℃,這種標準漏孔的漏率誤差增加30%。溫州推車式氦質(zhì)譜檢漏儀由于氦質(zhì)譜泄漏檢測器具有選擇性識別能力,因此只給出氣體中氦的分壓信號。
氦質(zhì)譜檢漏儀可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。5.檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不但可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。在獲得氦氣信號值的基礎上,通過標準的泄漏量比較,可以得到氦氣的泄漏量。氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術中靈敏度較高,用得比較普遍的檢漏儀器。
氦質(zhì)譜檢漏儀對檢漏方法的具體要求:1、檢漏靈敏度高,可以檢出很小的漏孔;2、反應時間短,可以提高工作效率;3、能定位、定量,不但能夠找出漏孔的位置,還能知道漏率的大小,以便確定是否合乎質(zhì)量要求;4、能無損檢漏,不使被檢設備受到損傷和污染;5、穩(wěn)定性好,即可以在足夠長時間內(nèi)靈敏度穩(wěn)定可靠;6、所用“示蹤氣體”在空氣中含量低,無毒,不腐蝕零件;7、檢漏范圍大,從大漏孔到小漏孔都能檢測到,以減少檢漏設備的數(shù)量和費用;8、檢漏時潔凈無油,滿足一些特殊的要求。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜儀學原理,用氦氣作為搜索氣體制成的氣密性檢測儀器。氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可達10-12Pam3/s。
選擇氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏方法的原則:1、主要根據(jù)被檢漏設備的允許漏率為依據(jù),由于一個設備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合體現(xiàn)。為找到一個單個漏孔,所選擇檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個數(shù)量級。如一個設備的允許漏率為10-11w,而必須選用的氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W。2、根據(jù)具體被檢對象,所用方法簡便易行,經(jīng)濟實用。低噪聲、低振動,設備堅實牢固;性能可靠,操作簡便,造型美觀,售后服務周到;自保護功能,防止本底被污染;檢漏效率高,帶故障提示和報警功能。氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)量范圍很寬,不但可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。蘇州多功能氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項
氦質(zhì)譜檢漏儀是以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。江蘇臺式氦質(zhì)譜檢漏儀一臺多少錢
氮氫檢漏儀與氦質(zhì)譜檢漏儀有什么不同?氮氫檢漏儀與氦質(zhì)譜檢漏儀均屬于示蹤氣體檢漏儀,氮氫檢漏儀使用95%的氮氣加5%的氫氣,氦質(zhì)譜檢漏儀使用的是氦氣,眾所周知,氫和氦是自然界中二種分子量較小的物質(zhì),氫很活潑,氦是惰性氣體。氮氫檢漏儀是通過測試氮氫混合氣中的氫氣泄漏量來測試泄漏的大小,氦質(zhì)譜檢漏儀是通過測試氦氣的泄漏來測試泄漏的大小。這兩種方法均是屬于較高精度的微泄漏檢測方法。氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源,質(zhì)量分析器和離子檢測器;真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質(zhì)分析器。江蘇臺式氦質(zhì)譜檢漏儀一臺多少錢
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