江蘇自動檢漏儀工作原理

氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)：1、質(zhì)譜室，形象的說，質(zhì)譜室是氦質(zhì)譜檢漏儀的心臟，由離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測器三個部分組成，并將冷陰極磁控規(guī)也放在其內(nèi)，共用其磁場。2、真空系統(tǒng)，真空系統(tǒng)是提供質(zhì)譜室正常工作的條件。由于鎢陰極正常工作時需要具備0.001-0.01Pa的真空度，同時保證氦離子在分析器中的運動有較高的傳輸率，因此建立一個高真空系統(tǒng)是必要的。3、電氣系統(tǒng)，氦質(zhì)譜儀電氣部分的中心是質(zhì)譜室的供電和測量，其他部分包括真空系統(tǒng)的電源與控制部分，操縱面板及輸出儀表等。氦質(zhì)譜檢漏儀及接線端子不要放置在易遭受碰撞或易進水處。江蘇自動檢漏儀工作原理

檢漏儀分子泵故障如何維修？檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題，分子泵出口是否打開，機械泵油是否太臟，機械泵是否旋轉(zhuǎn)，系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞?？梢允褂米约旱墓ぞ咭苿拥镀瑏砼袛嗨欠窨梢孕D(zhuǎn)。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路。氦泄漏檢測儀的燈絲不能正常啟動。在確認(rèn)機械泵和分子泵處于正常工作狀態(tài)后，如果燈絲仍不能發(fā)射離子流，則需要更換離子源。如果燈絲指示燈閃爍，請檢查航空插座和離子源端子是否開啟。如果開路，請更換燈絲。如果沒有，請檢查端子是否與其他連接器連接，以消除短路。蘇州模塊式檢漏儀單位氦質(zhì)譜檢漏儀安裝時要遠(yuǎn)離煙塵、注意防潮、定期清潔除塵。

關(guān)于檢漏儀的一些知識點：儀器的反應(yīng)時間及清理時間，儀器的反應(yīng)時間是質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)之一。檢漏時，當(dāng)氦氣剛剛噴及漏孔處，即使不考慮氦氣通過漏孔的時間，也不可能立即引起質(zhì)譜室中氦分奢的急劇變化，也就是說不會立即引起輸出電流的急劇變化，而要有一個過程。假定漏孔漏率為QHe，質(zhì)譜室處對氦的抽速為SHe，質(zhì)譜室至被檢容器間的總?cè)莘e為V，那么在dt的時間內(nèi)漏入的氦氣量為QHedt。它的一部分被抽走，另一部分在質(zhì)譜室中建立起氦分壓pHe（不包括本底）。被抽走的氦量為pHeSHedt，使質(zhì)譜室容積V內(nèi)氦壓力升高dpHe時的氦量為VdpHe。因此有等式兩邊除以dt，并經(jīng)移項整理后得到。

檢漏儀啟動流程：1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級泵”，低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關(guān)，表頭示值也應(yīng)能抽到原來位置，再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴散泵”，燈亮，擴散泵開始加熱。3、等20分鐘左右，擴散泵排氣管應(yīng)熱，開冷規(guī)開關(guān)，“質(zhì)譜室壓強”表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規(guī)，表頭指針應(yīng)從左打向右，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規(guī)，可等一會兒再開)，當(dāng)真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動燈絲，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開、關(guān)漏孔檢查檢漏儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號指示Zda)，靈敏度達(dá)要求后關(guān)漏孔。5、將工件用外接泵抽上真空后，開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間，對工件噴氦檢漏。檢漏完，關(guān)節(jié)流閥。氦質(zhì)譜檢漏儀實際的檢漏靈敏度比理論計算值低。

氦質(zhì)譜檢漏儀使用之前需做以下檢查：1、外觀電量檢查：在使用前，應(yīng)仔細(xì)檢查氦質(zhì)譜檢漏儀外觀是否完好無損壞，檢測儀應(yīng)開機，看是否能夠正常自檢后進入檢測界面，觀察檢測儀電量是否能夠滿足工作需要。如果電量不足，應(yīng)立即充電，禁止帶入作業(yè)現(xiàn)場。2、使用環(huán)境檢查：使用前應(yīng)檢查氦質(zhì)譜檢漏儀的銘牌，明確檢測氣體的種類和量程、溫度適用范圍、防爆適用區(qū)域等，不同氦質(zhì)譜檢漏儀都有特定的使用范圍，在超出使用范圍環(huán)境下工作，將會對氦質(zhì)譜檢漏儀造成損傷，嚴(yán)重可能會失去檢測功能。檢漏儀真空度不能提高可能是真空計指示不對。泰州模塊式檢漏儀

檢漏儀一般由質(zhì)譜管，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。江蘇自動檢漏儀工作原理

檢漏儀檢漏方法分為兩大類：被檢件承受負(fù)(外)壓，即抽成真空的叫真空檢漏；被檢件承受正(內(nèi))壓的叫正壓檢漏，也有人叫充壓檢漏。正壓檢漏一般有三種方法：1)吸口法：用吸口直接在漏孔出口處獲得示漏氣體，與正壓校準(zhǔn)漏孔作比對定量。這種方法適于漏孔處于吸口可及位置的產(chǎn)品作正壓檢漏。2)氣罩積分法：把被檢件或被檢部位置于氣罩內(nèi)，罩內(nèi)為大氣壓。示漏氣體漏人罩內(nèi)，隨時間積分，再用吸口取樣，輸入檢漏儀檢測，與正壓校準(zhǔn)漏孔比對定量。3)加壓真空法：產(chǎn)品充正壓后，置于真空室內(nèi)，或?qū)⒙饩植恐糜谡婵照謨?nèi)，檢漏儀與真空室(罩)相聯(lián)，與真空校準(zhǔn)漏孔作比對定量。江蘇自動檢漏儀工作原理

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